《镀膜机教学课程》PPT课件.ppt

新锐光学（常熟）有限公司,制三课 镀膜 徐 名 泉,镀膜机基础知识,日本 RAS-1100机台,龍翩 LP系列,第一課：鍍膜機的構造,鍍膜機時集機械、電子、光學為一體的高科技機器。成本相當高，在生産操作過程中一定要小心謹慎，每位人員都要知道鍍膜機的結搆及各部件之間的動作順序與條件。,鍍膜機可分為五大系統,一、真空系統 二、控制系統 三、膜厚系統（監控系統） 四、蒸鍍系統 五、輔助系統,一、真空系統,工作原理： 真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。 是通過（RP MP Dp） 的工作來進行壓強原理來排氣工作。,真空系統簡單排氣圖,有以下組成：,(1) 冷卻水 桶身加熱器冷卻水電磁閥 (2) GUN 電子鎗冷卻水電磁閥 (3) 氧氣 氣體注入電磁閥 (4) ATM ATM/VAC真空狀態之顯示 (5) 加熱器 顯示桶身加熱器是否動作 (6) 監控片 顯示監控片目前位置 (7) 迴轉 顯示桶身迴轉機構是否動作 (8) 轉速 顯示桶身迴轉機構之轉速 (9) SH1 遮板開關1 (10) SH2 遮板開關2 (11) Gun1 無使用 (12) Gun2 Gun2坩鍋位置顯示 (13) RV 粗抽閥 (14) RSV 微粗抽閥 (15) HV 高真空閥 (16) LV1 洩氣閥1 (17) LV2 洩氣閥2 (18) DP 油擴散邦浦 (19) FV 前置閥 (20) BP 機械輔助邦浦 (21) RP 油迴轉邦浦 (22) RLV 管路洩氣閥 (23) 幫浦啟動 主機啟動 (24) 關機 關機 (25) 自動 真空流程自動 (26) 手動 真空流程手動 (27) 警報確認 (28) 主畫面 按下此鍵將回至Screen1中英文選擇畫面,有上圖可知：,真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既： A：初抽：真空室RVMPRP大氣中 B：主抽：真空室MVDPFVMPRP大氣中 另外，初抽可分為兩個階段，既： A：真空室RVPBVRP大氣中 B：真空室RVMPRP大氣中 初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。,真空系統有以下組成：,RP（機械泵浦） MP（輔助泵浦） DP（擴散泵浦）,RP（機械泵浦）,工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子並非繞着圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨着轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中 。,注意：,，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤，所以，泵浦油用到一定時間后要全部更換。RP油起着潤滑 、冷卻與密封的作用，油位不能低于吸口的高度。在工作中要經常去確認RP油的油位，否則會造成機械泵浦燒壞的后果。,MP（輔助泵浦）,工作原理： 是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快。它用于初抽與精抽，最大壓力可達到104Torr。泵體內部使兩各8字型的轉子，兩個轉子緊密配閤在 一起，轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.20.3mm的極小空隙 。,MP:分解图,注意：,因轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.20.3mm的極小空隙，所以平時要保持泵體內部的清潔度，不能有其它雜質（物），泵體內部沒有油的，油的主要作用是用來潤滑泵浦體的齒輪及軸承，如果有油機臺可能返油或者機械輔助泵浦體的油封磨損，在加註油之前必須讓機臺停下來，以及泵浦處于大氣狀態下。因為機臺在運轉時泵浦內部處于真空狀態、如果打開頂部油封會造成大量的油洩漏以及嚴重損壞泵浦。當泵浦停止且處于大氣壓狀態時，必須停止冷卻水否則當溫度很高時空氣的水分會凝固在泵浦裏，影響泵浦的極限壓力。,旋片式真空泵工作原理 ：,旋片式真空泵（简称旋片泵）是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为1013251.3310-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。,旋片式真空泵工作原理 ：,旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.3310-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。,DP（扩散泵）图：,水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器,控制系统:,F1界面：,F3界面