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文档简介
第五章长度测量 5-1 概述 5-2 长度尺寸测量 5-3 形位误差和异形曲面的测量 5-4 表面粗糙度测量 5-5 线位移量的测量 5-6 纳米测量技术 1 5-3 形位误差和异形曲面的测量 （一）基本概念 （二）直线度误差 一、形位误差的测量 2 直线度误差 最小包容区域法（最小条件法 ） 端点连线法 相邻点高度差：=0.005cl 各采样点坐标值： 3 圆度误差定义： （三）圆度误差的评定 4 5 （四）用圆度仪测量同轴度误差 6 二、异形曲面的测量 手工测量法； 机器人测量法； 三坐标测量法； 经纬仪组合测量法； 机器视觉测量法。 7 （一）视觉传感器的类型及工作原理 类型 点光源、线光源、光栅式（多平行线）结构光 同心圆环、圆光斑 编码式结构光、彩色结构光 双目体视传感器 8 （二）机器视觉检测系统 固定式：适用于大批量产品的快速检测。 可动式：一般用于单件产品或小批量产品的测 量。 9 5-4 表面粗糙度测量 1. 接触式轮廓仪（触针式轮廓仪） 2、非接触式轮廓仪 10 5-5 线位移量的测量 一、大位移量的测量 激光测量 非相干测量相干测量 脉冲测距法相位差测距法 11 （一）非相干测量脉冲测距法 12 （二）相干测量 13 二、物位测量 14 15 5-6纳米测量技术 一、扫描隧道显微镜 工作方式：恒高度、恒电流 16 二、原子力显微镜 工作模式： 1.接触模式 2.轻敲模式 3
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