关于mems行业发展的调查报告.docx

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关于MEMS行业发展的调查报告 XXX xxxxxxxxxx 电子信息工程 指导老师：XXX摘要：简介微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems,MEMS）及它的历史，研究内容，发展方向等。简要分析当前国内外MEMS市场发展方向，各企业的市场情况及市场收益分配。简略预测未来MEMS新技术及行业的发展方向。引言：微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems,MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。目前，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品1。本文概述国内目前MEMS行业的发展情况及未来展望。一、MEMS简介：MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS特点：微型化、智能化、多功能、高集成度、适于大批量生产。7MEMS的发展历史 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻曲线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。 第二轮商业化出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。TI公司根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。 第三轮商业化可以说出现于世纪之交，微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。 2目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。推动第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针，以及所谓的片上实验室生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。 二、MEMS产业现状分析最近几年间，MEMS的发展可用“迅猛”来形容。市场调研公司Yole Developpement的研究报告指出，2012年全球MEMS市场规模将达115亿美元，相比2011年的增长幅度约为12.7%。此外，Yole Developpement预测，未来六年MEMS市场都将保持稳定、持续的增长，市场需求量平均年复合增长率达20%，平均年收益增长率达13%。MEMS传感器市场新一轮两位数增长的主要增长动力来自：（1）汽车市场的复苏（出货量增长32%）（2）消费电子（智能手机和平板电脑）（3）医疗电子（3）工业应用在MEMS技术不断发展的背后，市场的导向起了极其关键的作用，智能手机、平板电脑等便携设备近年来带领MEMS腾飞就是很好的证明。在未来几百亿美元的庞大MEMS市场中，了解哪些领域稳步发展、哪些领域蕴藏潜力是非常必要的。此外，就算同一领域，需求也在不断变化着。在首当其冲的消费电子领域就有几个新的变化。意法半导体AMS产品部技术市场经理闫子波指出，“手机和平板电脑的互联网化、英特尔推出的超级本等，这些变化推动着多种应用。”目前在笔记本电脑中的运动传感器只有加速度计一种，用于防止笔记本电脑跌落时硬盘受损，而随着英特尔超级本的出现，陀螺仪和地磁感应器也将被引入其中，用于实现室内导航与增强实现功能。根据市场调研公司的预测，在超级本的应用方面，包括加速度计、陀螺仪和地磁感应器在内的运动传感器销售额到2016年将达到1.17亿美元，而在2012年这个数字仅为830万美元，年复合增长率达94%。除了传感器，另一股MEMS产品在消费电子中的地位不可小觑，那就是声表面波（SAW）和体声波（BAW）产品。MEMS元件的表面声波技术被广泛应用在手机中的射频滤波器和双工器，非常适合于1.9GHz的2G手机；而体声波则可用于1.5GHz的4G LTE智能手机上。从低成本的GSM手机到多频带LTE智能手机，这个市场的架构是非常分散的，但有些组件是十分重要的，例如滤波器和双工器。凭借SAW和BAW技术，TriQuint曾异军突起，成为增长最快的MEMS制造商。而随着智能手机不断普及，这将成为SAW和BAW市场的强大推动力，MEMS在这一领域的增长将显而易见。其实，早在在MEMS大量应用于消费电子之前，汽车电子是其最主要的应用领域。每台汽车会有四十到上百个传感器，汽车智能化的发展趋势也将促进汽车市场对传感器的需求。其应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统（ABS）、电子车身稳定程序（ESP）、电控悬挂（ECS）、电动手刹（EPB）、斜坡起动辅助（HAS）、胎压监控（TPMS）、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。其中电子车身稳定程序ESP得到众MEMS厂商的高度关注，因为其主动防滑功能要求更多的传感器和先进的处理系统，所以将带动汽车电子MEMS应用市场的需求。在传统的汽车电子和消费电子迎来MEMS需求的稳步增长外，随着人口老龄化，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入，未来增长最快的应用市场将来源于医疗电子。ADI微机械产品线高级应用工程师赵延辉表示，由于 MEMS具有微型的特点，可以代替器官植入、微量检测，主要的发展方向是血管内手术和颅内手术以及细胞手术。除去以上三个领域，在工业领域中，MEMS也有很大的应用。小体积、低成本的MEMS传感器越来越多的用在各种机械振动监测上，这可以用来监测马达、轴承等的振动、从而实现预见性维护；利用MEMS加速度计实现的倾角仪也被广泛用在各种工业测量设备上；还有遥控直升机的伺服系统、两轮车的平衡系统、天线稳定平台等。随着技术的不断进步，MEMS正从各个方面走进我们的生活，其势必成为整个半导体产业的热点。在这一领域，有些厂商已经取得很大的成就，有些后来居上，而还有一些正在不断的摸索。不管怎样，如此巨大的市场未来将为走入这一领域的厂商创造出越来越多的机会。谁把握了市场的导向、谁走在了技术的前列，谁就将赢得最终的市场。可以看出MEMS的市场要点主要包括（1）MEMS仍然是一个分散的市场：鲜有MEMS应用市场规模超过2亿美元。（2）MEMS现在提供至关重要的增值功能。（3）新型MEMS应用商业化的时间更短。（4）消费电子市场需要8英寸晶圆制造线。（5）客观上，需要简化制造流程： * MEMS定律：“一种产品，一种工艺，一种封装”，任然有效； * MEMS封装显然是增加成本的重要环节。6MEMS公司几乎所有的MEMS公司都取得了显著增长，如图1所示。前四大MEMS公司-德州仪器(TI)、惠普 (HP)、博世(Robert Bosch)与意法半导体(ST)2010年的合计销售额约达30亿美元，较2009年成长37%，已显著拉开与其他竞争对手的差距。四者合计营收已占总产值三成比重，显见MEMS产品虽百花齐放，但市场已逐渐由少数业者所主导，未来营收规模少于2亿美元以下的业者势必将面临严峻的生存挑战。图12010年全球三十大MEMS公司营收排名由图1所示前三十大MEMS公司的营收分布，可区分成三种不同等级：（1）营收规模在5亿美元以上的公司，多半为市场先导者，且以消费性和/或汽车市场为发展主力；（2）而营收规模在25亿美元的公司，仍有机会跻身MEMS领先者之列；（3）至于营收低于2亿美元的公司，则须对特定领域相当专精才能获利。3MEMS代工2010年，排名前二十大MEMS代工厂的收入约为5.35亿美元，比2009年增长了10%，如图2所示。意法半导体(ST)继续领跑MEMS代工服务，销售额达2.04亿美元。 Silex Microsystems的营收达3700万美元、增长了85%，成为增长最快的黑马。 Sensonor以3500万美元的代工收入位列第3，这得益于英飞凌将其胎压监测系统分拆出交其代工。 Asia Pacific Microsystems的销售额达3100万美元，增长了60%，从而使这家台湾公司超过营收为3000万美元的德州仪器(TI)排名第四。图2 2010年全球前二十大MEMS代工厂排名4三、MEMS行业发展预测MEMS市场又一次正于上升通道，MEMS技术、商业模式和供应链也在发生变化。未来6年，MEMS都将保持两位数的稳定增长：营收的复合年增长率约为20%，出货量的复合年增长率约为13%，到2017年全球MEMS市场规模可达210亿美元。复合年增长率排名前3的MEMS器件是：微显示器（91%）、振荡器（64%）和组合传感器（63%），因为这些市场还未启动。增长乏力的MEMS器件为：加速度计（1%）、陀螺仪（1%）和数字罗盘（4%），如下图所示。5由于MEMS市场非常分散，所以目前大批量生产的MEMS器件仍为数不多。（1）手机应用：仅有BAW滤波器、麦克风和惯性传感器量产。（2）汽车应用：仅有惯性传感器和压力传感器量产。很多新兴MEMS器件开始接触市场：（1）可能很快进入大批量生产的器件有（用于手机）：射频MEMS、振荡器和自动对焦执行器。（2）两种传感器（湿度传感器和触摸屏）和两种执行器（MEMS开关、能量收集器）正驱动未来增长。（3）除了新兴的MEMS，已有的MEMS传感器，如压力传感器，正进入新的应用领域，扩大市场规模。Established MEMS includes: InkJet Heads, Pressure Sensors, Microphones, Accelerometers, Gyroscopes, Magnetometers, Inertial combos, Microbolometers, Projection systems, Microfluidics for Research, Microfluidics for IVD, Microdispensers (microfluidics)Emerging MEMS includes: PIR & Thermopiles, Micro displays, Other optical MEMS, RF MEMS, Oscillators, Others (microstructures, micro tips, flow meter )52011年MEMS公司排名Top 30 德州仪器、意法半导体、惠普和博世的营收均超过7亿美元，属于第一阵营MEMS市场领先者。其他25个MEMS公司营收从5000万美元到3亿美元不等。MEMS收购行为在2011年猛增2011年，MEMS收购行为在数量和价值上都有很大提升，收购总金额达17亿美元，如下图所示。早期的MEMS公司被高价收购，如SensorDynamics和Pixtronics，原因是候选公司数量有限，并且他们拥有坚实的技术。2011年，汽车MEMS市场将软着陆，增速放缓至7.3%。由于价格下降，营业收入将仅增长3%。2011年，MEMS市场的主要增长动力将是消费电子和手机市场，这些市场将同比增长25%。在消费电子和手机市场，2011年MEMS营业收入将从2010年的16亿美元增长到21亿美元。在中国公布建设智能电网的计划之后，基于MEMS的流量传感器和加速计智能电表的布署开始加速。2011年，智能电表的销量将会大增，从而使MEMS受益。 物联网是中国未来发展的经济引擎，发展物联网将对中国未来国际政治经济地位产生重大影响。而“感”做为传感网中的核心环节之一，将催生中国的MEMS产业蓬勃发展。图4 物联网行业应用版图传感器的发展趋势近些年，传感器正处于传统型向新型传感器转型的发展阶段。新型传感器的特点是微型化、智能化、多功能化和低功耗，它不仅促进了传统产业的改造，而且可导致建立新型工业，是21世纪新的经济增长点。（1）微型化：MEMS技术+纳米技术微型化是建立在MEMS技术基础上的，MEMS技术包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工技术和微型封装技术等。（2）智能化：传感器+微处理器（MEMS+IC）智能传感器（intelligent sensor）是具有信息处理功能的传感器。智能传感器带有微处理机，具有采集、处理、交换信息的能力，是传感器集成化与微处理机相结合的产物。（3）多功能化：多传感器集成多传感器数据融合技术正在形成热点，它形成于20世纪80年代，它不同于一般信号处理，也不同于单个或多个传感器的监测和测量，而是对基于多个传感器测量结果基础上的更高层次的综合决策过程。（4）低功耗满足现有便携产品的低功耗要求，延长使用时间。4Electronics Summit 2012会议上，在谈及与其它具有MEMS制造能力的代工厂的差异时，Silex Microsystems公司市场和战略联盟高级副总裁Peter Himes 表示：“我们最大的不同点在于：首先Silex专注于MEMS；其次，我们支持从样品、小批量到大批量的整个流程，或其中的一个流程，确保大、中小型企业需求均可以匹配到合适的产能；第三，可以实现从理念到产品全程均由专家带领客户完成；此外，在生产过程中可同时支持50多种不同的工艺。”Himes强调，“预计中国将是MEMS技术快速增长的国家，我们现在非常关注中国在MEMS应用中的进程。”总结（1）经过4年的平淡表现，2011年MEMS销售跳跃式增长25%。（2）未来6年，MEMS都将保持两位数的稳定增长：营收的复合年增长率约为20%，出货量的复合年增长率约为13%，到2017年全球MEMS市场规模可达210亿美元。（3）商业模式正在发生变化： * 公司仅做价值链的某一部分是没有发展空间的； * 集成多种不同的器件组成一个系统成为日益增长的需求。（4）MEMS创新将继续推动新兴市场增长。（5）新兴MEMS市场将到来：例如微型辐射热测定器、振荡器等。（6）我国的MEMS行业面临着前所未有的机遇与挑战，未来几年正是做大做强，跻身世界强企行列的大好机会。参考文献:1朱长纯、韩建强、刘君华 ，MEMS传感器的现状 西安：西安交通大学2曾洁，微机电系统（PPT）成都：电子科技大学3Yole , Status Of The MEMS Industry 2012 USA4 Wangyi, The Overview of 2010-2016 MEMS Market China5Yole , The Overvierw of 2011-2017 MEMS Market USA6www.mems.me7 /view/37086.htm 螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆肁羂芁蚁羇肁莃蒄袃肀蒅虿蝿聿膅蒂蚅肈莇蚈肃肈蒀薁罿肇薂螆袅肆节蕿螁肅莄螄蚇膄蒆薇羆膃膆螃袂膂芈薅袈膂蒀袁螄膁薃蚄肂膀节蒇羈腿莅蚂袄膈蒇蒅螀芇膇蚀蚆芆艿蒃羅芆莁虿羁芅薄蒁袇芄芃螇螃芃莆薀肂节蒈螅羇芁薀薈袃莀芀螃蝿羇莂薆蚅羆蒄螂肄羅芄薅羀羄莆袀袆羄葿蚃螂羃薁蒆