湖南大学文献信息检索课综合实习报告.doc

湖南大学文献信息检索课综合实习报告 学生姓名：陈泽锋 学号：20081120404 成 绩_院（系）：物理与微电子科学学院 专业：电子科学与技术检索课题（中英文）：集成电路的制造技术及成套工艺The manufacturing technology and complete set process of integrated circuits湖南大学文献信息检索课综合实习报告一、课题分析：背景知识：集成电路的发展和特大规模集成电路中部份硅生产工艺技术近几年的发展趋势。特大规模集成电路仍然朝着较大直径的硅单片和较小的特征尺寸方向发展。集成电路制造技术及成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一，是信息技术硬件的核心。随着极大规模集成电路制造装备及成套工艺被列入16大重大专项，无疑为其发展又添一注新的砝码。从科技部2009年申报课题不难归纳，该项目分集成电路装备、关键部件与核心技术、成套工艺、关键材料、前瞻性研究五个主题。该课题主要是研究集成电路的制造技术和成套工艺。主要查阅2000年-2010年的有关文献，文献的类型包括期刊，学位论文，会议论文，图书等。主题词：集成电路，制造技术，成套工艺二、选择检索工具、检索途径：主要通过计算机检索查阅二次文献和三次文献，用到的数据库有：中文科技期刊数据库，万方数字化期刊全文数据库，Springer，Elsevier Science，INSPEC，中国学位论文数据库，中国重要会议论文全文数据库，CALIS联合目录公共检索系统。限制字段：主题词，关键词。以及使用逻辑运算符进行组合检索。三、检索策略：该课题是与我专业息息相关，也是本专业的一个研究热点。首先了解该课题的背景知识，以便在检索时，调整检索策略和检索式。应用学校图书馆的数字资源，在中外各大数据库中作检索。运用逻辑运算符和截词，及检索的范围，不断调整检索策略，保证检准率和检全率。四、具体检索：一、期刊全文数据库检索1.从中文全文数据库中进行检索（2种以上数据库）数据库1：中文科技期刊数据库 年限： 2000年-2011年 限定类目： 重要期刊 检索式：任意字段=集成电路*（制造技术+成套工艺） 检出篇数：75篇题录1：杨建军，刘英坤.Si基微波单片集成电路的发展.半导体技术，2010,35（3）：205-208,281.题录2：张进，刘玉岭，申晓宁，张伟，苏艳勤.ULSI多层互连中W-CMP速率研究.半导体技术，2009,34（8）：737-740.数据库2 ：万方数字化期刊全文数据库年限：2000-2010 限定类目：无 检索式：集成电路*（制造技术+成套工艺） 检出篇数：152篇题录1：姚瑞楠，刘玉奎，张元正.微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术.微电子学，2009,39（3）：410-413,419.题录2：李小刚.精确传输线的高精度制作技术.国防制造技术，2009，“”(5):55-56.2.从西文全文数据库中进行检索（2种以上数据库）数据库1：WSN 世界科技期刊网 (WSN)检索年限：没限制检索式：All Fields=integrated circuit检出篇数：119篇题录（1篇）：Hiroshi Iwai,Kuniyuki Kakushima, Hei Wong.CHALLENGES FOR FUTURE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING. International Journal of High Speed Electronics and Systems,2006,16(1):43-81.数据库2：Springer Link 施普林格期刊数据库 (SPLINK) 检索年限：没限制检索式：integrated circuit*manufacturing检出篇数：74篇题录（1篇）：Ruey-Shan Guo,David M. Chiang,Fan-Yun Pai.A WIP-based exception-management model for integrated circuit back-end production processes. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2007,33(11-12):1263-1274.二、期刊文摘数据库从外文文摘数据库（EI、 INSPEC）中进行检索（1种数据库）。数据库：INSPEC 检索年限：2000年-2011年检出篇数：52篇检索式：TI= integrated circuit*manufacturing题录（1篇）：Wits, W.W.，Vaneker,T.H.J. Integrated Design and Manufacturing of Flat Miniature Heat Pipes Using Printed Circuit Board Technology.IEEE Transactions on Components and Packaging Technologies,2010 ，33（2）：398-408.三、特种文献检索利用学位论文数据库、会议论文数据库进行检索（各选1种或以上数据库）学位论文数据库1：万方中国学位论文全文数据库 (WF-CDDBF) 检索年限：2000年-2010年检出篇数：219篇检索式：集成电路*(制造技术+成套工艺)题录（1篇）：陈晔.适用于超深亚微米集成电路制造与验证流程的光学邻近修正方法研究.博士.浙江大学电气工程学院.2008.会议论文数据库1：湖南文献资源共享与服务平台 (hnwxgx) 检索年限：1980年-2010年检出篇数：40篇检索式：全部字段=集成电路制造工艺题录（1篇）：周勤. LTCC微波多层互连基板制造工艺研究. 第十二届全国混合集成电路学术会议.合肥. 2001年12月02日.混合微电子技术,2001,12(2,3):29-31.四、图书检索1利用OPAC联机公共目录检索相关图书，提供出版项。联机公共目录名称：CALIS联合目录公共检索系统检出本数：9书名1：集成电路制造工艺 作者：史小波, 曹艳出版项：北京：电子工业出版社, 2007 书名2：现代集成电路制造工艺原理作者：李惠军出版项：济南：山东大学出版社, 2007 2利用电子图书全文数据库检索相关图书（任选2种数据库）。数据库1：金图国际外文数字图书馆 (jtgjwwsztsg) 检出本数：14书名1：Adaptive cooling of integrated circuits using digital microfluidics作者：Pamula,Vamsee K.出版项：Witerwoof Inc,2007书名2：High-speed integrated circuit technology towards 100GHz logic作者：Rodwell,Mark J.W.出版项：Witerwoof Inc,2007数据库2：超星数字图书馆 (CX)检出本数：8书名1：超大规模集成电路制造工艺的计算机辅助设计作者：（美）J.D.普卢默 等出版项：北京：科学出版社，1986书名2：集成电路制造技术原理与实践作者： 庄同曾出版项：北京：电子工业出版社，1987五、本专业中外文重要期刊（含核心期刊）刊名湖大是否有收藏半导体技术是半导体光电是电子技术应用是固体电子学研究与进展是Physical Review Letters是Acta endocrinologica. Supplementum是Journal de Physique.否Reviews of Modern physics 否六、利用搜索引掣进行信息资源（注明检索式和网址即可）检索式:集成电路 制造技术 成套工艺网址1: /Article/CJFDTotal-HDKJ200803025.htm网址2: /ReadNews.asp?NewsID=4453七、检索结果的分析与综合。（根据获得的文献，对5年以内有代表性的结果筛选后，进行分析、归纳、总结，写一篇该领域的综述。简述：该课题的概况；国内外已有哪些相关研究以及研究水平；目前的研究中尚有哪些问题有待解决及研究动向，500-1000字）。集成电路制造技术及成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一，是信息技术硬件的核心。随着极大规模集成电路制造装备及成套工艺被列入16大重大专项，无疑为其发展又添一注新的砝码。特大规模集成电路仍然朝着较大直径的硅单片和较小的特征尺寸方向发展。这对集成电路制造工艺提出新的挑战。主要挑战：超大直径的晶圆，低于100nm特征尺寸的光刻技术，10nm特征尺寸的器件以及互连技术。其中SOC芯片的技术特点及其高附加值性,使之成为一种具有国家战略意义的实用技术和代表该国家的高技术发展水平。近几年,美国、日本、欧州各国以及韩国和我国的台湾地区均投入了大量的物力和人力,把SOC芯片设计和制造技术作为一种能提高国际竞争力的战略技术来研究和开发。说明其与SOC芯片技术的相关性和国外在半导体制造上的投资战略。此外，近几年来随着信息时代的到来,通信、多媒体等市场需要增大,对芯片的功能要求不断变化、增加,促使芯片技术向着系统化、高速处理、多功能、低功耗方向发展。另一方面随着集成电路工艺技术的飞速发展,在其制造工艺、设计上使芯片向着高集成化、微细化方向发展。但半导体晶体管的尺寸接近纳米级，不仅芯片发热等副作用逐渐显现，电子的运行也难以控制，半导体晶体管将不再可靠，不过，纳米材料、相变材料等新进展已经出现，有望应用到未来的芯片中。八、简要谈谈你本次文献检索后的收获（包括检索策略的拟定修正调整过程，检索的经过，从中得到的经验、教训、收获等）和对本课程的意见和建议文献检索是我们了解一个课题是否具有研究价值的必要途径，通过文献检索了解一个课题的研究动态及现状，有利于指导我们做研究，而并不是不断重复前人的研究。而且很多伟人取得的成就都是站在前人的肩膀上。对于我们大学生，大多数人在很多时候都没有一些创新的想法，那是不了解课题的研究动态及现状。所以学好文献检索很重要。通过这次文献检索我受益匪浅，我了解了集成电