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罕王微电子（辽宁）有限公司罕王微电子（辽宁）有限公司 罕王微机电高科技产业园项目（一期）罕王微机电高科技产业园项目（一期） 环境影响报告书环境影响报告书 （简简本本 ） 建设单位：罕王微电子（辽宁）有限公司建设单位：罕王微电子（辽宁）有限公司 评价单位：辽宁辐洁环保技术咨询有限公司评价单位：辽宁辐洁环保技术咨询有限公司 2013 年年 3 月月 目 录 1 建设项目概况建设项目概况 .1 1.1 建设背景及基本内容.1 1.2 规划及产业政策相符性分析.2 2 建设项目周围环境现状建设项目周围环境现状 .5 2.1 项目所在地环境现状.5 2.2 建设项目环境影响评价范围.5 3 建设项目环境影响措施及预测分析建设项目环境影响措施及预测分析 .7 3.1 运营期废气.7 3.1.1 废气治理措施.7 3.1.2 大气环境影响预测.8 3.2 运营期废水.9 3.2.1 废水治理措施 9 3.2.2 地下水环境影响预测 9 3.3 运营期噪声11 3.3.1 噪声治理措施 .11 3.3.2 噪声环境影响预测 .13 3.4 运营期固体废物13 3.5 施工期环境影响分析14 3.5.1 对公共设施和服务的影响 .14 3.5.2 施工扬尘的影响 .14 3.5.3 汽车尾气 .14 3.5.4 施工废水 .15 3.5.5 施工噪声 .15 3.5.6 施工弃土与回填 .15 3.5.7 小节 .16 3.6 环境风险预测分析.16 3.7 经济损益分析.17 3.8 环境监测计划及环境管理制度.17 3.8.1 环境监测计划.17 3.8.2 环境管理制度.18 4 公众参与公众参与 .20 4.1 公众参与的目的.20 4.2 调查范围与方式.20 4.3 公众参与调查结果分析.20 4.4 小结.22 5 环境影响评价结论环境影响评价结论 .23 1 1 建设项目概况建设项目概况 1.1 建设背景及基本内容建设背景及基本内容 为进一步完善产业链条，推动产业升级，本着引进国外先进技术以推进中 国相关高新科技产品产业化发展的理念，缩小微机电系统传感器及装置产业化 生产制造技术国内外的差距，发展高端传感器和微机电系统装置，罕王微电子 （辽宁）有限公司决定在抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园，该产 业园总投资 30 亿人民币，占地 1000 亩，将引进国外先进技术，生产和销售微 机电系统芯片产品及其应用领域的配套产品，将新建生产厂房、配套设施、技 术服务中心、市场开发等完善设施。其中包括 4.5 级芯片生产超净间，万级和 十万级芯片封装超净间。 该产业园的建设将分三期进行，本项目为一期工程，总投资为 60000 万人 民币，主要建设内容为芯片生产车间、芯片封装车间、传感器系统安装车间以 及相关配套设置，主要产品为 mems 压力传感器、加速度计以及陀螺仪等，年产 量为 1.2 亿只。 项目组成表见表 1-1。 表 1-1 项目组成 项目名称规模及内容性质 芯片生产车间 主要进行芯片的前端 生产，主要工艺为硅 片清洗、薄膜沉积、 扩散、光刻等 新建 芯片封装车间 主要负责工艺后端， 主要工艺为切割、点 胶、固化、印刷等 新建 主体工程 传感器组装车间 传感器安装，主要工 艺为点胶、固化、组 装等 新建 公用工程给水开发区管网依托 2 项目名称规模及内容性质 排水 生产废水经各处理设 施处理后与生活污水 共同进入三宝屯污水 处理厂 依托 供电 市政电网，在厂内新 建 11kv 变配电所 依托 供暖 抚顺经济开发区水暖 公司 依托 氮气、氢气大宗气站新建 生产支持楼 a 4 层，面积为 13044m2 新建 生产支持楼 b4 层，面积为 8402m2新建 仓库3 层，面积为 4035m2新建 化学品库1 层，面积为 1358m2新建 辅助工程 气体存储库1 层，面积为 461 m2新建 废气 酸性废气喷淋塔 2 套 碱性废气喷淋塔 2 套 区域除害装置 2 套 炭纤维废气净化器 3 套 新建 清污分流管网新建 酸碱废水中和处理、 生物接触氧化处理、 化学沉淀处理、研磨 废水絮凝处理、含氨 废水吹脱+硝化处理 新建 废水 进入三宝屯污水处理 厂 依托 噪声治理 采用低噪声设备，同 时对各类机泵采用消、 吸/隔音设施及减振 措施 新建 环保工程 绿化厂区绿化 30%新建 1.2 规划及产业政策相符性分析规划及产业政策相符性分析 2011 年抚顺市经济开发区委托辽宁省环境科学研究院编制了抚顺市经济 开发区及周边 54.84km2控制性详细规划环境影响报告书 ，2013 年 2 月 22 日， 辽宁省环境保护厅以辽环函201357 号关于抚顺市经济开发区及周边 54.84km2控制性详细规划环境影响报告书的审查意见出具了审查意见。本项 3 目位于抚顺经济开发区二类工业用地内，因此，项目选址符合相关规划的要求。 根据产业结构调整指导目录（2011 年本） ，与本项目相关内容为鼓励类 第 19 条：集成电路设计，线宽 0.8 微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装 （bga） 、插针网格阵列封装（pga） 、芯片规模封装（csp） 、多芯片封装 （mcm）等先进封装与测试；第 20 条：集成电路装备制造；第 21 条：新型电 子元器件（片式元器件、频率元器件、混合集成电路、电力电子器件、光电子 器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板 等）制造；第 32 条：医疗电子、金融电子、航空航天仪器仪表电子、传感器电 子等产品制造。本项目以 8 英寸芯片为基本原材料，经过加工、封装，最终产 品为 mems（微机电系统）传感器，其主要应用于汽车、医疗、消费电子等领 域，属于鼓励类项目，符合产业结构调整指导目录（2011 年本） 的要求。 根据辽宁省产业发展指导目录（2008 年本） ，与本项目相关内容为鼓励 类第五大条第 3 条：新型传感器开发及制造。本项目以引进国外先进技术推进 中国高科技产品的产业化发展为理念，开发生产的高端微机电系统传感器达到 世界水平，符合辽宁省产业发展指导目录（2008 年本） 的要求。 根据外商投资产业指导目录（2011 年修订） ，与本项目相关内容为鼓励 类第十七大条第 14 条：汽车电子装置制造与研发中的电子控制系统的输入（传 感器和采样系统）输出（执行器）部件；第二十一大条第 15 条：新型电子元器 件制造中的敏感元器件及传感器。本项目以 8 英寸芯片为基本原材料，经过加 工、封装，最终产品为 mems（微机电系统）传感器，其主要应用于汽车、医 疗、消费电子等领域，属于鼓励类项目，符合外商投资产业指导目录（2011 年修订） 的要求。 为推进我国物联网有序健康发展，国务院于 2013 年 2 月下发了国务院关 于推进物网有序健康发展的指导意见（国发2013第 7 号文件），在意见 中：“二、主要任务”一栏内阐述道：“（一）加快技术研发，突破产业瓶颈。 以掌握原理实现突破性技术创新为目标，把握技术发展方向，围绕应用和产业 急需，明确发展重点，加强低成本、低功耗、高精度、高可靠、智能化传感器 的研发与产业化，着力突破物联网核心芯片、软件、仪器仪表等基础共性技术， 4 加快传感器网络、智能终端、大数据处理、智能分析、服务集成等关键技术研 发创新。”本项目着力突破物联网核心芯片即 mems 芯片传感器研发与生产， 以实现低成本、低功耗、高精度、高可靠、mems 智能化传感器的研发与产业 化，符合国务院关于推进物网有序健康发展的指导意见的要求。 为贯彻落实国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定，更好 地指导各部门、各地区开展培育发展战略性新兴产业工作，国家发改委会同相 关部门，组织编制了战略性新兴产业重点产品和服务指导目录并于 2013 年 2 月 22 日以发改委2013第 16 号文件形式正式出台，目录涉及战略新兴产 业 7 个行业、24 个重点发展方向下的 125 个子方向，共 3100 余项细分的产品 和服务。战略性新兴产业重点产品和服务指导目录中：2 新一代信息技术 产业，2.2 电子核心基础产业，2.2.1 集成电路内容中明确指出“mems 传感器 芯片”系战略性新兴产业重点产品和服务指导目录组成部分之一， “mems 传感器芯片”属于国家发改委确定的战略性新兴产业重点产品。本项 目生产 mems 传感器芯片，符合战略性新兴产业重点产品和服务指导目录 的要求。 5 2 建设项目周围环境现状建设项目周围环境现状 2.1 项目所在地环境现状项目所在地环境现状 （1）环境空气质量现状 监测期间，so2各监测点位小时浓度范围为 0.0080.203 mg/m3、日均浓度 范围为 0.010.142 mg/m3；no2各监测点位小时浓度范围为 0.0080.118 mg/m3，日均浓度范围为 0.0180.105 mg/m3，监测期间 so2、no2监测指标均 达到环境空气质量标准 （gb3095-1996）中二级标准要求。 tsp 日均浓度范围为 0.1550.822 mg/m3，pm10日均浓度范围为 0.0860.532 mg/m3，监测期间，tsp 和 pm10部分监测值超过了环境空气质 量标准 （gb3095-1996）中二级标准限值要求，原因本项目新厂区和周边几个 企业均正在施工，因此 tsp 和 pm10监测值较高。 （2）噪声质量现状 项目厂址东、南、西、北厂界各监测点位昼、夜间噪声值均满足声环境 质量标准 （gb3096-2008）中的 3 类标准要求。 （3）地表水质量现状 氨氮、总磷和石油类浓度已超出类地表水标准限值，最大超标倍数分别 为 0.37 倍、1.2 倍、0.4 倍。除氨氮、总磷和石油类以外，其余监测因子均满足 类地表水标准限值要求。 （4）地下水质量现状 项目厂址所有监测因子均满足地下水质量标准 （gb/t14848-93）中 类标准要求。 2.2 建设项目环境影响评价范围建设项目环境影响评价范围 （1） 大气环境影响评价范围 6 根据评价工作等级（三级）要求，考虑到本项目所在区域的地形、地理特 征，确定大气环境影响评价范围为以本项目为中心，直径为 5km 的圆形区域。 （2） 地表水环境影响评价范围 本项目总排口废水排至抚顺市三宝屯污水处理厂，因此，本环评水环境评 价范围为本项目废水总排口。 （3） 地下水环境评价范围 根据 i 类建设项目地下水环境现状调查评价范围，建设项目评价级别分类 以及具体水文地质条件，确定此次项目调查评价范围，北至大南村，东侧至蔡 家沟村，西至康红村，南至后康村，面积约 23.82km2。 （4） 噪声环境评价范围 本项目噪声评价范围为厂区边界及周围居民区。 （5） 环境风险评价范围 本项目大气环境风险评价范围依据导则规定为以本项目厂区为中心，半径 为 3km 的范围。 7 3 建设项目环境影响措施及预测分析建设项目环境影响措施及预测分析 3.1 运营期废气运营期废气 3.1.1 废气治理措施废气治理措施 本项目生产过程中排放的废气有酸性废气（包括特殊性气体） 、碱性废气和 有机废气，分别设置有效的气体净化设施，使废气中的污染物排放量大大降低。 （1）酸性废气 对生产厂房中有酸性废气产生的各个设施进行排风，捕集的酸性废气经湿 性洗涤器（wet scrubber）净化处理；晶片生产过程使用的硅烷(sih4)、磷烷 (ph3)、等特殊性气体自设备排出后先经专用的区域性除害装置(local scrubber) 先行处理，再进中央湿式洗涤塔，洗涤后废气由防腐离心机经高于屋顶的排气 筒排放。区域性除害装置针对不同的废气成分分别采用吸附、燃烧等等处理工 艺进行处理，处理效率可达 90%以上，本项目由于硅烷易燃，故采用燃烧处理 方法。卧式洗涤器因其紧凑性而特别适合在有限的设备安装空间内使用。治理 基于吸收原理,所有与废气直接接触的部分均由防腐材料制成。 湿式洗涤器采用 20%naoh 作为中和液。酸性废气进入洗涤器后，水平穿 过填料，中和液由喷淋管上的喷头均匀分布在填料上，水气两相在填料上得到 充分接触，废气中的酸性物质与中和液中的 naoh 发生化学反应，转移至液相， 废气得到净化，中和液循环使用。废气处理效率可达 90%左右。 随着化学反应的进行，中和液的 ph 值不断降低，此时需投加碱液。碱液 的投加由控制系统自动完成。而排放的少量废中和液进入酸碱废水治理系统。 （2）碱性废气 碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。 对生产厂房中有碱性废气产生的各个房间进行排风，捕集的碱性废气经湿 8 式洗涤器净化处理后，由防腐离心风机经屋顶排气筒排放。 湿式洗涤器采用 80%废 h2so4作为中和液，排放的少量废中和液进入酸碱 废水处理系统，废气处理效率预估可以达 90%左右。 （3）有机废气 有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶 剂废气。 在生产的初始阶段，生产规模较小，有机溶剂废气中污染物的初始浓度及 产生量均较小，采用直接达标排放方式。待生产产量再行增加，污染物产量增 大时，再增加治理设备，确保排气中的污染物达到国家规定的标准。 拟采用吸附法进行处理。使用吸附法净化治理有机溶剂废气（voc）是一 种成熟的治理技术。通常的吸附剂有活性炭、沸石等种类。 （4）传感器组装车间和污水站废气 为减轻厂区传感器组装车间无组织排放的有机废气和污水处理站排放的恶 臭物质对周边环境的影响，项目在传感器组装车间和污水处理站周围进行绿化， 并对污水处理站采取主体构筑物加盖、收集、除臭治理措施。 3.1.2 大气环境影响预测大气环境影响预测 本项目hf最大落地浓度为 0.0000768mg/m3，最大落地点位于下风向 166m 处，最大浓度占标率为 0.384%；hcl 最大落地浓度为 0.0000681mg/m3，最大落 地点位于下风向 166m 处，最大浓度占标率为 0.1362%；硫酸雾最大落地浓度 为 0.000277mg/m3，最大落地点位于下风向 166m 处，最大浓度占标率为 0.0923%； 氨最大落地浓度为 0.0000442mg/m3，最大落地点位于下风向 124m 处，最大浓 度占标率为 0.0221%， ；nox最大落地浓度为 0.0003625mg/m3，最大落地点位于 下风向 124m 处，最大浓度占标率为 0.145%。由以上可以看出，项目排放的污 染物占标率均低于 10%，因此对环境影响较小。 本想传感器安装车间和有机污水处理站的卫生防护距离均为 50m，目前项目 附近最近的的学校、居民区等的距离都在 50m 以上，因此现有本项目区域位置 9 设置可以满足本工程卫生防护距离要求。 3.2 运营期废水运营期废水 3.2.1 废水治理措施废水治理措施 本项目生产产生的废水主要有五种：酸碱废水、有机废水、含氟废水、含 氨废水和研磨废水。根据废水性质不同，采用各自独立系统，进行分流处理。 （1）工艺酸碱废水 本项目含氟废水采用化学沉淀法进行处理超纯试剂以及超纯水对生产硅片 进行清洗的过程，包括对生产工具、器具、石英制品的清洗等。工艺酸碱废水 一并处理后，拟汇入中和处理系统处理后由公司废水总排口排放。 （2）工艺含氟废水 含氟废水采用化学沉淀法进行处理。 （3）工艺含氨废水 本项目产生的含氨废水属高浓度的含氨废水。拟采用吹脱硝化脱氮方式 处理，处理后出水溢流至最终ph调节槽，与上述工艺酸碱废水一并中和处理后 排放。 （4）研磨废水 本项目分为背晶研磨废水、金属研磨废水等，主要污染物为悬浮物，采用 絮凝沉淀法进行处理后进入中和系统。 （5）有机废水 根据生产废水中有机物的含量分析，采用生化法处理。废水经过 ph 调节， 生物接触氧化，澄清沉淀后排放，部分污泥回流，其余污泥经浓缩、脱水后外 运。由专门公司统一处理。 （6）生活污水 生活污水经化粪池处理排入厂区污水管网，再排至市政排水管网。 3.2.2 地下水环境影响预测地下水环境影响预测 水文地质条件分析结论 10 拟建项目第四系地下水为松散岩类孔隙潜水，微承压性，下伏太古界鞍山 群混合岩，混合岩组裂隙较发育，为隔水层。含水层岩性主要为第四系砂砾石、 含粘土砂砾，夹亚粘土层，含水层厚 5-10m，渗透系数约 1020m/d，单位涌 水量为 500-1000m3/d，地下水稳定水位埋深 9.7m-25m，水头标高 70.37-85.21 m。厂区内包气带岩性为粉质粘土，厚 8.223m，局部分布有上层滞水，该地 下水以大气降水为主要补给来源，主要排泄方式为地下径流和地表蒸发，以向 河流排泄为主，地下水位年变幅约 2.0 米左右。地下水水力坡度约 5。 评价区地下水水质现状评价结论 评价区地下水水质现状有如下几个特征： a 本区地下水水质较好，未受到较大的污染和破坏，只是地下水中的石油类含 量达到了地表水水质的类标准水平，而其他成分均为超过地下水类标准。 b 有机污染物如苯、挥发酚等在评价区各点均未检出，表明此类污染物未对本 区地下水产生影响。 c 重金属有毒污染物 hg、cd、as、cr6+均未检出，表明重金属污染物对本区 地下水影响不大。 d cod 表征工业污染环境特征，本区 cod 未超标，反映了工业污染情况很轻。 e 氮类特征污染物的检出，反映了生活及农业污染特征，可能与本区原水田施 肥有关。 项目周边水环境影响预测评价结论 a 正常工况，无防渗措施，泄露的 cod 和 nh3-n 在 5 年后主要集中在生产厂 区附近，均在生产区 118.42m 范围以内。随着时间的推移，其影响范围不断扩 大，由其是沿着地下水流向的方向上，在 20 年后其影响距离达到了 325.49m。 该设定工况下，废水的泄漏对厂区内生产区的地下水水质造成一定程度的破坏， 影响范围在厂区外围 325.49m 范围，可能会对东台河的水质有一定的影响。 b 正常工况、有防渗措施，废水的泄漏对潜水含水层不构成明显影响，因此， 该工况下对全区各含水层不造成污染影响。 c 非正常工况、有防渗措施，废水的渗漏不构成对地下水的严重影响，也不会 11 破坏下游地下水水质。 d 存储装置爆炸情况下，由于设计含水层直接被揭露，污染物质直接进入含水 层，导致破坏性最大，地下水水质将遭到严重污染，并且污染浓度大，扩大趋 势较快，虽然 20 后影响距离达到了 374.80m，对项目区周边的地下水环境还是 存在一定的安全隐患。 由此可见，厂区地面采取有效的防渗措施是十分必要的，它是地下水环境 安全的必要保障；同时安全、科学的生产是地下水环境保护的前提。 地下水污染防治措施评价结论 本次评价将厂区划分重点污染防治区、一般污染防治区和非污染防治区。 重点污染防治区指位于地下或半地下的生产功能单元，污染地下水环境的物料 泄漏不容易及时发现和处理的区域，主要为 mems 产品检测中心、mems 芯 片前端工艺生产车间、mems 芯片前端工艺生产车间、传感器系统安装车间、 mems 产品安装调试车间、mems 测试中心、动力车间、设备仪器检测车间、 化学品储存库、机加工车间 1、机加工车间 2、污水处理站；一般污染防治区指 裸露地面的生产功能单元，污染地下水环境的物料泄漏容易及时发现和处理的 区域，主要为研发中心、设计中心、生产支持楼、变电站；其他区域为非污染 防治区； 厂区发生污染物泄漏时，为防止受污染的地下水向周边地带扩散，可以采 用开采厂区地下水的方法，使地下水流线向厂区集中，有效地防止地下水污染 物扩散，保护周边分散居民的饮用水源。在进行抽水阻断的同时，地表防渗及 阻断污染源泄漏等应急手段应同时进行。对抽出的地下水水质进行检测，达到 地下水质量标准 （gb/t14848-93）类标准后，可以逐渐恢复正常状态。 地下水环境的保护应以地面防渗等主动性措施为主要保护手段，使污染源 的渗漏达到最小程度，并辅以地下水环境监测和应急保护措施进行含水层的防 护。 12 3.3 运营期噪声运营期噪声 3.3.1 噪声治理措施噪声治理措施 本工程的噪声污染源主要来自动力设备，如冷冻机组、空压机、真空泵、 通风机、水泵等。 本项目在工程设计上采取以下措施： （1）合理布置噪声源：冷冻机组、空压机、真空泵、水泵等强噪声源均布置在 密闭厂房内；冷却塔布置在动力厂房楼顶部。 （2）选择低噪声设备：冷冻站、空压站、水泵等动力设备选用满足国际标准的 低噪声、低振动设备，设备都设有减振基础并采用消声措施。 （3）在建筑采取隔声措施，设备与管道之间的连接采用柔性连接，以减少噪声 和振动的传递。 （4）在资金方面，噪声治理重点是动力厂房设备噪声的控制，对空压机房、冷 冻机房和废气处理装置、冷却塔噪声等进行控制，尽可能降低生产设备噪声对 周围环境的影响。 本项目动力设备的噪声治理措施分述如下： （1）通风机噪声控制 生产区空调净化、通风系统及动力站空调通风系统 本项目生产过程所用通风机主要设置在净化生产厂房和动力厂房，用作厂 房内空气净化、空调和通风。在降噪措施方面，采取如下措施。 所有空调器、风机选用符合国家噪声标准的设备；空调器的风机带减振底 座。本项目在设计上拟采用风机减振台基础，空调净化排风系统的主排风管设 消声器，排风管道进出口加柔性软接头；门窗均采用隔声门或隔声窗等，以降 低风机噪声的影响。 生产区及生产支持区通风系统 生产区及生产支持区一般废气（废热）排风和工艺排风。工艺排风分为酸 性废气、碱性废气、有机废气净化系统，处理装置布设在净化生产厂房的屋顶， 净化后的工艺废气经排气筒排入大气。在工程设计上除采用风机减振台基础， 通风机的进风和出风口均加设消声器，接头处采用柔性软接头；门窗均采用隔 13 声门、隔声窗。对于设置在屋顶的风机，必要时可加设风机隔声罩，以降低风 机噪声对周围环境的影响。 （2）空压机、冷冻机和真空泵噪声控制 空压机、水泵、冷冻机和真空泵等动力设备大部分安装在密闭的房间内， 对噪声较大的设备，房间内壁铺设吸声材料，采取隔声门、隔声窗等措施，使 房间内的噪声控制在 85 db(a)以下。 （3）冷却塔噪声控制 冷却塔的噪声与其他的动力设备装置相比，噪声并不突出，但是多数单位 的冷却塔由于布设在临近厂界的厂房顶，其噪声对外界的影响不可忽视。采取 以下噪声控制措施： 选用振动、噪声符合国家标准的水泵设备与冷却塔。 控制冷却塔的淋水噪声，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫，该材料 专门用于冷却塔降噪用的材料，它既有一般塑料的柔软性，又有多孔漏水的通 水性，可减小淋水噪声；一般可降低淋水噪声 57 db(a)。 （4）变配电设备 选用低噪声变压器及低噪声开关 对变压器加装保护外壳 （5）水泵 水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲 绕橡胶接头以减振。 3.3.2 噪声环境影响预测噪声环境影响预测 本项目噪声源经措施治理及距离衰减后，各厂界排放噪声值能够满足国家 工业企业厂界环境噪声排放标准 （gb12348-2008）中 3 类的要求限值。 3.4 运营期固体废物运营期固体废物 根据对国内数家集成电路芯片企业的调查和统计，通常包括一般工业固体 废物、危险废物和生活垃圾等。 14 本项目一般工业固废包括废芯片、废活性炭、电子混合废料、废包装料、 污水处理站污水，其中废芯片和废活性炭由生产厂家回收；电子混合废料和废 包装材料外售；废水处理污泥进行填埋处理等。 本项目危险废物包括废光刻胶、废显影液、混合有机溶剂废液、异丙醇废 液、废酸、含氟废液，均有有资质单位处理。 本项目生活垃圾进行填埋处理。 固废治理措施遵循了中华人民共和国固体废物污染环境防治法 、 危险 废物贮存污染控制标准 （gb18597-2001）中的有关规定，杜绝了二次污染。 因此本项目固废排放去向是可行、可靠、合理的。 3.5 施工期环境影响分析施工期环境影响分析 3.5.1 对公共设施和服务的影响对公共设施和服务的影响 本项目建设期间大多数的雇佣工人要往返于厂址及住地之间，职工上下班 的往返班车，运输材料的卡车和生产设备的大件运输，公路运输流量将会有一 些增加，但是这种影响是间断性的。因此，对公路的影响是有限的。 3.5.2 施工扬尘的影响施工扬尘的影响 （1） 施工扬尘 生产设施等工程施工过程中，清理土地、挖掘地基、挖土填土等施工作业 中所产生的扬尘，在短期内影响当地的空气质量，主要影响是扬尘污染。这种 污染的影响是暂时的，工程一结束，污染影响也就基本消失。粉尘排放量随施 工作业的活动水平、特定操作和主导天气而变化很大。 建筑施工活动的粉尘排放数量与施工面积和施工水平有关。根据相关工程 的现场模拟数据调查，在距平整土地场地 50m 处，产生的扬尘（tsp）可降至 1.00mg/m3。由于本项目施工现场周围空旷，对周围环境影较小。 （2） 运输车辆 15 车辆运输造成施工作业场所近地面 tsp 浓度升高，施工及运输车辆引起的 扬尘对路边 30m 范围以内影响较大，而且成线形污染，路边的 tsp 浓度可达 10mg/m3以上，一般浓度在 1.5mg/m330mg/m3。 3.5.3 汽车尾气汽车尾气 燃油机械和汽车尾气中的污染物为燃料燃烧后的产物，主要有 no2、co 及 cmhn等，有关测试结果表明，no2的浓度可达 150g/m3，其影响范围在 200m 以内的范围。 3.5.4 施工废水施工废水 施工期废水主要来自于施工人员洗漱等生活用水，主要污染物为 ss、codcr，尽管排水量不大，但短期内会对施工区局部水环境造成一定影响。 3.5.5 施工噪声施工噪声 施工产生的噪声主要来自于各种机械和车辆以及推土机、挖掘机、装卸机 等机械噪声，主要施工机械产生的噪声强度和距离声源不同距离处等效声级见 表 3-1，噪声衰减按点源自由场中声压级衰减规律计算。 表 3-1 主要噪声源强度及不同距离的噪声值 单位：db（a） 距声源距离 施工 阶段 主要 噪声 源 声级 204060801002004001300 土石 方阶 段 挖掘 机、 推土 机 90- 102 66-7660-7056-6654-6452-6246-5640-5029-39 结构 阶段 混凝 土振 捣器 87-9761-7155-6551-6149-5947-5741-5135-4525-38 由表 3-1 对照建筑施工场界环境噪声排放标准 （gb12523-2011）标准， 16 本项目昼间 40m 处满足昼间 70db(a)，夜间 200m 处噪声满足 55db(a)的标准 要求。 本项目厂址 200m 范围内无久住居民，因此，不会发生施工噪声扰民现象。 3.5.6 施工弃土与回填施工弃土与回填 本项目厂址地势北高南低，施工期间，场地挖方可以用于平整土地，因此， 本项目无弃土。 3.5.7 小节小节 施工期间虽对环境产生一定的影响，但其影响是短暂的，随着施工期的结 束，其影响也将结束。 3.6 环境风险预测分析环境风险预测分析 根据本项目所使用的主要原辅料，确定生产过程中所涉及的物质风险识别 范围为：盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、丙酮、异丙醇、硅烷、氨气、氢气等， 这些物品在储存过程中始终存在不同程度的如火灾、爆炸、泄漏等环境风险。 本项目生产设施风险识别范围指厂区内部的主要生产装置、贮运系统、公 用工程系统及辅助生产设施。 本项目氨气钢瓶位于生产车间内部，氨气发生泄露后半致死浓度、危险健 康浓度影响范围在厂区内，对周围环境影响不大。 针对本项目存在的风险事故，项目设计时已经考虑了将危险气体钢瓶置放 于气瓶柜内，气瓶柜安装排风装置，同时在排风管路中设有探头，如果发生泄 漏即会自动报警（或排风中断，也会报警） ；气瓶内还装有自动喷淋灭火装置， 存放处的天花板上也装有探测探头与报警系统相连。在具备硬件防范措施同时， 建议建设单位加强以下的防范措施：化学品库安全保障措施、化学品传输系统 安全措施、固体废物的存储、堆放、液态废物的存储、堆放、空气系统安全、 17 消防等措施。 本项目应加强管理，严格落实本报告提出的各项事故风险防范措施，按应 急预案原则内容编制环境风险应急救援预案，并配置相应救援物资和设备，进 行相关人员培训和预案的演练，并尽可能杜绝各类事故的发生，避免当地的环 境受到污染。 在完善本项目风险防范措施建设的基础上，本项目的环境风险是可以接受 的。 3.7 经济损益分析经济损益分析 本项目总投资 60000 万元，主要财务指标分析见表 3-2。 表 3-2 全厂财务指标表 序号项目名称单 位经济指标 1主要产品产量万只/年12000 2年产值万元120000 3年利税万元6320 4项目投入总资金万元60000 本项目从产品的技术经济效益等方面的分析来看，项目具有较好的市场前 景和财务经济效益。因此，本项目从财务角度分析可行。 3.8 环境监测计划及环境管理制度环境监测计划及环境管理制度 3.8.1 环境监测计划环境监测计划 为了加强环境保护工作，罕王微电子（辽宁）有限公司的环境管理机构负 责对全生产过程的环境管理、监督工作和外协环境监测。 （1） 监测计划 废气监测内容及监测频次见表 3-3。 18 表 3-3 废气污染物排放情况 序号监测位置监测项目监测频率标准 1芯片生产车间 废气量、氟化物、硫酸雾、 hcl、氨气、异丙醇、有机废气 2芯片封装车间废气量、有机废气 3传感器系统安装车间废气量、有机废气 4污水处理站氨气、硫化氢 每季一次 gb16297-1996 gb14554-93 具体监测位置位于各废气处理设施进出口处。 监测厂总排口出水水质，监测项目为：ph 值、codcr、ss、nh3-n、f-、 磷酸盐共 6 项，监测频率为每月 1 次。 噪声监测包括厂界噪声监测、噪声源监测，厂界噪声监测频率为半年 1 次； 主要噪声源监测频率为 1 次/年。 3.8.2 环境管理制度环境管理制度 随着环境保护事业的发展，在厂内设置环境管理机构是十分重要的。罕王 微电子（辽宁）有限公司将设置安全环保科，主要负责制定全公司的环境保护 管理制度和监测规划，负责全厂环境管理与监督工作，强化管理与监督。 根据本项目实际情况，环境管理机构由罕王微电子（辽宁）有限公司副总 经理直接领导，环境管理机构分管，车间设置环保员，负责对环保设施的操作 维护保养和污染物排放情况进行监督检查，同时要做好记录，建立排污档案。 环境管理机构 5 人，科长 1 名，科员 4 名，负责全公司环保工作。 主要职责如下： （1）贯彻执行环保法规和有关标准； （2）组织制定和修改本厂的环境保护管理规章制度并监督执行； （3）制定并组织实施本厂的环境保护规划和计划； （4）领导和组织本厂的环境监测； （5）检查本厂环境保护设施的运行情况； （6）推广和应用环境保护先进技术和经验； （7）组织开展本厂环境保护专业的技术培训，以提高环保人员的技术素质和业 19 务水平； （8）组织和开展本厂的环境保护科研和学术交流。 要建立健全环保制度，设立全公司和车间的三级环境管理网，把环境管理 工作纳入公司、车间的日常生产管理中，把各项环境保护指标以责任书的形式 层层分解到有关单位和个人，实行岗位责任制，建立一支懂行善管的环保队伍。 对车间操作人员要要定期进行关于操作技能和环保方面的培训，加强操作人员 的事业心和环保责任感，要严格按照操作规程办事，要管好用好环保设施，充 分发挥其治理效能。 20 4 公众参与公众参与 4.1 公众参与的目的公众参与的目的 根据中华人民共和国环境保护法 、 建设项目环境保护管理条例 （中华 人民共和国国务院第 253 号令）以及环境影响评价公众参与暂行办法 （国家 环保总局，环发200628 号）等法律及法规的有关规定，在编制建设项目环境 影响报告书时需征求直接受工程影响的公众意见。公众参与是项目建设方或评 价单位同公众之间的一种双向交流，可以提高建设项目的环境合理性和社会可 接受性，以保证项目能被公众充分认可并提高建设项目的环境效益和经济效益。 公众参与有利于缓解公众的担心，并对一些难以用货币形式表达的资源进行准 确评估；此外，公众还能协助有关部门制定切合本地方实际的、有效的环保措 施。 4.2 调查范围与方式调查范围与方式 本项目于 2013 年 2 月 15 日接受环评委托后，于 2013 年 2 月 16 日在沈抚 新城（抚顺）政府网站上发布第一次公告（见附件） ，公告了项目的建设内容， 项目环评初稿完成后，2013 年 2 月 28 日在沈抚新城（抚顺）政府网站上发布 第二次公告（见附件） ，公告 10 个工作日后，于 2013 年 3 月 14 日发放调查表 50 份，本次公众参与调查范围为拟建地所在区域的居民，调查对象包括：工人、 农民、教师等不同身份的人群。 本次公众参与采用走访和发放调查表的方式，通过整理各位走访人员的意 见和公众参与调查表，得出公众对罕王微电子（辽宁）有限公司罕王微机电高 科技产业园项目（一期）建设后对环境影响的主要看法和建议。 4.3 公众参与调查结果分析公众参与调查结果分析 本项目公众参与调查表共发 50 份，收回 50 份，收回率为 100%，在收回的 21 50 份调查表中 100%被调查者对该项目建设表示赞成，无不清楚和持反对意见 的。公众参与调查情况见表 4-1。 表 4-1 公众参与调查结果 年龄 1835 15 人 3550 20 人 50 以上 15 人 性别 男 28 人 女 22 人 大学 8 人 大专 11 人高中 10 人初中 14 人 文化程度 小学 7 人 干部 0 人 工人 11 人农民 29 人教师 10 人 职业 学生 0 人 其他 0 人 调查内容 问题意见 赞成反对不发表意见 您对本项目持何态度 50 人0 人0 人 严重不严重无本项目建成后对该地区的大气环境 质量影响程度如何0 人0 人50