太阳能电池片生产工艺流程.ppt_第1页
太阳能电池片生产工艺流程.ppt_第2页
太阳能电池片生产工艺流程.ppt_第3页
太阳能电池片生产工艺流程.ppt_第4页
太阳能电池片生产工艺流程.ppt_第5页
已阅读5页，还剩16页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

四、生产工艺介绍四、生产工艺介绍 晶体硅太阳能电池工艺流程如下： 生产工艺生产工艺-清洗和表面腐蚀清洗和表面腐蚀 生产工艺生产工艺-制绒制绒 表面绒面化 由于硅片用P型（100）硅片 ，可利用氢氧化钠溶液对单晶 硅片进行各向异性腐蚀的特点 来制备绒面。当各向异性因子 10时（所谓各向异性因子就 是（100）面与（111）面单晶 硅腐蚀速率之比），可以得到 整齐均匀的金字塔形的角锥体 组成的绒面。绒面具有受光面 积大，反射率低的特点。可提 高单晶硅太阳电池的短路电流 ，从而提高太阳电池的光电转 换效率。 金字塔形角锥体的表面积S0等于 四个边长为a正三角形S之和 由此可见有绒面的受光面积比光 面提高了倍即1.732倍。 绒面受光面积 当一束强度为E0的光投射到图中的A点，产生反射光1和进 入硅中的折射光2。反射光1可以继续投射到另一方锥的B点， 产生二次反射光3和进入半导体的折射光4；而对光面电池就 不产生这第二次的入射。经计算可知还有11%的二次反射光可能 进行第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04%。 绒面反射率 生产工艺生产工艺-扩散扩散 生产工艺生产工艺-表面成膜表面成膜 等离子化学气相沉积(PEVCD) PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在 300-900的温度下通过化学反应产生Si3N4的过 程。典型的化学反应为： SiH4 + NH3 Si3N4 + NH3 + N2 多晶硅太阳电池广泛使用PECVD淀积SiN ,由于 PECVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜, 同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅 片具有表面钝化和体钝化的双重作用,可用于大批 量生产高效多晶硅太阳电池,为上世纪末多晶硅太 阳电池的产量超过单晶硅太阳电池立下汗马功劳 。随着PECVD在多晶硅太阳电池成功,引起人们 将PECVD用于单晶硅太阳电池作表面钝化的愿望 。 生产工艺生产工艺-制备电极（制备电极（1 1） 生产工艺生产工艺-制背电极（制背电极（2 2） 生产工艺生产工艺-背表面钝化背表面钝化 五、生产设备五、生产设备清洗设备清洗设备 生产设备生产设备扩散炉扩散炉 生产设备生产设备刻蚀刻蚀 生产设备生产设备PECVDPECVD 生产设备生产设备测试仪测试仪 生产设备生产设备烘干炉烘干炉 生产设备生产设备快烧炉快烧炉 五、生产环境及其它五、生产环境及其它 太阳能电池生产最主要的材料是单晶硅片或多晶硅片。 其它辅料包括: 化学液（ NaOH 、IPA、乙醇、铭酸、HF） 特气（CF4、SiH4、NH3） 大宗气体（CDA、N2、O2） 水（PCW、DI） 单晶硅的制绒工艺：是通过NaOH和乙醇反应，在硅片上形成减反 织构，增强电池对光线的吸收能力。 多晶硅的制绒工艺：是加入铬酸和氢氟酸，利用铬酸的强氧化性将 切割后硅片上的污物清除，并产生SiO2和C2O3，达到在硅片上
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论