关于光刻结构论文分析.pptx

,在胡老师的帮助下，近几天在对论文过程的推导后，我通过传输矩阵和数据傅里叶分析地条件下，对强云飞的论文进行了进一步的剖析。,首先我对空间频率进行说明：,这里d为光栅周期，i为衍射级次，那么,kx为沿x方向的波矢，kz为沿y方向的波矢,先看用传输矩阵的方法求传递函数的程序（胡老师和强云飞编） lamda=405e-9; n=13;%pairs,可调 k0=2*pi/lamda;%真空波矢 kx=linspace(0,10*k0,1000); c=3e8; d_s=14e-9;%sio2薄膜的厚度 d_a=25e-9;%ag薄膜的厚度 epsilon0=8.854187817e-12; epsilon_s=2.16;% sio2的相对介电常数 epsilon_a=-4.67+0.22*i; %ag的,同上 epsilon_k=1; %空气的，同上 epsilon_p=2.89; %光刻胶的，同上 n_s=sqrt(epsilon_s); kz_s=sqrt(k0*n_s)2-kx.2);%不同介质 n_a=sqrt(epsilon_a);%中的折射率和不 kz_a=sqrt(k0*n_a)2-kx.2);%同介质中 n_k=sqrt(epsilon_k);%沿z方向的传播常数 kz_k=sqrt(k0*n_k)2-kx.2); n_p=sqrt(epsilon_p); kz_p=sqrt(k0*n_p)2-kx.2);,delta_s=kz_s*d_s delta_a=kz_a*d_a; eta_s=epsilon_s*k0./kz_s; ;%不同介质中的导纳 eta_a=epsilon_a*k0./kz_a; eta_1=epsilon_k*k0./kz_k; eta_3=epsilon_p*k0./kz_p; for x=1:length(kx) m1(x),m2(x),m3(x),m4(x)=chuanshujuzhen_3. (delta_s(x),eta_s(x),delta_a(x),eta_a(x),n); end tp=2./abs(m1+m2./eta_3+m3.*eta_1+. (m4.*eta_1./eta_3); plot(kx/k0,tp) grid,调用程序 function q,w,e,r=chuanshujuzhen_3(a,b,c,d,n) answer=(cos(a),-j*sin(a)*b;-j*sin(a)/b,cos(a) *cos(c),-j*sin(c)*d;-j*sin(c)/d,cos(c)n; q=answer(1,1); w=answer(1,2); e=answer(2,1); r=answer(2,2); %一个单元的传输矩阵如下形式 % % % %,先对强云飞设计的13pairs，ag厚度为25nm，sio2为14nm，缝宽100nm周期160nm的结构进行分析。由上面的分析， kx=i*2*pi/d,kx/k0=i* 2.5313= 2.5313 ,5.0626 ,7.5939 (i=1,2,3,4)，那么下面请看几张图。所有的频谱分析的单位都是k0.均做归一化处理。,接下来我们看周期为400nm时的情况，这时kx/k0=i*405/400=1.0125*i=1.0125 ,2.0250 , 3.0375 ,4.0500 ,5.0625 (i=1,2,3,4),接下来对12pairs，ag厚度为40nm，sio2为35nm，周期为400nm的光栅进行分析，我会对每对pair上的hz进行傅里叶变换，并画出对应pair的传递函数进行比较。,第一幅图是入射端面的空间频率kx,1pair时的传递函数以及第一对上的频谱分析,2pairs时的传递函数以及第2对上的频谱分析,注释：比较第一幅图，这里第2级次和第三级次的波矢与传递函数并不匹配,3pairs时的传递函数以及第3对上的频谱分析,4pairs时的传递函数以及第4对上的频谱分析,5pairs时的传递函数以及第5对上的频谱分析,6pairs时的传递函数以及第6对上的频谱分析,7pairs时的传递函数以及第7对上的频谱分析,8pairs时的传递函数以及第8对上的频谱分析,9pairs时的传递函数以及第9对上的频谱分析,10pairs时的传递函数以及第10对上的频谱分析,11pairs时的传递函数以及第11对上的频谱分析,12pairs