YS T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方.pdf

中华人民共和国有色金属行业标准硅 片 边 缘 轮 廓 检 验 方 法Y S / T 2 6 一 9 2生题内容与适用范围本标准规定了 硅片边缘轮廓的检验方 法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓方法提要 将硅片沿径向划开形成剖面， 借助光学投影仪将其放大， 聚焦使剖面清晰地投影到显示屏上 与标准模版相比较硅片边缘剖面投影轮廓处在标准模版允许区域内， 则硅片边缘轮廓为合格; 否则为不合格测量仪器光学投彭仪 放大倍数为5 0 X或l o o x, 载物台在二 和v 方向 卜可移动硅片夹具 应能使硅片表面平行于光路， 使硅片边缘轮廓清晰地投影在显示屏上。标准测微尺: 长度为。 . 5 -1 . 0 m m， 绝对误差小于 5 u mo331脚抽样与制样4 . 1 抽样方案及试祥测量点的位置和数目由供需双方商定4 . 2 在确定的测量点处沿径向划开硅片， 制取试样。检验步骤5 门 检验用的标准模版图形如图1 ， 其特征点坐标和基本尺寸应符合图2 和表1 的规定 标准模版的制作方法按图1 , 图2 , 表 1 的规定。正面it431背面图 工 标准模版图形中国有色金属工业总公司 1 9 9 2 一 0 3 一 0 9 批准1 9 9 3 一 0 1 一 0 1 实施Y S / T 2 6 一 9 2 A图2 标准模版特征点坐标表 1 标准模版特征点坐标值特征点ABCD7 65 0 8510y001 / 3 硅片厚度7 6将标准模版基本尺寸乘以投影仪的放大倍数按放大后的模版尺寸， 在透明材料( 如玻璃、 描图纸) 上按照图1 描制与 硅片厚度相当的标准模Jl.弓月.1口乙q曰tt02ZZZ34567乐乐版乐55乐5乐乐5乐: : .;检查投影仪放大倍数 调节投影仪。使用5 o x或l o o x 放大镜头. 将标准测微尺投影到显示屏上 用精度0 . 5 m m的直尺测量投影长度。 核算投影仪放大倍数。按硅片厚度和放大倍数选择相当的标准模版， 放置在投影仪显示屏上。将试样放入夹具内， 置于载物台上， 使试样剖面垂直于光路。调节投影仪， 使试样显示出清晰的边缘轮廓沿二 和v 方向调节载物台， 将试祥边缘轮廓投影与 标准模版相比 较判定被测硅片边缘轮廓是否合格: 硅片m il 量点处边缘轮廓投影落在标准模版允许区域内为合格; 否则为不合格 硅片边缘上所确定的测量点处的边缘轮廓全部合格， 则该片边缘轮廓为合格。6 精密度 投影仪放大倍数为5 0 上。 . 5 X或1 0 。 土1 X， 其相应的标准模版尺寸 精确到。 . 0 5 m rt i 或。 . 1 m m, 在此条件 ， 单个实验室检验重复性达1 0 0 %了 试验报告试验报告应包括以下内容: 硅片编号;b . 硅片批量及检验试样数量;c测量点位置及数目;d . 合格硅片数;e . 本标准编号;Y s / f 2 6 一 9 2f . 检验者及检验日期。附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所提出。木标准由洛阳