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相關抗反射材料,班級: 奈米三乙 組員: 49714029 張君瑋 49714031 張翔茹 49714052 鄭響宇,報告內容,填充抗反射材料開發 光學上的抗反射原理 抗反射材料的應用產品 抗反射微結構 -Moths Eye 蛾眼效應 太陽能電池工作原理,填充抗反射材料開發,對填充抗反射材料設計而言，三項主要的技術特性須要掌握。 (a)填充性(Filling property) (b)蝕刻選擇比(Etching selectivity)及吸光係 數 (c)與光阻劑相容性(Resist compatibility),(a)填充性(Filling property),通常填充的行為會受到通孔的深寬比、通孔的密度、填充 材料的厚度、填充材料的化性(高分子結構和分子量)的影 響。 本文使用三種不同化性的填充材料，及選擇兩種不同的填 充材料的厚度；140nm和160nm來研究填充材料的化性和厚 度對填充行為的影響。,(圖一) 如(圖一)所示，在兩種不同圖案的密度、兩種不同的填充材料的厚度(140nm and 160nm)和三種不同填充材料的化性其填充特性的剖面圖。填充的行為很難定量，但由此剖面圖顯示比較厚的填充材料，會有比較小的高低落差(I-D bias)。,(圖二) 如(圖二)所示，材料C有較大的操作條件，在較厚的厚度下 有最小的高低落差。,(b) 蝕刻選擇比及吸光係數,在此專對蝕刻選擇比及吸光係數的關係做一探 討。針對於高分子的蝕刻速率，其定義如下： Ohnishi number = Total Atomic Number/(Total Carbon Number Total Oxygen Number),(圖三) Ohnishi number和蝕刻選擇比的關係 圖三顯示，當使用CF4/O2/Ar為蝕刻反應氣體 時，Ohnishi number和蝕刻選擇比有很強的正相關性,(圖四) Ohnishi number 和吸光係數的關係,如圖四所示，Ohnishi number和吸光係數有著很強的負相關性，也由此 可得知蝕刻選擇比、吸光係數和Ohnishi number是相互關連的。,(c)與光阻劑的相容性,光阻劑的相容性對於一個有著高低落差的微影製程，是非常重要的， 主要是因為相容性低的材料易於造成圖案的倒塌。 (圖五) 圖案的倒塌率和材料的關係圖 如圖五所示，材料C1顯示有較佳的相容性，因為其相同的實驗條件下有 著相對較低的倒塌，其中“X”表示倒塌，“V”表示沒有發現倒塌 。,最後根據以上之研究結果可知，被設計用來使用在 雙鑲崁製程的主要的三項需求為 : 1. 較低的高低落差填充性 2. 高的蝕刻選擇比且最適化的吸光係數 以獲得較佳的線寬分布 3.良好的光阻劑相容性以提供較為寬廣的操作條件,光學上的抗反射原理,主要是利用光線在不同介質中藉由控制反射塗層之折射率 與厚度的相乘積等於入射波長/奇數倍的效應而產生干涉效果，以獲得抗反射效果。,抗反射材料的應用產品,1. 個人電腦、筆記型電腦 2. 數位相機、手錶鏡面 3. 行動電話、PDA 4. LCD TV 、PSP 5. 抗反射玻璃,應用於電子產品 - 保護模貼,AR防反光防電磁輻射保護膜 基本上採用pet材質，三層防刮抗電磁輻射結構。保護膜 厚度: 0.25mm左右。 防反光，抗電磁幅射，有效過濾紫 外線。防反光，抗電磁輻射,有效過濾紫外線。 静電吸附 技術，不含膠水可多次黏貼。耐磨度極高、耐用。 透光度達到99%，畫面清晰鲜明。這種在市場上比較熱 門，質量參差不齊。,抗反射玻璃,原理: 利用特殊工藝的雙面防反射涂層，與普通玻璃相比，光的平均透過率提高5%，反射率由8- 10% 降低到1.5%以下。,抗反射玻璃應用,/buyer/offerdetail/866252628.html,1.太陽能電池玻璃蓋板，提高光電轉換效率。,抗反射玻璃應用,2.平板式太陽能熱水器玻璃蓋板，提高光熱轉換效率,/cp.html,抗反射玻璃應用,3.溫室大棚玻璃，增加蔬菜產量。,/cn/main.asp,抗反射微結構 - Moths Eye 蛾眼效應,當材料表面次微米微結構尺度小於光波長時，使得光波無 法辨識出該微結構，於是在材料表面的折射率沿深度方向 呈連續變化，可減小折射率急遽變化所造成之反射現象。 由於這種結構和夜行性蛾類的眼睛構造類似，因此稱蛾眼效應。,太陽能電池工作原理,太陽能電池能將光能轉換成電能，也稱為光伏電池(Photovoltaic, PV)，是以半導體材料製作的光電元件 。,,太陽能電池發電原理是利用光伏效應，當p-n半導體材料吸收0.22.4微米波長的太陽光，產生電子電洞對，接通電路後就形成從n型區到p型區的電流。,太陽能電池的工作原理,參考資料,/semiconductor/Magazine_Details_Index_Id_1354.html - 半導體科技 .tw/ - 元智大學老人福祉科技研究中心 /arcn.htm - 抗反射相關情報 /arcn.htm -