标准解读

《YS/T 791-2012 铂靶》是中国有色金属行业标准之一，专门针对铂靶材制定的技术规范。该标准详细规定了用于物理气相沉积（PVD）等工艺中的高纯度铂靶的要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。

根据标准要求，铂靶按照其形状可以分为平板型和平面旋转圆柱型两大类；而依据化学成分的不同，则进一步细分为多个牌号，每个牌号都有具体的杂质含量限制，以确保材料的高纯度特性。此外，对于不同应用领域或特定需求下使用的铂靶，还设定了更加严格的特殊要求。

在质量控制方面，《YS/T 791-2012 铂靶》明确了外观检查、尺寸测量、密度测定及纯度分析等多项检测项目，并给出了相应的测试方法与合格判定标准。其中，纯度是评价铂靶品质的关键指标之一，通常需要通过ICP-AES（电感耦合等离子体原子发射光谱法）或其他认可的方法进行精确测量。

关于验收流程，本标准提出了明确的规定：首先由供方负责按照合同约定的技术条件对产品进行全面自检；随后，在需方收货时也应按批次随机抽取样品进行复验。如果初次检验不合格，则允许供需双方协商后重新取样再次检验直至达成一致意见为止。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2012-11-07 颁布
  • 2013-03-01 实施
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文档简介

ICS7712099 H 68 . . 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T7912012 铂 靶 Platinumtarget2012-11-07发布 2013-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 YS/T7912012 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。本标准由全国有色金属标准化技术委员会 归口 (SAC/TC243) 。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草 。本标准主要起草人 王永辉 朱晓光 杨永刚 杨华 程轶欧 雷继锋 熊晓东 江轩 : 、 、 、 、 、 、 、 。 YS/T7912012 铂 靶 1 范围 本标准规定了铂靶的要求 试验方法 检验规则和标志 包装 运输 贮存及合同或订货单 、 、 、 、 、 。 本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材 以下简称铂靶 其他用途的铂靶材也可参照使用 ( ), 。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 产品几何技术规范 几何公差 形状 方向 位置和跳动公差标注 GB/T1182 (GPS) 、 、 海绵铂 GB/T14192004 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T150772008 3 要求 31 产品分类 . 铂靶按照纯度分为 两个牌号 外形主要为圆形和矩形 IC-Pt99.95、IC-Pt99.99 。 。32 化学成分 . 铂靶的化学成分应符合 中的 及 的规定 未规定元素和挥发物 GB/T14192004 Pt99.95 Pt99.99 , 控制限及分析方法的 由供需双方协商确定 , 。33 外观质量 . 331 铂靶表面应平整 无划伤 裂纹 凸起等缺陷 无颗粒附加物和其他沾污 应清洁光滑 无指痕 无 . , 、 、 ; ; , , 油污和锈蚀 。332 铂靶表面粗糙度Ra 值应不大于 . 1.6m。34 几何尺寸与允许偏差 . 341 圆形铂靶的直径 主要有 厚度通常为 . 25mm300mm, 1mm10mm。342 矩形铂靶的尺寸主要有 长度 宽度 厚度通常为 . : 20 mm300 mm, 20 mm300 mm, 1 mm 倒角半径R 通常为10mm, 0.5mm3mm。343 圆形和矩形铂靶的尺寸及其允许偏差应符合表 的规定 经双方协商 可提供其他规格及允许 . 1 。 , 偏差的铂靶 。344 铂靶的几 何 公 差 平 行 度 垂 直 度 等 若 需
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