Horiba_流量计中文说明书.ppt

c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 质质量流量控制器简简介 上海堀场贸场贸易有限公司 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是 能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工 业和平面显示器制造和太阳能电子方面。 质量流量：质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量，工作时不 受外界的温度和压力的影响。 control electronics (p-i-d) signal processing 电电源: +/- 15vdc 设设定信号: 05v 输输出信号: 05v 进进气端 出气端 什么是质质量流量控制器 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 阀驱动 传感器 控制阀 侧流管 mfc 的内部结结构图图 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 传传感器的结结构 热传感器 tu tu td td t . 根据传感器的结构，当没有气体流入时， 传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。 当有气体流过时，上流端的自加热电阻 产生的热量被带走，从而两端形成一定 的温度差，使传感器两边的温度曲线分 布不再平衡。 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 传传感器侧侧流管 传传感器在不同压压力下的特征 必须须使侧侧流管设计为层设计为层流结结构，这样这样才能流 出相对稳对稳定和精准的流量 。 （実用新案第号） 侧侧流管在不同压压力下的特征 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 压电压电陶瓷驱动驱动器 陶瓷的堆栈结构 外壳构造 干燥的氮气 连接端口 陶瓷驱动驱动器的内部结结构 mfc 的阀结阀结 构 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 陶瓷阀阀的工作效果图图 _ + _ + 提供高的直流电压电压 压电元件 移动方向 压电压电元件的伸长长 mfc 的阀结阀结构 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 5v 0 flow rate (sccm/slm) 100 96 104 零点对实际对实际流量的影响 +200mv -200mv 200mv 5000mv(5v) 0.04(4） 100sccm44sccm 5v 0 flow rate (sccm/slm) 100 4v 3v 2v 1v 80 60 40 20 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. sccm 标准立方厘米每分钟 slm 标准立方升每分钟 1000sccm = 1slm sccm和slm是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零 摄氏度，一个标准大气压的条件。 在美国，标准条件被广泛接受和认同。 .然而，在其它不同的国家通常使用的流量单位除了sccm和slm外还 有 ccm/ lm (日本) 温度为 25c, 一个标准大气压 nccm/ nlm (日本) 温度为20c, 一个标准大气压 ccm作流量单位和sccm作流量单位的mfc之间的流量相差大约为 9.1%。 什么是sccm /slm 及区别别 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 气体 a n2 真实流量 需要流量 qa = c.f.a * qn2 qa : 气体 a的流量 c.f.a: 气体a 到n2的转换因数 qn2: n2的流量 v转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界 的压力和温度的影响而稍有不同。 v转换因数是使用氮气进行转换，如果是用其它气体作为测量气体，那么测出 的气体流量值则会偏差很大。 n2 什么是mfc的转换转换 因数 c 2005 horiba stec, co., ltd. all rights reserved. 如何选择选择合适的质质量流量控制器 sec-7330 m c uc ar 100sccm 1/4vcr 型号 *1 *2 *3 *4 *5 *6 *1: 选择密封圈的材质 m:金属密封圈 r: 橡胶密封圈 *2: 选择阀在不供电的情况下的状态 o: 常开 c: 常关 *3: 气体流过时