晶圆、芯片、IC、LED、TFT-LCD UPW-纯水系统设计施工规范(二).doc

晶圆、芯片、IC、LED、TFT-LCD UPW-纯水系统设计施工规范（二）目录1.1 系统概述.31.2 机器设备规范.91.3 机器设备安装工程.191.4 管材及管线施工规范.211.5 控制系统规范.341.6 仪表规范.401.7 电气系统规范.461.8 测试调整.471.9 验收与保固.50PDF created with pdfFactory Pro trial version 1.3 机器设备安装工程1. 所有设备基础螺栓由得标厂商提供和安装；2. 试车期间所需CDA、N2、CITY WATER、冰水、一次电由业主/其他系统厂商提供，但得标商需事先告知需要供应之时程，以供业主规划相关作业时程，并包括衔接之工作；3. 得标商需负责试车期间所需化学品，及各水质测试之费用，药品提供需至所有水质检测通过及系统自动控制完成后再提供一个月之用药，厂商应将此部分价格列入报价中；4. 本工程得标厂商需含LOOP PIPING管线之清洗及药剂之提供；5. 系统所需电压除380V/220V 之外需求皆由承商自行转换；6. 因施工进度落后或人为损坏之土建、EPOXY及FRP COATING部分工事，承商需自行负责施作及修复；7. 系统完成后，得标商需与顾问公司代表一起调整机台之超纯水供水量及供水压；8. 得标厂商需于得标后一个月内提送相关施工阶段需提供之资料及图面送审经业主确认后始可采购施作；9. 施工中之图面及资料须于工事进行前一星期经业主确认后始可施工；10.送审之资料图面于提出后一个星期回复，回复之资料须于7天内再提出送审；11.一级RO 膜组之前PUMP 材质为SUS304，一级RO 膜组之后为SUS316，PUMP 安装时需有防震基座及空转保护之预防措施；12.RO 供水泵需有高低压保护装置；13.RO 系统需能显示各出水之水量并作累计及回收率之计算，及出水导电度指示；14.RO 系统各阶段之膜管需有压力指示及保护；PDF created with pdfFactory Pro trial version 2015.各桶槽之透明液位计需装置一有颜色之浮球指示；16.各供水供药泵需有防空转或电流过大之保护装置；17.RO 采24 小时连续运转需设置BY PASS 管；18.LOOP PIPING至各用水系统之回水端需设置比例式控制阀以调整供水压力，回水主管需设至一BY PASS管至废水池以利LOOP 管线清洗，各层楼之供水出水需有一阀门以利调整水量；19.压力表皆为隔膜式；20.所有设备及管架安装螺栓采用化学螺栓；21.25.所有安装之料件零料采SUS304含U BOLT 及P型夹；22.各阶段设备(如各离子交换塔)需装设一进水或出水流量计，讯号需回讯至PLC；23.各LOOP 之回水管需装置流量计、压力表、导电度计及比例式控制阀；24.各LOOP出水端需装置TOC侦测、SiO2、Partical、DO、导电度计、温度、压力计、流量计等；25.工地人员相关组织需包括项目经理一人、工地主任、工安人员、现场监工人员等至少需4位人员于工地；26.承商需提供相关之特殊维修操作工具，及保养机具等工具，并提供相关备品包括各式阀件及仪表各一组，RO 前段过滤器滤心、POTABLE 导电度计及PH计；27.若未要求及不足之处依业主之共同规范为主；28.若工期落后承商需依工进之要求配合加班赶工，调试/保固期内系统不稳定时需配合加派夜班人员监视操作；29.各系统区需预留一气枪源(采快速接头方式衔接)以利清洁及作气动阀之手动操作之气源；30.各区之CDA及N2 需另设一压力表于衔接处已判定其来源之压力值并有信号回讯及警报之设置；31.所有UTILITY(如N2、CDA等)之接口配管衔接动作为承商之工作范围；32.备品之提供依承商PROPOSAL内之清单为依据；PDF created with pdfFactory Pro trial version 211.4 管材及管线施工规范1.4.1 一般规范a) 超纯水系统内输送管线工程属纯水得标商工作范围，得标商需负责安装及测试所有配管工程。b) 超纯水输送属压力流，流速应维持1.52.5 m/s；超纯水重力流流速需维持在0.8m/s以下。c) 得标商需负责配管工程完成后之机台供水压力平衡测试调整，以使得各使用点压力达规范要求。d) 管架材质为碳钢防腐，零件及零料采镀锌材质。e) U BULT需有PU 之透明护套。f) 验收前各阀件需有一压克力板表示常开常关等指示，及各管路之标示(标示字形型式依业主之规范)。g) 过墙管或预留管需有止水环或止水墩。h) pump 出口配管需有防震软管，若管材为sus、镀锌或铁管其防震软管材质为不锈钢，若为pvc 管则采球型塑料防震软管。i) 药槽区之管架会接触到药品需采用sus304 之材质。j) MMF、ACF 及Softener各进水管需有一手动阀用以调整供水量，及维修使用；k) 各仪表如流量计或侦测仪器其前需有一手动阀以利关断维修；l) 原水至RO 加压泵浦、加药管线及再生反冲洗废水至废水处理厂废水收集槽，使用PVC SCH80 管；m) RO 膜组之高压供水泵出口至RO采SUS304-SCH20；n) RO膜组出水至超纯水贮槽及后段LOOP PIPING之管线使用CLEAN PVC或SUS316管件，其垫片需为TEFLON；o) PCW 及烘干洗眼器供水管采PVC SCH80，MAU及BOILER则采sus304；PDF created with pdfFactory Pro trial version 22p) 4”之阀可采蝶阀，POLISHER 段之阀采用CLEAN 及禁油处理等级，8 小时。B. 真空管线之试验压力最小为内压力1.1 kg/cm2。2. 在水压试验中试验流体进入时，在每个最高点处都必须有足够之排气孔以排气，最低点必须有排泄孔，此部份之材料及施工由承包商负责，包含于试压费用内。3. 在太阳照射下及大气中各种温度变化下进行水压试验时，应注意压力的控制，不可让其超过试验压力。PDF created with pdfFactory Pro trial version 334. 在试验系统中试压流体要排掉前必须先把排气孔打开，以免造成真空。5. 管线作水压试验时，必要情况下(如管线供输送气体用时)，可事先做成临时补助支撑、支架。1气压试验1. 当试压至1.7 / 2时应做初次之检查，若没发现漏气，则逐渐将压力再增大，直到到达最后之试验压力。为了很容易就能查出漏气的地方，所有接点、焊点和相接处都应擦净并涂上肥皂溶液检查有无漏气现象。2. 气压试压之压力，不得小于工作压力之1.1 倍，试压时间不得少于4 小时。3.气压试压为4 / 2复原试压和清洗完成后应从事下列检查工作。1. 清洁和干燥A. 所有开口端应加以检查，若有杂质或碎物均应取走。B. 清洗和压力试验完成后所有排泄口应全部保持开启。2. 复原A. 所有暂时移开之设备和配件均应恢复原状且用适当的垫片接好。B. 流孔板(Orifice Plate)应经志品同意后再装上。C. 所有临时管线和盲板均应移走。D. 所有为操作而盲起之物均应放回恢复到原来位置。E. 管线增设之排泄口，临时管线与临时支撑均应移去。为承受试压或清洗时之负荷而将弹簧吊架(Spring Hanger)固定住的，于试压或清洗完成后均应放开。PDF created with pdfFactory Pro trial version 34F. 复原后之法兰和丝口接头，需作紧密试验（Tightness Test）。3 记录1. 当试压时应以一条管线系统来做书面记录，其内容应包括下列各项：A. 试压日期、认可日期。B. 管线号码与试压号码。C. 试验压力。D. 试压流体性质。E. 压力维持时间。认可者(包括承包商、监造工程师、业主)签字。1.5 控制系统规范1.5.1 说明此份规范系对统包系统控制应用，做基本上且一致性之规定，但须以业主之共同规范为依据。1.5.2 总则1.5.3 工程范围完成本工程有关控制系统所需之所有设计、制造、安装、测试、训练及保固。1.5.4 仪控系统基本需求1. 提供对等式(Peer to Peer)可程逻辑控制器系统(PLC) ，厂牌为GE，采网络连结至中控室，PLC 需有redundancy(备用)。2. 控制程序应存于独立运作(Standalone)之控制器，其系统程序于运用时各类程序内存(USER RAM)使用量不可超过各类内存总量的60%，I/O 使用量不可超过各类I/O 容量的80%。PDF created with pdfFactory Pro trial version 353. 图控系统SCADA 采CIMPCILITY(此规范参照业主之共同规范)功能包括所有设备启/停、系统设定值改变、控制/监视重要参数、趋势图、实时警报、历史资料记录及打印。现场系统的连锁控制需由控制器完成，各系统区另需一12”触控式人机接口。4. 控制系统失效时所有的控制组件(如马达、控制阀、电磁阀等)须可执行手动操作模式。5. 控制系统软/硬件须可执行仿真测试功能。6. 软件程序应设计紧急运转模式及停电/复电激活模式，以备紧急状态使用。7. 停电时需自动切换至具紧急电源(若系统已另有一次侧紧急电源则不需)，控制电源须提供UPS 备载30 分钟。8. 系统需考量部分动力设备设置紧急电源。9. 所有水质及流量监控需整合于主控制盘上并显示于人机及图控上。10. 各系统区需设置流程板并能以灯号显示系统操作状况。11. 各气动阀之开关状态需能显示于人机接口及图控上，各_气动阀需有一开关指示器，以回讯于人机接口及SCADA 图控显示阀体之开关状态。12. 需提供一工业级计算机(此规范参照业主之共同规范)13. 各反应塔需有一电磁阀开关操作盘，其需有自动手动及开关之灯号显示、此操作盘上需贴附此设备之简易设备阀件面管图。14. 各系统区至少需预留2 点以上之气枪源采快速接头方式施作，承商并于各系统区提供一支气枪，其气管长度至少20M；15. N2及CDA 供给主管尚需安装一压力传讯及压力表以显示N2、CDA之供给状况并有警报之显示，N2供给需有流量累计显示；16. PUMP 运转需能显示其运转累积之时间及状态；17. SCADA 及人机图控上之设备需能显示目前该设备或系统于何种状态PDF created with pdfFactory Pro trial version 36如采水、再生或停止，SCADA 采SERVE 等级；18. PCW、MAU 及各层楼UDI 供水及回水需有流量计，并能做累积消耗量之计算；19. AC 出口可考虑设置一余氯侦测计；20. CITY WATER 进水控制为承商之工作范围；21. 现场之仪表显示器之值及人机图控上之值误差需1%；22. 系统内之控制讯号线若超过100M 则需采用光纤，系统内之控制连接线不能藉由网络传送，需独立拉线。23. PUMP 仪控设制需为一台故障时另一台需能自动激活运转。24.各系统区需设置蜂鸣器及闪示灯，警报显示后需有一解除按钮。25. SCADA 及人机接口上需能显示出LOOP 供水各楼层、MAU、PCW、再生废水之使用量； 承包商职责1. 承包商需提供图控系统及现埸控制盘，并完成全部控制系统的接线，配管，安装及测试。2. 对于本规范未详述，但为完成本系统功能所须之工程或材料，承商仍须提供。3. 对于业主的规定及要求与承商在使用标准系统有所差异时，应经核准。 文件送审承包商需于签约后一个月内提供下件送审文件(八份，含计算机文件)，至少包括：A.规格承包商需提送每一个控制系统之细部规_格供业主审查。B.盘体/机柜设计详图现场控制盘体图需提供材质,尺寸含前视图，后视图及剖面图。C.制造商手册清单PDF created with pdfFactory Pro trial version 37所有供应的系统，承包商皆需提供完整文件，包含维修建议、备品清单(一年)及操作和维护手册。D.结线及配管图所有仪表及控制系统均需提供结线图，接线端子排列图及配管图。E.控制逻辑图所有组件的逻辑功能，需依据ISA 的标准或业主核准之格式，表示在逻辑图上。F.控制器及图控系统文件 系统数据库，包括仪表编号和地址等。 图控数据建构、警报、报表原始文件。 顺序功能图，方块图或其它控制应用软件。 制造商信息，包括制造商厂牌、型号、型录、操作及维修手册。 应用程序数据库、操作系统、I/O 驱动程序、发展工具程序。 所有的软件和硬件之材料表清单。G.数据链路承包商需提供网络或RS-485(及TCP/IP)埠于主控制器及开放通信协议，包括I/O 地址，封包资料格式以供将来联机通讯。H.安装施工详图I.测试计划 产品1. 电缆编号、规格，线径及颜色，隔离和接地等要求，需根据业主要求的电气规格提供。2. 警报及停机电路采用N.C. (Normally Closed)，且异常状况时开路的安全设计。3. 错线盘及控制盘A. NEMA12 等级之设计，安装于现埸则采用NEMA4/4X 等级。PDF created with pdfFactory Pro trial version 38B. 独立式之控制盘须有照明、电源开关及220V 之电源插座。C. 结线箱需预留20%备用的端子。D. 按钮开关，选择开关，指示灯及其它安装于控制或控制站的控制装置需根据电气规范。E. 所有低电压电路(小于48V)与高电压电路需适当隔离并使用不同管线或线槽。F. 现场监控讯号需先拉至错线箱,不可直接进控制器模块,控制输出须透过外部电驿。 控制器系统功能规格需求1. 控制器系统功能需求(RO/DI 须复联控制)承商需提供最先进之32 位控制器系统,并完成所属系统间之最佳连锁控制及整合功能。控制器系统应配备现场操作接口(LCD Graphic Panel)以执行有关上述系统之参数设定及相关功能至少包括：A. PID，数学运算功能，控制参数调整设定B. 日历，事件，顺序，时间，周期，连锁控制C. 强制输出(Override)D. 实时数据记录及趋势图显示E. 密码等级保护2. 控制器系统规格需求(RO/DI 须复联控制)A. 通讯速度：10Mbps TCP/IP LAN ，115.2Kbps local busB. 现场面盘：LED 状态指示，含扫描，故障，警报C. 操作接口：现场显示点数值，资料，图形D. 通讯距离：4000 feet，可扩增E. I/O 模块：供数字,计数,电压,电流,RTD 输入及form-c,tri-state,电压,电流输出PDF created with pdfFactory Pro trial version 393. 操作接口功能需求承商应提供下列人机操作界面功能:A. 状态监视：监视现场设备之开/关，激活/停止运转状态，并以动态图形显示。B. 异常监视，上下限监视：可显示现场设备故障状态及液位，温度，压力，湿度，电导度，酸碱度及频率之上下限异常状况。C. 计测与趋势图显示：所有模拟监视点如温度、累积流量、流量、压力、液位、水质、电量、电流等皆可在一设定时间间隔内被侦测，并以动态条状图、曲线图及数值方式显示。D. 运转时程控制：依已预设之时程进行设备开/停。E. 警报、故障、事件纪绿：可自动储存实时警报、历史警报、故障、事件纪录，纪录项目需超过100 项次以上。F. 密码等级设定保护：可依操作者使用权限进入系统等级，并含登入/注销密码设定。PDF created with pdfFactory Pro trial version （二号厂房）401.6 仪表规范1.6.1 说明此份规范系对统包系统仪表应用，做基本上且一致性之规定。1.6.2 承包商职责1. 承包商需于相关仪表材料表中注明制造商，型号及业主指定之仪表编号(Tag Number)。2. 承包商需依P&ID 及现场特性选择合适的仪表、测量范围、设定值、额定压力、电气等级和施工材质(依流体特性，操作条件和机械设计限制)等。3. 承包商需提供并完成全部仪表的接线，配管，安装及测试。4. 对于本规范未详述,但为完成本系统功能所须之工程或材料,承商仍须无偿提供。5. 对于业主的规定及要求与承商在使用标准系统有所差异时，应经志品核准。1.6.3 文件送审承包商需于签约后(一个月内)提供下件送审文件(七份,含计算机文件),至少包括：1. 规格承包商需提送每一个仪表之细部规格供业主审查。应使用ISA(Instrument Society of America Standard)所规定的仪表规格书的格式。承包商亦可使用业主核准之标准格式。2. 制造商手册清单所有供应的仪表，承包商皆需提供完整文件，包含维修建议备品清单(一年)及维护和操作手册。PDF created with pdfFactory Pro trial version 413. 结线及配管图所有仪表及控制系统均需提供结线图，接线端子排列图及配管图。4. 仪表清单此份清单至少需提供下列信息：A. 仪表编号B. 信号种类C. 校正范围及设定值D. 制造商、型号及型录页码5. 安装施工详图6. 测试及校正计画1.6.4 仪表基本需求1. 承包商需依实际现场状况提供所有管线上所需之仪表、和其它供正常操作和测试所必要的仪表。这些包含温度计、压力计、传送器、分析仪器、调压阀和控制阀。2. 所有仪表制程资料取出点，均需根据管线规格提供隔离阀且须防震。仪表非在管线上安装时也须有二次隔离阀或Manifold 安装于仪表上。3. 现埸指示的仪表之刻度，需使用以下测量单位：A. 温度B. 压力/2 或barC. 液位一般0 to 100%槽体液位计公尺/公分/厘米D. 流量体积流速 m3/h or dm3/min (=L/min)质量流速MT/h， /h or /SPDF created with pdfFactory Pro trial version 42E. 电导S/ 或MF. 酸碱pH4. 传送器采二线式4-20mA 电子式传送信号并附现场指示，24VDC传送器电源由现场控制盘供应。5. 所有承包商负责安装的电子式仪表若安装于危险区域时，必须提供危险区域使用的安全防护设计。6. 制程中使用的作动开关采固态装置式或DPDT SNAP 的开关和用于危险区域的安全等级，水银开关型式不被接受。7. 电缆编号、规格，线径及颜色，隔离和接地等要求，需根据业主要求的电气规格提供。8. 警报及停机电路采用N.C. (Normally Closed)，且异常状况时开路的安全设计。9. 错线盘及控制盘A. NEMA12 等级之设计，安装于现埸则采用NEMA4/4X 等级。B. 独立式之控制盘须有照明、电源开关及220V 之电源插座。C. 结线箱需预留20%备用的端子。D. 按钮开关，选择开关，指示灯及其它安装于控制或控制站的控制装置需根据电气规范。E. 所有低电压电路(小于48V)与高电压电路需适当隔离并使用不同管线或线槽。F. 现场监控讯号需先拉至错线箱,不可直接进控制器模块,控制输出须透过外部电绎。1.6.5仪表功能规格需求承包商提供的仪表将根据下列规定：1. 所有流体传感器部份采316S.S 或TFLON 或依流体条件选择适当材质；PDF created with pdfFactory Pro trial version 432. 温度计需安装于套管(Thermo wells)中，套管采304SS 不锈钢或经业主同意之相同等级的材质；3. 现场温度开关、温度指示器和温度控制器，采双金属或填充式系统；4. 温度传送器采用热电偶或电阻式(RTD) 。热电偶为J 类；5. RTD 采用三线式Pt-100W型式；6. 仪表使用之毛细管采316SS 材质防护；7. 仪表采用NEMA4X 防水防腐蚀设计；8. 现场药槽液位计，采电磁式(翻板)，液位传送器采电磁式,桶槽连接为1”法兰，VENT 与DRAIN 则为1/2”NPT，等级则与桶槽的设计压力和温度相同，液位指示计于腐蚀性流体时应用防腐蚀设计；9. 压力、流量和液位取出点均需加装隔离阀(Block Valve) ；10. 仪表用导压管(Tubing)至少需为316SS，3/8” 外径规格或经同意0.035”管厚之316SS 不锈钢管；11. 在往复式PUMP、压缩机及其它脉冲设备之进出口侧之压力传送器及充填式压力计皆须加装缓冲器；12. 控制阀的垫圈(Packing)于操作温度达200 需采铁弗龙(Teflon) ，其它操作温度则采Grafoil 材质；13. Modulating 控制阀驱动采用气动膜片(Pneumatic Diaphragm)式为主,含：A. 气动驱动器(Actuator)及气电转换器。B. 420 mA 之定位讯号(Positioner)及指示计，以显示控制阀的开度。C. 提供手动操作。D. 所有附件均须组装完成于控制阀上。PDF created with pdfFactory Pro trial version 4414. ON/OFF 控制阀若由电磁阀操作气源讯号,需接受24VDC 控制,若由马达操作,需接受220VAC 控制并提供开/关状态指示（SPDT）及手动控制；15. 压力表采用4-1/2”或2-1/2”塑料或不锈钢外壳的表头，不锈钢转子，白色指针盘及黑色刻度，316SS 材质的巴登管或薄膜式，其精确度为校正刻度的+0.5%；16. 流量传感器采面积式,电磁式,差压式,或超音波型式，需依流体特性配置，并含现场指示功能；17. 现场流量累计器需含脉波及模拟信号输出，其精确度为0.25%18.所有地下水池之液位计采用超音波液位计，FRP 或其它存水桶槽可采用压力式或超音波式液位计。1.6.6 仪表系统安装1.所有仪表系统除了在此章节的要求外均需按照原厂标准方法安装。2.所有仪表的安装不能因震动、脉动、温度或污染而减损精确度及可靠度。3.所有仪表的安装需容易接近维修及检查。4.仪表管线、导管及电管(Conduit)需正确地保护和固定。所有小于1/2” OD 之导管(tubing)需以镀锌钢管连续固定及保护。管线、电管及较大导管需牢固以支柱或槽及夹钳固定。PDF created with pdfFactory Pro trial version （二号厂房）451.6.7 测试与校正1.在验收及装船前，承包商必须将所有硬件及软件做系统性的组装及测试。承包商需提供所有人员、材料及测试设备。完成测试后所有测试需完全记录及供应给业主。2.所有仪控需根据制造商或承包商的标准程序校正设定值和测量范围。所有校正记录需包含校正日期、使用的方法、差异及结果。3.输入/输出仿真-模拟式输入/输出需用适当的传送器或仿真器做仿真测试，接点式输入/输出则采用开关或继电器仿真。4.功能测试-依核准之测试计划验证1.6.8仪表命名1.仪表编号不可重复使用，无论是承包商或下包商在仪表编号时，需注意仪表编号是唯一的，以避免混淆。2.承包商需为所有仪表标上不易损坏的铭牌。铭牌上标示订单号码、仪器编号的全名、制造商、型号、尺寸及校正范围等。铭牌需采用不易腐蚀的金属材质，并以铆钉或螺丝固定，避免将铭牌依附在可移动的对象或外壳上。1.6.9检测及查验1. 业主有权要求在装船前查验测试所有的仪表及电力接线。在业主查验之前，承包商的工程人员必须小心检验、测试，以确保所有仪表完全符合请购单上之设计图及规范。承包商于任何安排之验收测试前需事先通知业主，共同参与测试并验证符合系统要求。PDF cre