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卡姆丹克公司 公司地址:上海南汇工业园区园迪路16号邮编:201314 电话:(86 21)6804 3010 传真: (86 21)6804 3332E-mail:单晶硅准方片技术规格编号NO.项目规格单位UNITSITEMSSPECIFICATIONS1拉制方式CZGrowing Method2材 料单晶硅MaterialMonocrystalline Silicon3导电类型&掺杂剂P/B or P/GaType & Dopant4硅片尺寸125*1250.5156*1560.5mmWafer Size（见附图1）(See Figure 1)5直径1500.52000.5mmDiameter6垂直度900.3Perpendicularity7厚 度20020mThickness8总厚度变化 30mTTV9电阻率A: 0.5 3 B: 3 6cmResistivity10少子寿命 10sMinority Carrier Life11晶向100 2.0Orientation12位错密度 3000pcs/cm2Dislocation Density13氧含量 1*1018 (ASTM F121-83)atoms/cm3Oxygen Content14碳含量 5*1016 (ASTM F123-83)atoms/cm3Carbon Content15崩边深度Depth 0.3mm,长度Length 0.5mmEdge Defect(最多2处) (Max 2 pieces)16沾污无Contamination AreaNone17线痕 20mSaw Mark18翘曲度 50mWarpage硅片型号Wafer Type尺寸(mm)DimensionABCDMaxMinMaxMinMaxMinMaxMin 125 I125.5124.5150.5149.584823129 125 II125.5124.5165.5164.51091071311 156 I156.5155.5200.5199.51
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