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點檢週期點檢目錄使用儀器點檢內容/規格点检人 日點檢 压差压差测试仪相邻房间静压差要大于5帕,与室外压差要大于10帕. 溫濕度溫濕度計 溫度: 223, 濕度:40%60% RH 日点检 1.人體防靜電措施查核 . (1).是否按无尘室管理着装. (2).在戴手腕带时有金属片面需接触皮肤. (3).人体综合测试仪是否有刷卡和测试记录. (4).线体静电环报警仪是否正常工作. (5).防护手套等是否破损. 2.靜電防護標識查核 (1).静电防护标签是否破损，脱落或被异物覆盖. (2).静电敏感区有无静电防护标签. 3.現場包裝, 儲存, 保存, 搬運ESD查核 (1).SSD物品运输过程中是否掉落在地，是否脱离包装. (2).存放SSD的库房相对湿度：30- 40%RH. (3).SSD存放过程中是否保持原包装，更换包装时， 是否使用具有防静电性能的容器. (4).库房里，在放置SSD器件的位置上是否贴有防静电专用标 签. 4.現場ESD設備,工具查核 (1).离子分机,温湿度测试仪,压差仪,风机测试仪等是否正常 工作. 5.檢測設備接地連接可靠性 (1).所有设备是否接地良好，所有移动台车是否有接地链. 靜電防護措施日點檢 ESD點檢計劃ESD點檢計劃 生产 防静电袋的表面电阻值为1061011。 防静电台垫的表面电阻值为105109。 防静电托盘的表面电阻值为1061011。 防静电组件盒和防静电周转箱的表面电阻值为103109。 防静电治工具点检 导静电材料（表面电阻率小于107 ），静电耗散材料 （表面 电阻率大于或等于107 ）。静电屏蔽材料：表面电阻小于103 的材料，治具接地電阻規格10 , ME 防静电鞋的表面电阻值为107109。 防静电服的表面电阻值为1061010。 防静电手指套表面电阻值为1071010。 防静电手套表面电阻值为1071010。 地板阻抗 板的測試規格為105-109歐姆 光照度光照度測試儀 1.位置：画检； 要求：光照度為100-200LUX. 離子設備靜電場測試儀 中和能力从1000V100V的时间 3(s) 平衡電壓+/-50V IPQC 总务 兆歐表 ME 生产 靜電膠皮 靜電膠皮對地電阻的規格為7.5x105-1x109 , 表面電阻規格 為1x104-1x1010; 兆歐表 周點檢 生产防静电物品点检 人体防静电物品点检周點檢 設備接地點檢 月點檢 萬用表设备1. 設備漏電壓規格均5V , 設備接地電阻規格10, 計劃點檢時間 每天開班 C:Documents and Settingsmi 週一 每次清洗之后 抽测50 每批成品来料 抽检50 週一 1號到5號 週一 C:Documents and Settingsmi C:Documents and Set
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