VDMOS工艺流程简介.pptx_第1页
VDMOS工艺流程简介.pptx_第2页
VDMOS工艺流程简介.pptx_第3页
VDMOS工艺流程简介.pptx_第4页
VDMOS工艺流程简介.pptx_第5页
已阅读5页，还剩24页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

VDMOS工艺流程简介,InPower Semiconductor Apr.2012,主要内容 MOSFET的结构; MOSFET的芯片制成工艺； 封装测试工艺流程; MOSFET主要控制点； 生产测试仪器的介绍,MOSFET的结构,芯片制造工艺流程,材料制备,氧 化,SOURCE光刻,P-WELL注入,多晶注入,多晶光刻,多晶淀积,栅氧化,JFET注入,氧 化,Active光刻,P+扩散,P+注入,Ring光刻,P-WELL退火,SOURCE注入,退 火,PSG淀积,载流子寿命控制,PSG退火,接触孔光刻,AL 溅射,钝 化,钝化光刻,AL光刻、合金,减 薄,背面蒸发,中 测,最终器件结构,Die Picture,封装测试工艺流程,划 片,装 片,塑 封,打 印,电 镀,键 合,切 筋,测 试,包 装,划片,装片,键合,塑封,打印,切筋,测试,编带包装,MOSFET重点监控点,生产测试仪器的介绍（在线控制）,生产测试仪器的介绍（参数测试的）,谢谢大家！,
人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论