61427 1482型键合机完好要求和检查评定方法 标准 SJ T 31070-1994.pdfVIP

设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s j / t 3 1 0 7 0 -9 4 1 4 8 2 型键合机完好要求和检查评定方法 主题内容与适用范围 本标准规定了 1 4 8 2型键合机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于 1 4 8 2型键合机。其它半导体器件生产用类似结构键合机亦可参照执行。 完好要求 主要技术指标 主要技术指标完好要求见下表。 号 检 m il项 目 完 好 要 求 月.1团月. 奋. n乙门勺乙 检 泌 器 具 和 方 法 x向工作台、 y 向 工 作 台 的 键 合 范 围 2 5 . 4 m m x 2 5. 4 m m 0 . 0 0 5 经键合后的硅片用hb显微镜对经键合 后芯片进行检测。 2 系 统 精 度i. 0 . 0 1 2 7 . . 2 . 1 . 2 性能指标 2 . 1 . 2 . 1 键合拉断强度:) 0 . 0 4 9 n; 2 . 1 - 2 . 2 剥离强度:-0 . 4 9 n; 2 . 1 . 2 . 3 可编程序引线数:1 5 。 根; 2 . 1 . 24 摄像头分辨 率:。 0 0 2 5 4 m m; 2 . 1 . 2 . 5 键合速度:7 -8 线/ s ; 2 . 1 . 2 . 6 引线成品率:9 9 . 9 9 %. 2 . 2 操作系统 2 - 2 . 1 各操纵按钮启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 2 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全， 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1 机械滑动链杆、 凸轮运转正常可靠。 2 - 3 . 2 自动上、 下料装置运动可靠， 引线柜传送位置正确， 无卡住现象; 工作台运行可靠。 2 - 4 电气系统 2 . 4 . 1 电气控制箱内布线整齐， 各指示灯齐全、 完整. 指示正确、 可靠; 各种线路标志明显， 连 接可靠。 2 . 4 . 2 电气线路板接触可靠， 其它各种接触器， 继电器动作灵敏可靠。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 3 4 3 s j / t 3 1 0 7 0 -9 4 2 . 4 . 3 各光电传感器工作正常， 无误动作。 2 . 4 . 4 芯片检测灵敏度符合工艺要求。 2 . 4 . 5 各电压表、 电流表指示正确， 误差在允许范围内， 且有有效期内校验合格证。 2 - 5 微机控制系统 2 . 5 . 1 各开关、 按钮、 操作键完整无损， 动作灵敏， 可靠， 控制装置各组成部分保持完整、 功能 齐全， 性能稳定， 工作状态良好， 显示清晰。 2 - 5 - 2 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自检功能必须正常。 2 . 5 . 3 输入/ 输出程序正确无误。 2 - 5 - 4 装置内部清洁， 布线整齐， 线路无老化、 破裂， 各线路标志齐全、 正确。 2 . 6 气路系统 2 . 6 . 1 各气缸、 电磁阀、 气动阀安装位置正确， 工作平稳、 行程到位， 不应有停滞和爬行现象。 2 . 6 . 2 气路系统中各元件动作灵敏、 可靠。 26 - 3 气路管道接头、 阀门元件之间联结应牢固， 密封良好， 无漏气现象。 2 - 6 - 4 各气体压力表头指示正确， 误差在允许范围内， 有有效期内校验合格证。 2 - 7 光学系统 2 . 7 . 1 显微镜调焦机构升降灵活可靠， 视场清晰。 2 - 7 - 2 显微镜镜头齐全、 无明显霉斑。 2 . 7 . 3 电视监视器图象清晰、 识别系统工作可靠。 2 - 8 安全防护 2 . 8 . 1 设备保护盖板、 挡尘板齐全、 完整无损， 牢固、 可靠。 2 . 8 . 2 各种联锁、 报警装置灵敏、 可靠。 2 . 8 . 3 外壳接地可靠 2 . 9 维护保养 按 s j / t 3 1 0 0 2 一9 4 ( 设备维护保养通则 执行。 3 检查、 评定方法 3 . 1 检查方法 3 . 1 . 1 主要技术指标的检测方法见表列。 3 . 1 . 2 对完好要求除 2 . 1 . 1 项外， 采用现场主观方法进行检查。 3 - 2评定方法 3 . 2 , 1 主要项目2 . 1 . 1 项, 2 . 1 . 2 项; 其余均为次要项目。 i2 . 2 主要 项目 有一项不符合要求， 为不完好 设备; 次要项目 有二项不符合要求， 亦为不完好 设备。 12 . 3