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文档简介
前言,1,第3章半导体中载流子的统计分布,对处在一定温度下某一确定的半导体材料,如何确定半导体的载流子数目以及它随温度的变化规律,前言,2,主要内容,3-1热平衡状态及电子在量子态上的分布 3-2导带电子浓度和价带空穴浓度 3-3本征激发的载流子浓度 3-4杂质半导体的载流子浓度 3-5一般情况半导体的载流子浓度 3-6简并半导体,前言,3,3-1热平衡状态及电子在量子态上的分布,1热平衡状态 载流子的热产生过程 载流子的复合过程 热平衡状态:产生复合两个相反过程之间将建立起动态平衡,称之为热平衡状态 这种热平衡是一种动态平衡:载流子的产生速率等于它们的复合速率。电子浓度和空穴浓度保持不变。 电子浓度和空穴浓度:分别指半导体中单位体积内的电子和空穴数目,前言,4,2导带和价带的状态密度,状态密度g(E): 描述能带中电子状态的分布,它表示单位体积单位能量间隔(能量E附近)内的量子态数。 导带底的状态密度gc(E) 价带顶状态密度 gv(E),前言,5,导带底的状态密度gc(E)为,价带顶状态密度gv(E)为,Mn*为导带电子状态密度有效质量 M p*为价带空穴状态密度有效质量,前言,6,3电子在量子态上的分布,(1)电子占据能级的几率: 在绝对温度为T的热平衡电子系统中,能量为E的一个量子态被电子占据的几率为f(E),式(2-1)称为费米分布函数, 其中k0为玻耳兹曼常数 EF为费米能级。,前言,7,费米分布函数,费米能级EF 电子的分布与温度有关 在一定的温度下,能级被电子占据的几率与能级位置有关 费米能级EF标志了电子填充能级的水平,前言,8,费米分布函数,前言,9,空穴占据能级的几率,(2)空穴占据能级的几率: 1-f(E)表示能级E未被电子占据的几率,即能级E被空穴占据的几率,故,前言,10,(3)波尔兹曼分布 fB,波尔兹曼分布 当EEF时, exp( )1,有,前言,11,载流子在能带中的分布,前言,12,费米能级位置随电子填充能带的变化,前言,13,导带底的电子浓度推导,电子数等于状态数与相应的填充几率的乘积; 电子浓度等于状态密度与相应的填充几率的乘积在能量空间的积分,其中:,前言,14,导带电子浓度no和价带空穴浓度po的普遍表达式,其中: 其中:,Nc称为导带的有效状态密度,它与T有关。 Nv称为 价带的有效状态密度,它与T有关。,前言,15,电子和空穴浓度的乘积n0p0,乘积n0p0, 只和半导体材料、温度有关,和Ef无关即和摻杂无关。 热平衡基本关系式,前言,16,3-3本征激发的载流子浓度,本征载流子浓度ni:对确定的半导体材料,处于给定温度T的热平衡状态下,ni为确定值。 因本征激发,成对产生:n0= p0, 所以本征载流子浓度ni= n0= p0;ni2 = n0p0,前言,17,本征载流子浓度ni和温度的关系曲线,1,温度一定,ni主要由材料的禁带宽度Eg决定,Eg大ni小。 2,材料一定, ni随着温度的上升增加 室温下,硅的本征载流子浓度ni1.51010cm-3,锗的本征载流子浓度ni2.41013cm-3。,前言,18,2本征费米能级Ei,半导体处于本征情况的费米能级,用符号Ei表示。据n0=p0,分别代入其表达式,两边取对数后解得,前言,19,no 和ni的关系推导(作业),前言,20,3-4杂质半导体载流子浓度,本节:求载流子浓度。 思路:电中性条件和前面的公式联立方程。 分析过程:按照温度分区,简化公式并分析。 几个概念: 掺杂半导体:有一定种类和数量杂质的半导体。 载流子的来源:两个途径,本征激发和杂质电离。其效果都是产生电子和空穴 p型和n型半导体 :在p型半导体内,空穴浓度大于电子浓度,通常称p型半导体中的空穴为多数载流子(简称多子),电子为少数载流子(简称少子)。同样道理,在n型半导体中,电子为多子,空穴为少子。 满足热平衡条件:no*po=ni2,前言,21,前言,22,1电中性条件,无其他条件作用的均匀半导体处于电中性状态 电中性条件:半导体内任一点附近,单位体积内的净电荷数为零(即空间电荷密度为零)。 空间电荷密度:,前言,23,电中性条件的应用,例如:设半导体样品内含有一种施主杂质,浓度为ND;同时又含有一种受主杂质,浓度为NA,且杂质均匀分布,NDNA,其能带图如图2-4所示。由于存在杂质补偿作用,该半导体为n型,或称它为有杂质补偿的n型半导体。 在温度为T时,设ND个施主杂质电离了nD+个,具有正电荷;NA个受主杂质电离了pa-个,具有负电荷;此时导带电子浓度为n0,具有负电荷n0q;价带空穴浓度p0,具有正电荷p0q。空间电荷密度应为它们的代数和,即 均匀半导体在热平衡状态下,应保持电中性状态, 即00,由此可得该半导体的电中性条件为,前言,24,电中性条件结论,结论:处于电中性状态的半导体,单位体积内的正电荷数(即价带中空穴浓度和电离施主杂质浓度之和)等于该体积内的负电荷数(即导带中电子浓度和电离的受主杂质浓度之和)。,前言,25,施主能级上的电子浓度,杂质能级上的状态密度为ND, 分布几率有1/2项,见下式,前言,26,2费米能级和多子、少子浓度的计算,计算费米能级,多子、少子浓度的一般方法是: 1,利用电中性条件,确定该状态下的费米能级。 2,当温度T和费米能级EF确定后,可以利用式(2-22)或(2-35)以及式(2-24)或(2-36)计算出多子浓度。 3,根据热平衡基本关系式求出少子浓度。,前言,27,费米能级和多子、少子浓度的计算例题,38页,前言,28,载流子激发随温度的变化,a,低温弱电离区: n0=nD+ b,杂质电离饱和区:施主杂质都已电离,niND ,即n0p0,前言,29,载流子浓度随温度的变化,低温杂质电离区 *杂质电离饱和区 过渡区 高温本征区 结论:100K-500K半导体处于杂质电离饱和区,载流子浓度等于摻杂浓度:no=ND,前言,30,费米能级和温度,杂质浓度的关系图,结论: 1,温度升高,费米能级向Ei移动; 2,杂质浓度高,费米能级远离Ei,前言,31,费米能级随杂质而变化的示意图,前言,32,费米能级在低温区,和温度的关系图,前言,33,例题,例:设n型硅,掺施主浓度ND1.51014cm-3,试分别计算温度在300K和500K时电子和空穴的浓度以及费米能级的位置。 解:T300K时,施主杂质全部电离,从图2-3查得: ni1.51010cm-3。NDni,故属杂质电离饱和区。因此,前言,34,前言,35,3-6简并半导体,问题提出:在分析非简并半导体处于热平衡状态下的载流子统计分布问题时,认为费米能
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