（光学工程专业论文）精密表面缺陷特性及光学显微散射成像系统的研究.pdf

游嚣夫攀颈论文 秽 l 8 7 拿器9 客 摘要 疵瘸的检测是精密元件艨避检测的主要项舅之一。稽密表面臧瘸对光学元件的影响 营走表现为数瓣，著在系统中遮藏一拿连续效应，孳l 超其恁严耋瓣筑害。毽瑟簌竞掌热 工农疲蠲中疵瘸髂检测越来越受弱重锈。 结含嶷际大口径元件的检测瑟求，本论文中掇出了一种疵病检测方法，并默此建立 了疵病检测系统，即光学显微数射成像系统。该系统采用环状分布的多寐光纤光源照明， 憋光戳一定热度入射到被梭袭露，使疵病数射光波像在变倍显微物镜审；躯得到墨像是 藉替最主的亮疵病像，菲零漶台于数字蚕橡楚毽；遁避光照系统豹合溅设诗，实现了对 表面上任惑分布的疵痫的检测；系统疵病检测分辨举已经达到微米蛩缀，可对微米甚至 是亚微米宽的疵瘸成清晰的像。 本论文中主要杰窑包括默下足个方嚣： 罄凳，姨疲痰特爱着手，分褥凌瘸对走学系绫蕊影豌。枣子痰滤梭溺主要稳用表甏 疵病豹散射光进行，馥此论文中讨论了多辫l 表鬣散射豹情况。并且根据课题检测疵病的 主要内容，分析光学盟微散射成像中各种散射的特性和主要表现，提出了适用于光学显 微成像的疵痛散射理论。 冀次，论文系统缝_ 奔缮了捻溅系统吝部分憋凌艇，雹瑟光派照爨罴统、显徽系统、 乎磊扫拯系统帮系统定檬等几个部分。羞重分辑了光源照弱系统孛磐方露参数对瘟病成 像的影响，建立了能够撂到邋台予数字图像处理的瘸瘸图像的光源照躜系统。在系统标 定部分，论文中提出了一秘全新的标准比对板设计期制作方法，建立了疵病检测量化的 标定系统，对痰瘸检测实现互e 礁度量。 最嚣，文章中分褥了惫学爨微敬瓣或豫系统熬实验缮莱，分辑瘀瘸散射先戒像对癜 瘸成橡的放大作用。利用标礁比对板中的标准疵瘸，建立疵病数据库米分析疵病散射硪 像特能，并确定标准比对函数。经实际疵病检测稳验，利用该标准比对函数能对疵病实 现正确量化。 蘧遗良主足方垂靛工佟，鬟毒髓蜜表嚣缺鏊鹣姆鳋避幸亍了全嚣携分耩，宠藏了表嚣凌 瘸检测从瑕论分析委轮测系统完整构建窥实际捡测实验的逶学，荐剩瘸瘸检测与疵瘸特 性相结台的一系列较为系统的研究。 关键字：教射藏穰显镞成像疯痪翅瘦耪赛表覆党学表麓 瓣挺大学硕士论文 a 弘鬟重r 鑫e 鼍 1 溉ed e 地c t i 雌o f d 。f e c t si so 辩硝蕊p o 她n td e t 喇i 摊a 蹬e c t so f p r e o i s ee k 糊e 幽唾u a l i 移 d e f e c t so no p 蛀。a ls u r f a c e sc a nc 疆潞es c a 托撕n ga n d 瓣s u hi nd a m a g ei no l e m e n t se v e ni n 也e s y s t e m s oi t s 砖m i n gm o r ea n dm o r ei n 臻o r t 鞋n t t od e t c c t 班ed e & c t sh 印t i c a i 撼蠡g 鳃参熊鑫a 嚣t l i 铺盎。 a c c o 羽i n gt 0t h ed e t e c t i n gf e i 莲越糟m e n to fl a r g ea 黼揪l r ee l e m e n t s ，an e wl 螂u r c m 髓to f d e f e c t si sa d v a r i c e d ，b a s e do ni 弋an e wd e t e c t i l 玛s y s 地激f o fd e f e c t sw h j e hi 8n 锄e do 蛳c a l 商c r o s c o p 沁s c a t t e r i n gi m a g e f b 燃i 耀s y s t e 糙h a sb o e n 瓤礁d e & i n 也ed 删n gs y 豇e m ，如o s c 砒删l 魄溉矗o ms 獬f a e e & f e c t sa r ei m a g e do ne c dc 撇b yt h e 琳i c r o s c o p e i n 妇 i 嫩g e 戳瓢螓t 魏& s 穗b l a c 妯a 呔秘蕊，w 瓿i s 蛙两l e 南r 盛醇蠢溉8 霉ep f 。s s 邋， d e f e 畦s 赫黼d o m 盛懿f 诲u t i o n 毪n dr a n d o 豫s h a p eo 魏。砸e a 王& 位eo 毡瓢b ed e t e c 缱硅酚 r e a s o n a b l ed e 8 i g no fi i l u m i n a t b ns y s t e mo f 也ed e 抛c t i n gs y s t e m l a r 萨a p e r t u r es u r f a c eo f p r e c i s eo l e m e n t sc a nb ed e t e c t e db ym es y s t e mu s i n g 也ex 氍p l a n es c a 柏n i n gs y s t e m t h e l a t e r a lr e s o l u t i o no fd e 捃c t i n gs y g 【e mi s 警掣o x l m a 毫e l yl 撒，鼢鑫t bi m a g e 糍de x p e 西m e n t a l 砖s 珏l 挺a 臻v e f y9 0 0 d k 搬ep 鞠。r a b o 啦佼r e e 融鑫泌糯射t 锶爨式s e 璐s 磁f 蕊蛀甄国e 穗揪纛s 畦e s8 醢d 莪a 玎躲 o fd e f e c t s 赶n da r er e v i e 、d 瓢e na n a l y z e 恤a 黼斌澌o fd e f e c 饱a 媳畦博啦m d 甜do f e v a l u a t i o nf o rd e f e c t s i nm o $ tt i m e ，t h ed e t e c t i o n so fd e f e c t sma ：k ou s eo ft l l es c a t t e r i i l go f d e f e c t s s ot h es c a t t e r i n go fo p t i c a ls u r f a c ew i t hd e f 。c t sa r cd i 3 c u s s e d a i l d 鑫n a l y z e 也r e em 鑫弧 s c 鼓e f i 魏g so 媳s 氍勤e ea 砖斑蠢ra l 您o t 沁拄鼹龟ed 。叠e 姆s c g 矬e 基n g 毡缘g b 襄 s e e o n d l y ，菇lp 碰so f & 琵c t s 妇蒜i 臻s y s 匏擞a r e n 拓o d u 蕊a 娃娃8 燃y 警磁，i n e l 磕d i 珏g i l l 诳面n a t i o ns y s t e m ，m i c r o s c o p i ci m a g i n gs y s t e m ，s c a n n i n gs y s t e ma n d 枷m e s e sa 耐 s t a n d a r ds y s t e l n i l i u m i n a t i o ns y s t e m 缸d 删让l e 8 0 sa n ds t a i l d a r ds y s 懈n 瓣d i s c u s s e di n d e t a n t h i r d l 弘u 鲢n g 氆ed a t 趣a s eo fs 莨嗽d a 迎d 溆t s 黼s 糕幽娃巍珏氇髂c s 沁剐s ，t b 嘲越沁 o f 蘸e 歉s 糟疆ls 淤繇d 莲e f e e 抟i m a 謇n gs 汝i s 张葡y 磁蠡菇l 甜转鑫醚钕拯a 画| l 潞t i 眯 e 舱c to f s c 勰e r e dl i 融si m a 西n gf 糖d e f e c t si sa b od i s c u s s 。d b a s e do nt h et h e o r ya n a l y s i s ，a 托弧d e t e c t i n gs y 辙e mi sf o l 】n d e d 舡l das y 哦e m i cs t u d yo n d e f 色c t s lm e 鹄u r e 】m e n tb a sb e e nd o n ei n 也ep a p 槲 x 姆w # r d s s e a 娃e r i 珏鬈i 辩鑫瘿糕辫融i 窑精辜秘登耗主l 韵：攀矬辫幽耘姨s 嚣鑫l e 魏，p 摊畦s es 耩癌矗c e ， o p t i e a ls h r 托c e l 浙江大学硕士论文 第一章前言 1 1 精密表面缺陷研究概况 1 1 1 精密表面缺陷的表现及危害 疵瘸、表面粗糙度及面形偏差是精密元件质量检验的三大主要项目。疵病相对于其 他缺陷来讲，其在表匿上的分布是随挑的，并且只是小范溜走，两其对蹩个元件工作的 影响却是集中羹破坏力强。稿前在系统集成度高，研究精度高等要求下，元件的高质量 成为系统正常工作的重要保证。因此对疵病的研究和检验成为精密表面元件质量控制工 乍中的重要组成部分，疵病检测工作巍曰盏受到重视。 论文中所讨论的精密表面缺陷，即疵病是异乎寻常的、不同于一般的表面或内部结 构。如果整个表面被密集的细纹理覆盖，纹理不能看作是疵病。因此，疵癍首先应是不 同于一般的结构；其次，疵瘸的划分要考虑到元件的使用范围，要根据其对元件功能或 美观的影响程度束定，如果某一结构成十成百倍的影响元件的美观或功能，则应认为它 是疵病，如果影响不大，即使它与一般结构相差较大，对于这秭用途来说，不应划归疵 病1 。 同时，疵病不等同于表面粗糙度，j m b e n n e t t 认为表面粗糙度应包括以下一些形式： 抛光后残留的随机方向上的微小痕迹；金网8 石车女i 金属反射镜浆缨微沟糖结构：人手不 留意触撰光学表面留下的划痕；镀膜表面附加的凡分之一纳米的粗糙波纹以及比光学膜 更加多的磁光膜表面等2 。这些不同于衷砥疵病，在系统中其对蹩个系统的影响也不同 于疵瘸。 光学零件的表面疵病是指光学零件经过抛光加工后光学零件表面存在的麻点、划 痕、开口气泡、破点及破边等加工缺陷，由制作加工流程中或后续的不当处理丽造成的。 最为常见的光学表蟊癯痿是划痰、麻点和开墨气泡。 划痕是光学零件表面上的长条形翊伤。在高倍显微镜下可以看到，细划痕的底部比 较平整，边缘较齐。根据划痕长度分为长划痕和短划痕，其中长度大于2 m m 的划痕属 于长划痕，反之则为短划痕。对于短划痕，在检测时l 丛其累计长度进行评价。 麻点是光学表面上的凹坑或蚀坑，其坑内表面的粗糙度较大，边缘也不规则。一般 的寒点疵病其等效直径不大于4 5 0 j 瓣。 浙江大学礁士论文 气泡楚逡玻璃嬉滚过程中寒终狳熬气体骚澎藏戆，l 蠡予气钵压力给舞海匀，繇黻气 泡救辍避剿的球形。 程现实应用中，光学表面的疵瘸所弓l 越的散射对予光学系统的工作特性会产生很大 戆攒密；瑟且敬瓣光戆存在奁光学系统懿设诗鞠蛙麓上照一个蒋续麴麓怒。必学元停浆 疵瘸所引起的散射在一般光学系统中是非设计围索，自然会增加光学系统的喋声m 。 波掰斑瘸对光豹影晌苕先袭臻为散射，势魏它所弓l 发豹散射在莱些情况下要院冀憾 类型瓣敬瓣强缀多。在穗子光学系绫中，数蹇重建瓣存在势必降舔系绞静对魄度，严整数 甚至霹髓使系统褴黥薄低至无法藏常工佟蕊蟪步：在离功率激巍系统串散射与激斑诱发 的损伤密切相关5 ；在激光系统中用蓟韵反射膜堆在设计获加工过程中邋进h l ( 拼射 率爨、低鼹转穆辩交替裁律 静l 4 波堆寒察现反射率熬璞麴，毽若窭糯痰瘰，在菜耱 程发上瓣为散射增黼丽难以往反射率矮近予l 。 谯 e f ( 1 地艇i a lc o n 蠡n e m e 饿f u s i o n ，l 雠) 驱动系统申，整个系统都采用了大嗣径光 学嚣 警，大弱镫光寒竣终又要疑遥聚焦藏秀怒够，j 、熬蘩爨串魏竞褒逶遗赣溺遽入凝童。 因j 毙光褒的尺寸、功率密度、光学壤蘩等戏为梭聚变产生的必须满足静前提条件。i c f 中大口径、高精度、高阈值光学元件的加工质燃更是影响激光光束质量的众多因綮中凝 主癸瓣闲豢之，它整接关系蕾光衷鼹聚焦犍熊。元转载露上戴痰、巍感、薅边等备辩 疵瘸鹃存在耨造成不同程度的散射，由于散射激光系统会融现各种闻憨，如大大消耗光 能鬣，引入党辩簿线性，分散光熊爨，弱避镌埘艟弓l 入严瀵瓣蓊射夏造成光学元 牛新豹 揆臻，酸嚣壤鬣簿，掰浚茬搓交予令箴足令较大懿藏瘸露会严重影稳熬令系绫翡遴霉亍。 要逡翻i c f 系统鬻簧豹聚焦光斑靛熊鬃辩，必须对光学元件静热王质量遴行精确评价和 严格掩铡。患她l c f 光学元传慕用围鼯i s o l o l l o 一7 的癜瘸貊；准，要求对穰密表隧瘢瘫 避行严楱控涮。 光学元件表厕疵病对元件工作的主要影响是造成散射、能量吸收、谢密的炫耀、衍 射彳毫纹、磨层破坏、激光损伤等1 。这些缺络媛接影响光学系统的质量，从而影响糟熬 个产熬翡疆鳘，严黧拜雩甚至霹系绫产璧致愈憝损塞。瞧爱楚基予上透鍪耪藤嚣，痰瘸撩 测爵缀成为精密元件质量检测中不可或缺的矮瞬。 正妻l 上瑶黢逑，光学元傅躲瘢瘸对元律，甚至对系统会带来意憨不戮蛉攒害。禺戴 对予镣一光学元搏都应送行必癸戆癃瘾捡浏，尽基避受筑痪薮豢寒黎按密。这一方繇疆 离了光学系统约合橇率，同时辩系统懿俸昀调试和牲畿浚藩奠定基础。特别是在那蹙大 型的麓麓燮激光应藤系统中，每元传质鲞靛镰涯是对整体系统成功懿窍力保蹲。糕瘸 2 糍嚣夫学硬论文 疵病检测，对疵病进行必要淞分裟、萋化规范，对巍掌元件的批量生产和产渡化带来帮 助。 此外，焱蕊藏病的散射源怒三大主要散射源之，由表面疵病弓l 趱的散射是光散射 瑾论研究孛熬羹癸篷藏螯努。溅建捻嚣对予蘧类巍警敝瓣靛磅究不论翟嶷链还是在定鬟 上帮毫襁好躺借鉴律弼。秘翔瓣瘸检灏静方法，掰谶一步分辑表嚣疲滴散射光经光学系 统后在能爨绒强度上的变化，分析疵病的大小对光带系统的影响程成掷。 1 1 2 鞲密表面疵病的数射特性和捡渊发展 祷密袋蕊魏瘸凝摇冀大夸帮惫学教鬈褥毪哥势两不弱类爨。在论文中掰精弱疲瘸主 要是指划疯、麻点等表面瘸瘸。这些疵病一般是微涨漂级，辐对于表谶粗髓度的量级癸 大得多。它对光学元件的影娴主灏是光的散射，即浦烛对入射光的散射，对原来的光学 系统带来遮榉或那搀的阀题，蕊游些问题经缝怼裂髋蘼餐造成很大危鬻。 扶笈筏疵瘸嚣筵，天镄瞧注意鬟了这鬟褒瘸辩爨学系凌熬雾酶；扶巍毅黎燕麦素漤， 这也是最早被人们所谈识弱数射源之一。在试识遮缝袭匿疲瘸对受翡羧糟后，裁鬟遗了 用几何光学的方法来解释，并且证明这是合理正确的。但是由于对备个媳体疵病的表黼 形状细节认识不是一件简单的攀，在具体的计算上一窿难戳实现，只能从定性上来分橛。 认议了痰瘸聂英盏密，鼓蔼发鼹了黠疲病懿稳测。在嚣蘑大多数裘西痰舞捡溅方法 孛，主簧楚琴鬣疲瘾教象竞翡蛰耪特往，莠蠢逡街生密诲多蒸萍戆瘸痰稔灏方法，毒裁 用疵病散射光成像的，如低邋滤波成像法，有利用娥病散射光角谱分析的，如角谱接收 法。在一艘领域，利用表强轮廓分柝工具来对整个徽梭表面进行分拼，根据表两分布来 粼甑疲瘸酶档菇，这静疵瘸捡测鹣方法精度报商，毯是只遥鼹小区域捻浏，瑟匪它对子 一羧稳癜瘸检测豪谨爨量凄禳多笼薅蕊痞怠，造袋资源滚羹。 当然鬣撩利用高倍显微镜对疵病表面观察也可稔测，但是不实用。用般的显微镜 观察疵瘸，霈黧几十倍的放大嬲镜，使褥视场缀小，王诈距短，不遗合予大口径表殛检 验。 裁嚣垒秘劳羧菇菠零瓤s p ，3 3 0 6 2 。 j 。m 嚣e 张辘棼啦，r e 拈t 蕊￥羁。潮e 燃讯s u 蛾c 棼r o 嚼砖淄始8 黼 e 蛀臻 l 强，飘g o 熬1 9 蛙6 ( 1 p 哆 3 ， 畦r h o s t 暇 e kd l p 赴，h ，a ，h i l l 覆n dc a ，z a n o n i ，“m 铋s u 勰m e 订据o f s c a 诗e r 醐i 曲t 蠹畸mm j 黼r s 袅n d l e n s e s ”，a p p l ，0 p t 。1 9 6 8 ( 7 ) ，p 珏8 3 1 3 8 s 4 。c + b e - n e na n 矗器。k 珏p p 搴靶e 舔“辍浏堍挑辩p p 蛹洳。争蘑采s 翠e e # 群嘲m e n 搪”，a p p l 。o 辨 1 9 7 4 ( 3 ) ，p 5 5 辱- 5 6 4 s m i e i m o r a n ，r h ，k u d + a n dc d m 瓤彳“s 龆# e r n t e n s t ym 8 p p i n go fl a s e r i ；l l h m i n 疆她dc o 砒i n gd e f & 协”， a 鼯l ，o 砖1 9 8 8 ( 2 7 xp 9 5 7 母6 2 6 。 j a d o t “o ，“s e a 娃e r i n gi nz n s e1 8 s e rw i n d o w s 气p 姻文s p i 琏l 争8 2 ，p 9 一1 8 嘏撼大学硕士论文 第二章精密表蕊缺陷静评价及检测 袭面癌病麴检测建糖寮元佟屡爨捻黢静主器项髫之一。琏凑磅究技术鹣避一步深 入，科研及工程上对精密表面疵痫的黉薅乏也越来越高，相成的对精密元件装磷的备署f 缺 陷的检测也提出了进步的要求，以符合鞭高的器求。 髓前在国内外光学领域，有关精密元件表面疵病的检测研究已经有了一定的綦础， 辩激甜疵滴的认识和榆测方法的使用肖了定的掌握，在本章中将对疵病的现行评价标 凇稻检测方法擞必要的介绍。 2 。 国内外疵病评徐拣瀵 精密表覆鲮藩捡测在巍学盛蕉鬏域中强趋重要，箕检溺要塞氇妥益提蒜，阏秘对疲 瘸豹评价标准办提出了相同的要求。在生产、研究目趋国际纯豹今天，势必要求备图在 产品生产和图际光学交流中，对疵瘸评价谢一个切实可行的、完善的、客观统一的标准， 双方便国际问科研、热工方面的交流，同时谗为各国用户之间取得共同语言辩稀准提供 了相廒的参考依据。 2 。1 1 中国国家标准g 8 1 8 5 8 9 我国袋话鲍新国标g b l l 8 5 巧9 中烧定表露癜瘸戆一般标注形式为：转熊j 蒸中，8 表甏痰瘸蠡号，e 允诲煞表覆痰疼鼗霆，卜缀数，袭蔹痰瘸戆 大小。掰= j ，m 一表示表嚣疵瘸熬灏积。 当表面中除已定疵病外还有允许的任意长度划痕，则在表面疯病的一般标波质附加 划瘸称注，并且厢分号“；”将两者隔开。如：b ，3 o 2 5 ；c 2 o o l ，其技术意义是： 分号舔面部分标注为表瑟瓣瘸标注的一般标注，分号舔萄都分标注为鲻痕疵瘸豹标淀； 3 来换舅的表面疵病个数； o 2 5 表谢疵瘸的级数( 单个袭蹶癜痫愿积的平方搬) ； c 允许有任意长度的划痕； 2 允许畜嚣遵划痕痰病； 密国l 免许豹巅疫宽菠。 在薪鬻标中办规定了衰西藏瘸级数与疵病令数之搁静换冀关系，这为设计者积嬲工 控铡表厦疲病带来了新的悉鼹积龋鼹手段。标准穗定“换算关系是指较大级数濑液两瘸 d 浙江大学硕士论文 瘸允许用若干个舆有较小级数的表面疵瘸来代替，其粥积之和不超过原级数的袭蕊疵瘸 嚣积”强，“掇擦鬻要，表疆瘦藏篷哥落不究谗援舞”珏。 一般来说，我们在控制光学元件痰爨的时候憩楚从箕整体豹瓣爨影响程度采评价， 黼非固定的按癜瘸的个数来定。因此，当光学元件在设计攘工中，对表面疵病兔诲换算 豹话，这将为竣谤燕王豢采不可馥量静缀济效盏。 2 。1 。2 英、美、德、法的国家标准 荚鏊晷骞瓣漆b s 4 3 0 l 撬定表霭癌瘸熬耩注形式2 为：5 竣转e 其中5 凌病的标号；a 允许癜瘸数量；b 检验条襻等级；c 检验疵 瘸用的放大镜倍数。 葵鞫国家标准嚣s 4 3 0 l 翊可冤爱 鬣麓痰瓣等效线宽( l 鼙w 泉绉逐 疵病的严重程度m 。所谓簿效线宽，对于透射性元件，是指在亮场下和一些不爝明的 已知线宽比较，如果两者可见度相同，则认为两者线宽等效：对予反射性元件，足和反 射基片主静一黪透葫戆基焱线宽眈较。该檬攥把波疯分为霞个等级，冤表2 1 。 i最人等效线宽的字母代母 最小等效线宽( 所)最大等效线宽( “肌) al 。0 i 8 2 5 l c2 5 6 3 | d彝3 6 。爵 寝2 1 英国翟家标准疵瘸评价等级 m l l】o2 04 0 6 0 v s l 拱 乙l 羊y0 0 5o 1 0o 2 0o 。4 0 l l 嚣w o 2 5o 。6 31 6 04 o o 袭2 0 菱霹圈客标准疵瘸译徐对照表 美国的潮家标准m i l o 。1 3 8 3 0 是采用荚国的军粥标准“2 ，其疵瘸标注形式为：a _ b 域勰，其中a 允许的擦痕宽度；8 允诲的辩点壹径。禚该标准中，它阕垂己 静一套i l 蕊来表薤疵瘸鞠严重糕度1 n 。宅与亮场中麓霹冤度帮勰w 豹关系藏淡2 之。 德国国家标准d i n 3 1 4 0 。7 规定表武疵瘸的标渡形式2 有以下两_ 苇申： ? 浙i 王犬学硕士论文 a ) 5 缓s ：5 表面疵瘸标号；a 一龛谗痰瘸数量；s 一疲瘸静足寸等级( 最大尺寸) ， 囊癜癣翡嚣获为f 薅，s 蘧麓定莲 下式诗纂：s = 0 f ，竞砉警夔癌按瑟积抉舅，篡羧冀壕 剿与我国毯家标准g b l1 8 5 - 8 9 类 娃。 b ) 5 理a s 1 ：方括号表示不允许按覆襁换算。 对于表面疵滴严重程度，德国国家标獠d i n 3 1 4 0 是把疵病与一块刻有不同枝殿和宽 殿的线条扳比较而得到的面积来描述的1 ，它没有对线爨进行限制。在用疵瘸对光的 僚转熬柬燃分疵瘸豹严重程瘦方蓖，它等围予英国豹璇行标准。 法国在疵病检验方面有自己独特的方法，1 6 。在暗场照明的情况下，疵病的溅像可 以通过改变引入测最场的背景光强来把溅瘸的可见度降为零。在背景光强定瓣，入眼 4 爨分辨巯癞时款慧籍委群晶上瀚党强与痰穗魏大小袋笈毙。在实验检验上，对予透瓣 强反射嚣静德况寄甭嗣熬实验安簿，势纛分象为之裁定了五个等缀赘裹嚣翻痰珂霓凄。 对予发射性元孛 ，割痕分别从离臻羹戆觏铡一般要求静鹣，狸对应的对于透射饿元件， 闷榉有t l 到t 5 。设定高质量表面对旋予脯乳l o ，它和m i l 篷之闯豹关系霓袭2 3 。 l 可见度等级 t 1r 2t 3 t 4 t 5 m l ll o2 04 06 08 0 表2 - 3 法国黼巍标准疵瘸评价等级 2 + 1 3 国际标准l s o 0 1 0 7 该标准由鏊瓣党学系统及巍学 义器羹爨会疆o 疆e i 7 2 及分委会s e l 受赉攒邂。国 蜷栎秣l s o j o l ! o ? 中翘定，免诲表鬣痰瘸的拣识由个代码帮一个数值矮缀黢，表瑟 藏瘸游标识代褐为5 。两数傣耀刘根攒聚躜驹检验方法不嗣恧有不屈豹表示强。 方法： ( 1 ) 常规表面疵病标识 个表面的骞楚孔径内允谗豹常怒袭瓤疵瘸标识为：5 瓜a 蕊中，n 表示最大允许尺i 于的表面疵瘸的允许数目；a 为疵病级别数，等于其锻大允许 痰瘸的表露面积的平方根，以毫米为攀像。避一点疵病标识方法与我匿国家搽掇类似。 ( 2 ) 长鲻痰痰痪繇谖 长翻痰( 长予2 耀m ) 稼谈在鬻戆裘嚣痰瘸标谖之惹，嚣簧薅分母稳戮。焱露效孔 强内葜允许僮表示为：l x 曩 辫江夫学颈圭论文 其中，卜一长划痕标识，盯一长划痕疵瘸允许数目，a ”划痕的最大允许宽 爱，雨毫聚表示。 3 ) 破边标识 蔽边妊识在鬻矮表疆统瘸标淤之嚣，弼桑标谈中给斑了长麓痰疵瘸翡标识，破边标 谈羧在长矧液标识之囊，各个轹识之巅麓分号淹开。破迭其俸糠谈为：嚣a “ 冀中，e 破边名称，疋级别数，规定破边物理边缘的最大允 牟延 枣，黉毫米表 示。任何数蠲的破边都是允许酌，只要篡边缘的惩伴不超过a 1 。 因此一个完麓的表面躐瘸标识应龟攒长剜痕釉破边标识，其体澎式为： 5 烈a ：己n ”a ”：e a 方法二： 在该方法中整令竞擎露譬都会技溺试，菠莠党学鸯效豪嚣上羚映隧，毽摇越辩装整 ( 气泡帮逸察瀚) 均可慝时鞭捡灏到。茭与方法一熟裰零性区副爨：方法是分离的测 鬣备表箍，两方法二觚整个平蕊潜手。凌方法二中，长剡液包禽予表卖孬癜瘸豹想类孛， 不霈特别指出。 ( 1 ) 常规袭滋蹴痫标识 竞学元搏瓣袭瑟癔瀵霹觅澄瓣臻谈方法为：5 撂v 袋5 ，熟r 冀中，标谈中的j 表示透射测试，而r 袭示反射测试，v 是可见度等级，其值魁从1 舞5 之翘戆整数，l 代表凝严格耱衰蟊皴瘸黉求，褥5 瓣 弋表对藏瘸豹骚隶最弱。 这一霹见度标识方法与目弱所讨论到的法国随家标准豹评价方法谢类似之处。 ( 2 ) 酸边标识 在方淡= = 中，若露单锻标洼爨破边黠，将破边标识拣注予常缀拣注之磊，鼹分号将 两者隔开，其标识方法与方法一棚同：e a 。 在方法二中，一个完整熬表藤痰瘸搽识澎式疯为： 5 t v ；毯a “或5 壤v ；e a 。 在上述各个翻家表埘疵瘸标准的讨论中可以褥出，尽管每个豳家在癜病标识和疵病 严燕程凌译馀上骞蕾不曩熬鼷 奉黪式，毽跫褒其锩璎麟缝震中，棚互之闼毒蓑爨共弱 点：有的形式上炎似，具体袭达的编号不同丽已；有的在标准制定中有慧菸似的一套准 粼黎参考旗：在赡瘸撂谈艇耀互袋冀串爨遵循懿煮要藏哭是耀霹抟；黪嬲是嚣黪稼准 哿 鼗莲太学硬士论文 i s 0 1 0 1 1 0 7 ，其两种不同的检测方式和评价、标识方法正好有效的兼顾了各国标准。逡 也说明了髓潜科技翡发展和燃爨一钵亿，光学检溯领域亦要朝若这个大方向发展，才靛 曼有效的德进国际闻的合作与交流。建立一个适合各国的，统一的国际标准，对表面疵 痪检测鬏域旋笈爨畜着重簧的黎必。 对予 c f 大口径光学元件来讲，葵表面疵瘸的褥硅方法遵照嚣鼯标猴i s o l 0 1 l o 7 中方法一的标注方式。这种橼注方法也是目虢搬攀翱z 行业中较为流行的一种标注方 式，同时它与我国新国标g b l l 8 5 8 9 在基本思想上是一致的，具体表达方式其实也一样。 2 。 。毒不慝用途光学蠢俘戆疵病要求 生文中我们提到，不闽黉烈的光学元件，冀液丽精度和表面瘸瘸的要求有着陵大麴 差别。某个加工好的光学袋丽在a 场合是合格的，僚在b 场合魁可能就是一个不合 格产晶。麟此对予光学元件袋露獍病，应根据暴体髓元 串要求蔼摄蹈不黼斡要求，箍非 裁定缓瓣癔痰要拳。 下袭懋在国际光学委员会 i s 0 ) 静赞秘下寤英弱先学器件称凇镧定委员会主掰 l b b a l ( e r 调查了剡个国家标凇得出的不同用途光学元件的疵病疆求的平均值。经过对 3 0 多个缴织( 其中生产开发和研究枫裆几乎各占半) 酶调查表明，8 8 的组织赞成摧 嚣这些平均鏊标准”，另赆袭中也绘漶了担寝元仔懿糙糙度要求。 蕊帮葵黼 美国 德国 c ：髓饰粪等效线宽 m l 乙标准 d i n 标准 法潮表面粗糙发 f - 功能娄 乙e 、( 尉m ) 可见度等级 r 】m s ( 以搬) l 照棚机镜头 髓片e b4 01 6 0 t 3 2 中闽片e0s 0l o 鸯0k2 近焦片f a2 0o 五3 t 2 2 2 投影镜头 简片c c6 04 o ol2 中间片c d8 01 0 ，0 0 t 5 2 3 处邂镜头 捺片c c6 04 。0 eb 2 中淘片c d8 01 0 。0 0 黾 2 4 复印镜头 翦片c c6 04 t d 2 中间片c c6 04 0 0n2 5 近媳熊缝 物镜e c6 0瘁。0 0h2 蒗2 4 不弱露途竞擎嚣l 串豹藏癌要求 1 0 错汪大学预士谂文 续褒2 q 棱辘c 84 01 6 0 t 3 2 6 照徽镑镜光栅f a 国，2 5 0疆2 5 t l i 7 瑟镱c es 04 鞠孔2 s 场蘩f a 奄，2 s1 0o + 2 5 t l 2 9 激掇f a o 2 5l oo 2 5 t l 2 l o 光栅f a o 2 51 0o 。2 5 t l l 1 1 反射镜 激光戚射镄f a o2 5 1 0o 2 sr 1 l 其他眨射镜c a2 0o 6 3 r 2 2 麟内艇瓣镶f o ! o50 + 1 0 r l 0 s 3 5 愿一r l23 尊，8 1 23 5 勰1 23 5 嚣1 2 3 脚s 耀l 童 1 2 瓤辨党擎转 盯，群越粼“搬酆硪“嘏 落鲻镜c b c 4 0 6 0i 鳓4 l o o r 2 一r 4 3 5 中阕镜f c d6 昏8 04 * l o 8 0 - r 5 3 ，5 遥焦点f 8 c4 0 一 6 0 4 。o 密 丸3 一s i 3 激光透镶 蕊功率透镜e a2 0o 6 3 琵 2 瀚勘漆透镜f a 。0 2 5 l o0 。2 5 t 1 1 4 平行平扳c 分光板c c6 04 t o ot d2 滤光镜r c6 04 o oh2 盒板f b4 01 6 0b2 全惫黧妖f a 2 0 0 6 3 己 2 篓豕瓣f a2 0o 6 3 蜀 2 密疆e b4 0i 。 t 3 2 偷掇片f a2 0o 。6 3 t 2 2 1 5 錾片 毙魄攘测器基片f a o 2 5 oe ，2 5 甬 2 虢饽f o 。 o5。 0 r l 0 。5 1 6 光纾元f ! + a 。0 ，2 5 。 o 2 5 r l l7 鼹镳 玻璃眼镜c a2 0o 6 3 b 2 塑料鼹镜c a 2 0 o 6 3 t 2 2 附加片f b4 01 舯 t 3 2 1 8 聚光镜e d8 0l o o ob s 1 9 披天镜e c6 e4 0 0t a2 2 0 耱护羧镜e o 8 0 撼； 黾 2 2 2 豳内羚现有疵瘸检测方法 麓麓瑷代汔学溅量技术筑发骚，对光学等鞲滚露 孛的趣工毒了嚣凳鹜翔懿要慕。黼 时为了畿够逶斑获速、蕊便、蠢效豹稳溺蘸掰，夭熬壁毙学元罄袭蠢癍瘸羧验戆鸯动德 n 游 工大学磺圭论文 将是适切浠要的。近年来，国陡外一些技术人员程标准制定及检测方法与技术研究方嚣 做了不少疆并究的工作，探索出了些疵病检测的方法。 目前，光学元件等精密元件表面疵病的检测大都数怒根据疵病对光的散射性质来进 行8 瓣，并且戮教射竟袋豫法为蓥本簸理豹殛多。下嚣磋攀了a 中露瑟煞表琵疲凌梭浏 方法。 2 2 。1 光学零件表面疵瘸的传统检验方法：目视法 该方法楚在蹬骛最鄹亮黑鞠条俘下，虫狻骏入受薅褫羧或镶靠一定倍辜蕊薮大镜对 零捧进行强税检轰。另努还有瓣方法，帮法醒方法。窀蹩用人陵翊簸够分辨疵瘸对照 射到撵品上的光强来鲻分疵瘸的等级。 目说法怒最原始的表面藏稍硷测方法，检测方法简单，检测环境臻求低，仪器简单 甚至是无仪器的辅助办可以进行。但是这种人工瞪税检验方法嫠有明鼹的主双性，梭验 囊鲎不稳滋，嚣置久霾懿劳动强发丈，工律兹率翳，著基辩捡溅天虽豹鼓零要求遣镶离， 一般都廷由经验丰富的检验人鼠来操作。在目前擒倡自动亿检测、快滚商效的科研工作 时代，浚种方法已没有发展的空间。 2 2 。2 激光衍射图样谈别法 出于光学零件衰西疵病麴尺寸一般很小，一般来说都逾在卡分之一壤米以下。因此， 当激光入射到疵痪上时，就会h 产生明显的光 ：i _ 射瑗敷。巍衍射匿榉与癜瘀的几何形状密 切相关4 ”。函而，我们就可以根据所得到的衍射阁样来判断疵病的形状。 利用溅瘸躲激光衡射图样谈剐进行疵瘸检验，阿黻目时捡出疵瘸黪葶孛类帮尺寸。该 裣验方法遥合予硷验透凌帮乎褥嚣形巍学零董串。魏方法在巍鼹设诗串慕瘸垂旋竞线 霉捂 方式，可以明显提高擦痕的梭骏信噪比。 2 2 3 低通滤波成像法 凌方法篷逶遭寿疆酶裁稼琵绞或太为热入夔先阑滤狳窆阗蔟攀驳褰麴残露光寒，并 由成豫系绕把待测蕊成像到接收嚣上，由于疵瘸散射光中离频成分者柱很大一部分，因 此，疵瘸在像爵上成的是略像，其暗豹程度与疲瘸瓣大小骞关。剥璞j 琏：原理，目前主要 用比较法来判断疵病的大小，比较法1 9 2 0 是通过将被检表面疵病与参考谳标准疵病之间 蛉魄较德囊的划痰鲢等效宽浚域瑟坑鲍等效点童缀，英王露原理见罄2 。l 。 一一登骚杰黧璧主篓塞 l - | 蟹 忡忡忡q 巷 一i s 23 5：“ llhk ! l v ll矿l l j 曼虮一， 毙覆辐王 张3 赞羲4 ，1 8 藏锨基藿黻端1 2 ，土薰| 8 掌零撼l 奇- l l 慧蠢捧i # 震瓣薯l 尊空赫擅馥器1 7 囊纛撬 剖2 + j 显撇成像比较法测疵痫原理示意闰 在比较法中，一束平行光被偏掇分光镜分为两束，一束照到被检样品上，另柬照 掰到参考瑟上，两鼹光返强厝在i v 上爨烟。在t v 上接收到的光强如”f ： 被测西上的疲病：( 1 一r ) c o s 2 毋+ 嚣s 汰2 挣 参考谣上的凌病：彳c o s 2 8 + 雷( 1 一r ) s 融2 秽 冀中 ，分澍为骏捡委移参考霹上懿癣瘸散黪菸静竞强篦拳。诿节镛撵器1 5 骥两者凌 瘸鼹霹觅瘦稳嚣，势转动骟薮嚣4 溥除镳援器1 5 对鹜豢竞鹭诿麓，筵薅鸯；，r 。蹬：秽， 鼯我稻可敬褥到梭测徉菇蜜豫与参考剿痰强像豹可觅度之笼，与攘振器i 5 工髂辩所在 角度秽的l f 切值、乎方成f 比。逶过r 聪对藏的已矢鬟线宽和毋角就可得蜀疵瘸熬等散绂窝。 刹用比较法可以直观的实现检测的豳的，但是对于小的疵病其散射出去的光的黢量 少，精确度受背景光的影响大，在这种情况”f 只有大幅度提高成像系统的放大倍数菇熊 邋j 嫩，而相对的其被检孔径就会减小。 与低通滤波洼相对应的有高通滤波成像法，印在成像系统中加入光阑阻糕低频成 分，傻褥疲瘸散射竞的薅频成分在楣蔼上成亮像。 2 ，2 。碡鸯适藏f 。疆r ；e r 滤波戚豫法测羹毙攀元髂表嚣瘗病 戴方法与离通滤波法有楣强之处，可麓作是赢逐滤波法的一个改避。在披捻袋嚣中， 罐江夫攀颟士论文 袭蕊疵瘸产生的散射光能量角分布较为分散，薅其它形变产生的敖瓣光糍量角分布相对 集中，科鲻遮一数菇毙祷褴，褥滤波成豫系绞数馋黧野蠢豹髭瘸毒i 搀戒欺有怒蔽豫悫紊 中空间频率为低频的成分滤去，仅让其肖疵瘸信惑的高频成分到达像西成像，此时在成 像系统鳃像凝上爵瑟裂翡楚渣鸳景上静畿瓣癜病盼像3 异1 。逶过搽测戏溅察疵精的不蕊 骥麓程凄及大，i 、和雩l 入赘党罴舔努寒戮鼗瘸瘸懿大小鞠缝蒺，葵装震示懑国懿麓2 矗。 从被溅物l 窭来的光被分裁掰束，煮按避过的光索照射到空闻调制器4 上，蔽射光被 摄像机接收，间时把接收信号输入计算机中，计算机把输入信号加以处理输出控制信号 去按铡空阂诞豢l 器，仅谴带骞癍痍甾惑辫敬麓必频赘瓣巍运过，这榉藏在豫嚣上鹣缀只 剩下疵痫楚巍的了。 1 靛潮伟瓠s 邀螺l 挣激憾囊简调嚣餐 羧姨嚣纛象挺8 瓣纂燕嚣蒹境 鬻2 2 爨适癌f 。u r i e r 滤波成豫浚獠涮癌瘸示意爨 自适应f o 砒i e r 滤波成像法中使用分光板限制了敞射光的接收张角，能很好地抑制 赣痰癍( 除凝凝度筛) 产生懿散瓣光，城少了鹜爨必麴影璃，捩焉凌像嚣上仪蠢癜瘾熬 藏像，便予戏祭。褒表蔼糨稳凄较夺瓣清况下，该方法的检涎精度憨够遮到较高甏求。 2 2 5 冀他疵病检测方法 癌瘸检测发震囊今，辩磷王箨者销已经攘攥爨巍实黢褥密了一黧实耩匏稔羧方法。 利用疵瘸教射光成像特性检测，除了上掰的几种典型的检测方法外，还露虚像憋加毖较 漆就、痰瘸表鞭拣辩法检测5 铸。 豫了数瓣光戏豫法之辨，还可裁爝散辩光翅谱分褥来捡灏癃瘸。经实验骏诞，瘦瘸 产生的漫敬射光主要集中在个较大的立体角内，在这个立体角内接收的散射光趋浸散 1 4 湖汽太学碳士论文 瓣光，邀遂对它熬分辍可以在一定麓强爨妻蓦瓣分枣嚣痰痰大小兹接髑2 弛4 。糕耀癜虢毅龛孛 毙静遂穆性，薅苏联承一些秘磅王1 f 馨懑赞窕褥蹬了惩漫散射港接蔽法象捻验袭蕊瘢 攥，并牙笈窭赣癜抟蔽嚣靛嚣”。魏羚逐蠢建溢按嫒洼，逶遵露羧羧翡疵瘸教戮毙鹣热 灌遴毒亍分褥来褥检验表嚣穰瘫羚大枣弱魏蒺2 5 氆。 鏊予全积分羧霪垂t s ( 心t 蕾i n t 。g 赋s e 毪狳毪骶s ) 按零2 7 寒棱骚精密蓑甏瘀瘸瓣方法 怒一晕中较为普遍鹃方法。并鼠该方法舄袭谶戚瘸检验的图际标准制定方法相致，燕鼹 翠方聚用的疵瘸检验评价标准也是繁予全积分散射t i s 投术而得到的。具体方法肖撼予 念糨分散射聪s 菠寒戆番静扫獾鼗瓣鼹徽髓铡稻枣盈径激怒寨及半球渡集散辩光缆浏装 粼，劳置数字能。 瑙麓豪嚣瘸瘸黠溅竞戆辩疆避豁分褥“亦霹鼓剿粼袭瑟癜囊熬一些特蕊，粕激搬赫 辩谖剐、激竞予涉壤豫轮爨纹篱。在鬟簿燮产艇王中遵摸索毽一些突繇套矮懿梭测方法， 裁涮越京线嚣攘壤寒竣涎。 爨终还彗圭蘑溯量竞擎元 孛裘甏轮簿鹁靛嚣( 懿簸蟹式表嚣凳瘸蔽、党警轮瓣蔽、 瓣滋摆糖照徽镜、舞i 予匆囊赣穗薅) 寨测漂嚣棒表甏弱疲瘸，惩熬戚稼法潲餐露伟遗 郝疵瘸，偿韪这蹙仪器涮羹范围小、速度裰、代价赢。在其体应用中不能襁好的摧广， 徽在凝锩到小范嘲瘸病进行检测时不失熊礴糟度溺量的俊势。 2 3 现裔疵病检测方法的缺晒筒不足分析 璇抒专门罔寒裣验鬻密元释裘箍瘸瘸的仪器太多鼗是黧绕饕凌瘸辩竞瀚敬瓣靛襞 袋潮俸嚣：其中丈多是褪攒毙散射鹃袭颡骥壤泉剡繇癜痪熬严重程瘦。秘建褰溅黪麓嚣 褥察的癌瘸霹焘鼗囊孛赘袭瑟犍囊鑫愁羧发簸溺国袁建，要黎逮一步甏囊耩发，必缓嚣 满楚疲凌黠党楚翔每俸麓髓，也裁楚袋雾满敷瓣竞翡霸努蠢与精密元辞斡秘糕、菇形、 波缎壤、袭西凝撩褒及藏癌鹃落拔器穴夺乏溺熬蓑系。这羲嚣要褒实验稳理谂弼夸方嚣 深入研究，以建立完善可靠瓣数学横溅。瀵避对模型的分橱及对瑗行排除干扰方法的磷 张，谬找摊除= f 攘的最佳办法。在媳然础上，只要瓣数学模型进行适当的避 默处避簸搿 馘离遵度低代价达到对疵辅检铡的潜糟攫。黼黼，在散射光的角分布与精密元件的磷形、 波皴艘、裳丽糨糙度抟关系方丽已经露入徽7 较为漾入的硬究嚣，但是在教射搬与癜 瘸瓣形状、大小麓关系方露嚣遣露天佟了鞠步静探讨9 ，经楚怒稍都是舒对麓体的菜一 澎状薛潼滤避霉亍分橱豹，弼对于慈侮荠没窝撼蠢套蓬鲶凝霆方法，毫褥子深天掰巍。 黢泰诱，囊密表委痰瘸太小在擞瀑爨缀，冀蹿毙静毂蓑簿瞧遵覆蔻露淹攀躲遴。 浙；王大学硕士论文 从定量上应用几何光学解释表蘸疵病数射特性，善先必须得到疵痍的具体几何尺寸和形 状特陡。对于一般随机的表面尺寸，这些特性很难一一求得，这也给表面疵病定量检测 带来许多困难。 现行的检测方法主要以人眼直接观察疵病图像而来判断其性质，因此观察莉的主观 性被带入了实验中，同时这种方法的效率是值得怀疑的。而利用直接经光学系统得到的 疵瘸图像来判断癃病性状就不受会g j 入较多的误差。 在目翦具l 搴的检验方法中，有借鉴之处，亦有许多翔题需要进一步研究解决以适应 整个行业发展的霈要。对于被检表面，目裁的捡验方法主要针对小口径表颈，对于大口 径表谳的疵病检验均有许多不足，不能够满足大口径表面检测的需要。而大口径光学元 件正是目前光学应用系统中发展的主要方向，对其表面疵瘸的高效快速的检测已经成为 亟待解决的任务。检测装置光源及系统与国际标准不统一，疵病定标不严格或不精确， 这些闻题的存在对疵病的无确评价和量亿带来不乖j 。疵病经光学系统后其放大或成像均 不是籀单携线性变化鲍。要对疵病有一个正确的量化评价，严格完整的定标工作幕常重 要，势且疵病检测的环境要与国际评价标准制定的环境相一致或是等同。在工业产业诧 发展的今天，疵瘸检测自动化数字化评价是必须的，但在实际工作中，这方丽弗不理 想。在整个数字化系统漫计上还需改善，数字化处理方法上还需提高。随着光学加工、 光学应用领域中对产品系统精度要求的提商，在疵病检测精度上人们也提出了更高的要 求。此外，醋前的检测装黉主要是针对直接观察而设计的，那么对于图像的采集是否合 遥，能否采集的到高质量的鹜像用于数字化处理，还需重新验诞。 浙江犬学羁甄士论文 【参鸯文献】 1 簸名燮，豫德嚣，兜学元嚣：的疵癌竣验与磷究砜袄，光学仪器，i 鹳6 ( 3 ) 2 聚定餐，毙学零蛾：表嚣溅薅鹣表谖，激光与抟辩，2 0 ( 2 ) ，舜2 3 一1 2 3 。沈卫星，楣千滤波成像系统测量光学元传装蕊斑痫，光攀技术，2 o ( 4 ) 4 ，戴爨攀，爨闻喜，滋毙舔瓣剿样识剐法检验巍警零蟀波嚣爨癍，光学技寒 5 毛元庆，表西疵病朐掠射法检测，威阁激光，1 9 9 8 ，1 8 ( 2 ) ，p 5 5 5 8 p 3 3 3 6 蛰3 6 l 一3 6 5 1 9 9 8 ( 4 ) ，嬲一8 6 张浇，杨国光，光学表面疵病的激光频谱分析泱及其自动梭测仪，仪器仪表学报，1 9 9 4 ，1 5 ( 4 ) p 3 9 6 3 e 9 7 攀义安，鬓家标准光学霉髑+ 表嚣瓣瘸静实施，电光与摭涮，1 9 9 9 ( 1 ) ，p 5 8 6 2 8 m 嚣挂￥。鞋婚叮h 搴s e f a 馥s 锄d 蕊 s0 n l y 盎c o s 越崩s t 麟则”，戳o 骓s ，1 9 8 5 ，p 搭 莲e 9 。p 肆u le 蹦n 鐾s p o r n ，”d e t e 勰i ；o no ft h ed t 黜艇档醴a nl 瓣 a 1 8 ds 蝌如e 脯f e c tb 檄d 雠黝弧。妇 d i 衢a c 专l 。，a 弹黯d0 p t o s ，】o ，l 截9 ) ，p 4 3 5 * 1 4 3 8 1 0 f a b r _ z i ol - b e r a t i 。“m e a s u r eo fs u r 融c ea n db u i kd e f e c t s ，na n y1 r a n s m i 【t j n go rr e n e c t i n go p t i c a l e 鳓l p