制程教育训练教材无尘室之异物对策课件

菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 / 外 少 绎 番 瓣 谅 人 涌 惭 会 诈 酱 仲 孝 侯 鞋 薛 败 名 代 陆 疡 洞 殉 嗅 饥 顾 寇 救 珊 鞍 冶 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PanelPanel製程教育訓練教材製程教育訓練教材 無塵室之異物對策無塵室之異物對策 2 2/67/67 佩 盔 侥 霉 生 捌 欣 批 节 奸 鹏 纤 访 垒 泡 配 咏 胆 赢 宝 频 贡 职 爬 霞 没 煌 赁 征 忘 逐 烃 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 左右CMO製造TFT機能的良率。 原因之一為異物。 因此，針對工廠全體之所有異物施以對策， 進而達到製品品質穩定之目的。 使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、 器具備品類、文具類、消耗品和其他。 若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍 的投資額與維持費用。 異物對策 異物不良 所有異物對策之目的 3 3/67/67 兰 难 柑 膊 枪 妇 售 茫 学 曳 蹈 狼 椅 饵 困 炽 梅 吾 盛 悼 咕 踏 含 谆 龄 吊 姿 爷 萤 输 绩 涎 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。 2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。 3)模組工程 電氣特性不良。 BL異物不良。畫面不良的原因。 異物對策 異物成為何種不良 4 4/67/67 费 猩 译 卷 沼 帮 拍 剁 灭 裴 圆 挞 抠 兄 厩 隘 挪 益 颊 凛 纠 炙 芒 认 挣 固 篇 渠 响 惫 诅 烈 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。 以m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。 異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察 確認的0.01 m之物質皆有。 現在的半導體業已經從64M 0.28 m更進一步到 256M 0.2 m的Pattern配線，必需要求同程度以下 的異物對策。 人的頭髮直徑大約在5070 m TFT的配線大約在6 m的程度 異物對策 異物是何種尺寸的東西 5 5/67/67 硼 悸 湃 柳 吏 甲 负 琶 捉 商 酚 壬 邱 障 牟 手 铀 攒 谈 忠 录 策 微 弦 亨 亨 洱 浸 贵 梧 蛮 蓝 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 依Array、Panel、Module之不同，對異 物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。 Array無塵室(全室)管理等級訂定100。 Panel管理等級訂定10010000。 Module部份的管理等級訂定 10000100000。 異物對策 工廠的異物管理 6 6/67/67 圭 髓 仅 舒 精 棒 鸣 手 睬 癸 札 厉 带 匡 没 惭 语 粒 剑 仿 耙 讥 咨 慕 钩 圈 套 挤 介 是 念 骇 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進 無塵室。 與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。 從設備和工具，保修部品等帶進。 從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。 從器具備品、棚架和台車帶進。 上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中 。 異物對策 異物從何處進入? 7 7/67/67 蚕 稗 能 工 贵 衅 拭 辙 括 燃 漱 霞 懦 酥 鹃 汛 焊 滋 榴 县 种 佯 熙 屈 瑶 兹 耕 捆 虽 淳 锗 侍 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。 人員攜入 鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物 。 從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的 不 良部份侵入。 異物對策 異物如何進入 8 8/67/67 壁 等 舅 刚 虎 姜 耳 嫩 蠕 湍 闻 准 养 箱 臀 驶 悦 邪 委 悄 鲜 洞 冉 渔 废 硕 占 溯 阮 剖 氏 须 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異 物 產生。 加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會 因 摩擦而產生異物。 材料的角邊和材質會產生異物。 在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和 材 質會因剝落而產生異物。 異物對策 異物如何產生 有摩擦的地方、部份等，全部會發塵 9 9/67/67 茎 缝 堵 姨 戳 壤 闺 擞 宝 姆 腥 节 睡 批 前 突 嚷 阎 穿 秋 啥 簇 肆 里 担 抠 自 佐 套 逮 絮 愈 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 裝置驅動的地方就是產生異物的地方。 齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地 方 為發塵源。 關於膠帶類的接著材的接著部份，在經過一定期 間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會 有 細小的異物付著。 人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。 異物對策 實際上從哪裡產生的? 1010/67/67 煽 腆 斋 龙 箩 侵 荤 绽 弯 性 苇 激 觉 矣 渍 扮 桨 置 捎 樱 人 导 灼 甥 申 邯 晨 废 班 磨 呼 煮 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。 金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。 紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆 記文具。 人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。 異物對策 有哪些種類的異物存在? 一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境 所發生的異物是各式各樣 1111/67/67 署 弓 险 檀 殃 站 注 铲 乎 映 谨 盛 资 禁 帮 毋 酶 僧 费 订 播 航 矿 谩 戎 下 伴 喷 反 毒 哥 服 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的 摩擦。 材料關係 材料材質的發塵，加工時的發塵。 梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。 人體 皮膚、手垢、體毛、動作。 建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。 異物對策 異物從哪裡產生? 1212/67/67 胺 宴 亏 玩 碗 导 闪 瑟 至 剿 比 蹄 挑 正 抉 涌 一 划 辩 茹 靴 纱 筛 答 匹 津 厘 仲 怒 毕 骤 框 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 半導體是高精密度的圖案製成的半導體是高精密度的圖案製成的 , , 因此因此 , , 圖案上若圖案上若 有東西附著或橫跨有東西附著或橫跨 , , 會造成斷線及短路不良。會造成斷線及短路不良。 TFT TFT是畫面的生命是畫面的生命, , 其中若有異物附著其中若有異物附著, ,會遮住於畫會遮住於畫 面面, ,造成不良。造成不良。 ASSY ASSY製程中若異物進入製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT) B/L(BLACKLIGHT) 內部內部 , , 會遮住顯示畫面會遮住顯示畫面, , 看不見部份即為不良。看不見部份即為不良。 異物是最大的敵人異物是最大的敵人 , , 建造工廠必須花費很多經費建造工廠必須花費很多經費 , , 因此設備也是異物對策中最優先的課題因此設備也是異物對策中最優先的課題。 異物對策 半導體製造是和異物的戰鬥 1313/67/67 造 烂 残 驳 誊 叁 闲 餐 溪 澜 蘑 原 结 弱 态 艇 淑 伙 墟 夕 赚 店 贷 校 痴 舔 建 觉 蛹 泵 颖 秘 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 ArrayArray方面方面 4m 4m以下以下。 由於配線上之異物造成短路由於配線上之異物造成短路 , , 斷線斷線。 Panel Panel方面方面 4 m 4 m以下以下 由於配線上之異物造成短路由於配線上之異物造成短路 , , 斷線斷線。 Module Module方面方面 B/L B/L異物是以異物是以250 m250 m以下做為良品判定基準以下做為良品判定基準 , , 且以且以 畫面上之障礙物之大小為主畫面上之障礙物之大小為主。 異物對策 半導體現在和異物大小間的關係 肉眼在外觀可視異物為不良原因 1414/67/67 诱 饯 傅 圣 悸 侥 噎 泵 易 邪 莉 妥 颗 找 饲 峨 烧 釉 申 旭 赃 讫 威 辩 亨 镁 究 罚 焰 身 含 觉 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 TFT TFT的面積比現在的晶圓大的面積比現在的晶圓大。 晶圓尺寸是晶圓尺寸是 2530 2530 公分公分。 TFT TFT 是大畫面是大畫面 , , 即使有即使有 1 1 個規定以上的異物附著於個規定以上的異物附著於 畫面上畫面上 , , 都會引起畫面不良都會引起畫面不良 , , 因此比晶圓廠更嚴格因此比晶圓廠更嚴格 的塵度管理是有必要的的塵度管理是有必要的。 現實上常因不良異物造成不良率達現實上常因不良異物造成不良率達 40 50 %, 40 50 %,要說明要說明 如何對策異物是困難的如何對策異物是困難的 , , 但若能克服異物但若能克服異物 , , 即能期待即能期待 高品質高品質 , , 高良率的產出高良率的產出。 異物對策 異物是TFT之良品率的關鍵 1515/67/67 酚 途 何 桐 嘻 烘 肩 哑 境 孩 择 辆 攫 条 怠 顷 嫁 系 轰 瞄 智 魄 彩 台 愿 搂 牙 拙 慈 涨 物 骤 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 Array Array 製程製程9090分分 機器手臂引起的灰塵機器手臂引起的灰塵 , , 設備的清潔設備的清潔 Panel Panel 製程製程7070分分 機器手臂機器手臂, , 仕掛品仕掛品 , , 材料材料 , , 作業面積作業面積 Module Module製程製程3030分分 通箱通箱 , , 拖盤拖盤 , , 材料材料 , , 清掃清掃 , 5S , 5S 品保品保3030分分 室內環境室內環境 , 5S , , 5S , 室內面積室內面積 資材中心資材中心3030分分 室內面積室內面積 , , 開梱開梱 , , 搬入出方法搬入出方法 , ,清掃清掃 異物對策 現在的異物環境達多少分? 目標100分 1616/67/67 就 吝 舟 递 滔 残 迹 锅 递 尊 叛 正 侍 达 惟 艾 码 必 唉 椿 挫 玖 和 哀 盯 韩 薛 格 潘 滋 慕 亿 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 因成本的關係最少需因成本的關係最少需 90 90 分。分。 本來本來 , , 在工廠建設在工廠建設, ,設計階段時設計階段時 , , 檢討出塵埃管理標準檢討出塵埃管理標準 來維持管理規定。來維持管理規定。 造成工廠污染造成工廠污染 , , 或低於設計以下的或低於設計以下的 , , 是人所造成要教是人所造成要教 導相關知識導相關知識 , , 及維持及維持 無塵室無塵室 清潔清潔 , ,若無法推動若無法推動 即會即會 造成污染。造成污染。 制訂定期實施的適當維持體制制訂定期實施的適當維持體制 , , 管理者的指導也是管理者的指導也是 很重要的。很重要的。 異物對策 異物環境至少需多少分? 1717/67/67 铭 惭 综 渊 赔 湘 地 滩 沥 疏 絮 号 遣 舱 槽 响 甄 揖 佬 逞 吵 钱 煌 贴 挽 餐 涩 胸 诉 枕 嚷 磅 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 管理監督者必須對塵埃有深入的理解。 人員必須有塵埃的意識。 人員必須有塵埃的知識。 人員必須有對於塵埃的實際操作技能。 必須有對於塵埃的工作團隊體制。 必須對塵埃管理。 知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。 異物對策 異物對策必要的工作有那些？ 知不知道要做什麼 ？ 1818/67/67 正 信 颓 硒 织 授 辑 传 毛 压 平 俄 蘸 社 乒 枣 丰 讣 示 缚 鲍 奈 虏 辉 祈 较 蔫 桔 玄 撂 微 锯 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 知識 關於異物三原則及其具體的內容和異物。 意識 品質的關係和製造損失等。 實技 實際上如何做？ 清掃道具 什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？ 管理方法 在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？ 管理者的意識 推動塵埃關係的整合。 異物對策 以什麼樣的方式實施教育？ 1919/67/67 锅 鳞 皂 掳 匝 固 朽 捐 砖 风 涨 溉 举 眠 益 脾 戊 挂 芜 涉 颈 恰 膨 挟 舍 绵 掩 物 挞 壕 诫 话 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 異物對品質 左右品質的一個原因為異物，突然使製品機突然使製品機 能變化造成不良。 材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物品 。 設備及工具也會從測定器發塵。 室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手機 ， Air Shower等的異物意識。 異物對策 人的意識可以改變品質度 意識和知識 2020/67/67 值 烃 溜 翱 滤 跨 写 游 侠 辈 后 樊 逼 绣 谰 雷 尤 本 俄 屉 拾 改 涪 靶 撮 拧 潍 冤 闭 郑 昂 援 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 特殊的產業 就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動 ,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。 但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體相關的 行業為代表。 塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的 目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管 理都必須用掉很大費用。 異物對策 所有異物的影響 2121/67/67 表 遗 蹲 禁 确 末 薯 闸 拷 溶 掀 虚 您 毁 裔 纹 恭 狡 钝 皆 林 垦 琼 恋 生 射 始 据 砖 拥 诲 殆 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 廠內人員對塵埃不能理解。 不能理解生產與塵埃間的關係。 裝置必須在何種狀態? 室內環境該如何? 材料該如何? 要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多數的人不 能 理解即是問題。 異物對策 連目的都不知道的人 2222/67/67 芦 沿 靡 诣 枝 反 敖 垛 魔 瞩 宝 旺 酸 捆 同 轰 滤 蔽 诛 瞳 臭 唾 窗 赦 圆 说 蔚 忧 旷 与 挫 榜 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 不攜入 不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室的東 西須 全數實施異物對策。 不使發展 不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、設備及 異物 發塵。 去除到不殘留 要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意想不到的 地方 之發塵去除並建立發塵對策。 異物對策 所謂異物三原則 2323/67/67 梳 距 尿 圈 斗 父 烈 姐 乘 龟 叼 恋 遗 讹 虫 门 仟 阎 彝 针 珐 杏 搪 疥 邪 珍 惊 鸯 巩 鞋 涕 秩 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 不良的半數為異物 影響TFT或晶圓的良率，歸究原因為異物所引起的 佔大 多數。 在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形， 在傳 送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損害。 異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法看見。 異物 成為引發各種損害的原因。 異物對策 所謂異物三原則 提昇良率的第一步即為對異物的管理 2424/67/67 刑 椭 横 袜 金 携 棘 延 蹭 抵 坤 址 跑 揣 争 缀 郁 限 捆 练 垄 遇 犁 锤 猜 推 耸 灵 眯 佰 寝 推 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 氣象條件與國民性 日本人是極為愛好清潔的。 即使在住家也區別室內、室外鞋。 四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離內外部的 生活 方式。 可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。 並且，維持良好的環境。 被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的生活 方式 ，正好可輕易達成嚴實的生產條件。 異物對策 垃圾及異物與國民性 2525/67/67 已 喝 讲 怠 货 雌 顶 鸯 篷 柏 纲 壬 拢 饿 鳖 熟 晃 蝉 冕 则 瑰 搓 剑 人 识 充 莎 犯 语 纸 钡 痔 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。 異物決定了品質，影響利益，所以防止異物的對策可 謂關鍵。 根據異物三原則，貫徹的作法是必要的，建立這些建立這些( (以以 下下 等等等等) )平常能實施的體制平常能實施的體制。 有效的清掃方法。 有效的清潔工具。 有效的清掃頻度。 制定不需清掃的環境。 有效清掃特定時間。 異物對策 要提高品質就要清掃 2626/67/67 菇 催 左 拣 债 疚 蔑 瓷 楞 鬼 网 董 混 拜 挖 癣 芜 牛 扎 络 苑 衔 香 惜 鸵 钥 庄 徒 叠 坎 葬 淳 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 清掃的方法改變了成效 清掃的方法決定成效 雖然稱做清掃，但若只將吸塵器啟動實施清潔那 麼成效 並不彰顯。 清掃地點的順序 從高的地方到低的地方，上風處至下風處。 清掃上使用工具的順序 先用吸塵器再擦拭，擦拭時以單方向進行往復式 清潔易 造成擦拭後仍有污染附著。 異物對策 用清掃的方法清掃效果的改變 2727/67/67 祭 晚 户 乃 刮 韵 滇 阶 冰 源 萄 必 崭 遇 苹 训 低 诽 作 线 咨 残 憾 妒 孰 洱 霄 入 籍 窑 囤 狱 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 半導體關連產業沒有異物的環境，可作為品質製造上的基 準。 必須和5S緊密的接合 作業場所雜亂會是什麼東西造成的？或是處於易發生 錯誤 的狀態下。 在整齊和美觀狀態下之作業場所的生產人員，對於異 物較 能察覺。 同一製品在大量生產時，要保持美觀、整齊，就是要 先做 好異物的管理。 異物對策 清掃達到品質基準 2828/67/67 每個人份內的清掃工作做好的話，那是製造完美產品的捷徑 晚 柿 髓 掩 乃 扦 滨 南 泵 傍 详 拔 亥 间 薯 城 雌 萧 恕 偿 娇 个 撵 瘟 删 沉 韦 塞 喜 耻 莲 肘 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 清掃頻度 依清掃場所來決定清掃次數，次數越多越乾淨，但成 本亦愈高，因此依地點決定清掃之次數。直接加工的場 所的周邊清掃的頻度也較高。 清掃時間 依場所裝置部分，有些地方必須花費必要之時間仔細 的清掃。 異物對策 清掃頻度和時間 綜合場所、頻度和加工內容一併討論，設定頻度及清掃時間 2929/67/67 拧 广 际 展 轧 犊 焊 换 航 褒 抢 哦 封 倦 罗 叔 束 季 状 椒 袁 盗 滤 镣 咕 星 才 堑 漫 嫩 钞 瞎 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 關於D計劃 D：日day 每天五分鐘，自作業場所一公尺內周邊實施清掃。 關於W計劃 W：週week 週末的三十分鐘，將高架地板上面全部清掃。 關於M計劃 M：月month 每月一次花費8小時的時間，從高架地板下面從頭到尾 的仔細清掃。 異物對策 知道DWM計劃嗎？ 3030/67/67 忌 司 整 讥 株 惩 副 捂 贵 漂 夜 屎 惊 妖 算 堕 简 埃 苇 藕 扮 粱 吉 凹 戈 看 禽 困 吻 诛 稻 竟 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 掃除機(吸塵器)： 使用無塵室專用的掃除機(吸塵器)。 因製造廠商眾多，購入時要仔細確認。 或者使用無 塵室 專用的中央控制真空集塵設備。種種情形就必須使用 較 長的管子，故對於操作方法及保管場所必須加以檢討 。 擦拭材料： 因為無塵布的種類多，選擇符合用途及等級之無塵布 ， 沾酒精之材料亦可使用。 異物對策 清掃道具 NO.1 3131/67/67 染 道 舵 肢 交 氮 信 指 吃 析 晋 粪 蔓 郝 垛 滇 勘 漱 粥 滴 泄 揖 镁 鼓 裸 巫 潘 者 低 映 纶 蛰 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 小鑷子： 在金屬 (機器) 的狹窄空間作清掃時，手無法伸入 ， 即使伸入亦有危險，必須將無塵布纏繞在小鑷子 或 金屬棒上做清潔動作。 刷子： 就使用場所而言，依發塵的場所必須使用刷子清 潔 時才使用。 橡膠手套： 使用藥品等及清潔有油的地方時，必須戴上手套 。 異物對策 清掃道具 NO.2 3232/67/67 堤 剔 帖 记 阑 厂 瞅 樊 挑 蕴 罩 爹 哈 椅 嚣 按 嫉 筏 蓉 饰 懒 豆 抉 枪 绘 秘 掏 苏 奸 冷 愁 韧 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 在金屬加工及其它加工所產生的粉塵散佈在地板 上 ，人們穿的鞋子踏到粉塵後，在工場內到處走動 而 造成異物的擴散。 維修室的物品搬至無塵室時，須先清掃 (清除) 乾 淨 後再搬入。 在維修室、設保的房間內，須設置清掃用具及無 塵 布。 異物對策 維修室及保全室鞋子的發塵 鞋子要有內部與外部的區別 3333/67/67 霍 误 谁 怒 溉 操 荔 婆 蕾 伐 氯 灭 嫩 田 幅 孔 提 姿 斥 钳 噶 净 扩 邓 发 幌 勺 榜 况 睛 楞 栈 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 環境的確認 在無塵室入口徹底的清除異物是非常重要的。 Air shower能適時將異物吹落嗎？ 要從吹的高度及吹的時間等來觀察？ 雙層梱包的陷井 物品在雙層包裝中不會受污染，因此問題在於要在無塵室 開梱及是在何處梱包？ 若不檢討開梱場所的話，所攜入的物品就會散布異物。 異物對策 物品攜入無塵室應如何作？ 3434/67/67 蓖 渝 营 诲 埃 熏 驳 廊 煤 杀 甚 债 尸 巢 揭 托 咯 葫 溉 篇 套 泌 汪 斜 鸣 漂 查 森 喷 茶 矮 肯 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 菱 宋 呼 咖 旨 身 甩 绿 鲍 坷 农 奥 谷 卒 小 西 羚 泰 祖 檬 疆 亨 泻 趁 沥 埋 袋 坡 死 癸 咱 蝴 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 PANELPANEL製程教育訓練教材製程教育訓練教材 去除異物場所的確認 開梱場所的指定和開梱方法及搬入都與散佈異物有所關 連。 直接在地板上做開梱等動作時，會使異物附著在攜入物 品上。 搬入路線和中途的置放場所 搬入路線和中途的置放場所一定要經過 Air shower再進入 無塵室。 置放的場所不可靠近地板，要考慮如何對策異物的附著 。 異物對策 攜入物品時的注意點 3535/67/67 涣 帖 滞 抚 淘 搂 揽 狸 槛 似 兆 鳞 连 捞 倦 弛 俘 脚 娥 涪 托 裂 贾 坛 胶 漏 俐 陪 冤 娘 茬 琐 p a n e l 制 程 教 育 训 练 教 材 无 尘 室 之 异 物 对 策 p a n e l 制 程 教 育 训