（微电子学与固体电子学专业论文）40ghz+gaas行波量子阱电光调制器的研究.pdf

浙江大学硕士学位论文摘要 摘要 ( 国际上，国家主干网从1 0 g 向4 0 g 的转变已呈蔚然之势，各著名实验室和 国际知名厂商都以4 0 g 以上高速设备为研发和生产重心：我国随着对通信系统 容量的急剧增长，主干网也势必从2 5 g 向1 0 g 以上的速率转变。这对光通信 、 的核心器件之一的光调制器，提出了更高的要求升本论文采用行波量子阱结构 i 来设计4 0 g f z 的电光调制器。 、一。 为实现高带宽，低驱动的要求，本论文着重在量子阱的光学特性和器件的 一 微波特性两个方面进行了深入的研究。 本论文首先根据量子限制s t a r k 效应，发展了等效宽度思想，提出了把单量 一一一 予阱结构的有限深势阱的分析转化为无限深势阱模型的显式公式，从而大大简化 了电场下量子阱结构的分析；接着利用转移矩阵，把周期性的量子阱结构简化为 三层结构，得到了实际采用的非对称三阱结构量子阱的场分布，并讨论了量子阱 结构的偏振特性。与此同时，本论文还分析了该量子阱结构的吸收特性。 本论文接着分析了器件的微波特性。虽然由于金属的趋肤效应，电场将集中 在金属表面，但在4 0 g 以上的频率条件下，金属的厚度和趋肤深度在一个量级， 而且此时调制器带宽受到限制的最大根源来源于金属电极的微波损耗。为此，论 文着重分析了共面电极的厚度与有限电导率对行波调制器的微波特性的影响。 【文章同时还利用f d b p m 法初步分析了各项异性材料中的电场的静态分布， 为提高电场与光场的耦合因子，减小半波电压奠定基础。 在上述的分析基础上，我们制作了行波量子阱干涉型高速调制器，并初步测 量了器件的静态特性和频率响应曲线。1 厂 塑望查堂堡主兰堡笙苎垫矍 a b s t r a c t t h eu p g r a d eo ft h eb a c k b o n en e t w o r kf r o mt h e10 g bt o 4 0 g bh a sb e e na w o r l d w i d et i d e m a n yl a b o r a t o r i e sa n dc o m p a n i e sa l lo v e rt h ew o r l da r ef o c u s i n go n t h er e s e a r c ha n df a b r i c a t i o no fd e v i c e sw i t h4 0 g h zb a n d w i d t h i nc h i n a ，w i t ht h e d r a m a t i c a l l yi n c r e a s i n gd e m a n do ft h ec o m m u n i c a t i o nc a p a c i t y , t h ef u t u r eb a c k b o n e n e t w o r kw i l ln od o u b t r e l yo n1 0 g b b o rf a s t e rd e v i c e s t h i st r e n dm a k e si ta p r e s s i n g n e e dt od e v e l o pm o r e p r o m i s i n gm o d u l a t o r s ，o n eo ft h ek e yc o m p o n e n t si no p t i c a l c o m m u n i c a t i o n s i nt h i sd i s s e r t a t i o n ，an o v e lm - z h i g ls p e e dm o d u l a t o ri sp r o p o s e d ， a n a l y z e d ，f a b r i c a t e d a n d m e a s u r e d ，e m p l o y i n gm u l t i p l eq u a n t u mw e l l ( m q w ) s t r u c t u r e sa n d t r a v e l i n gw a v e ( t w ) e l e c t r o d e s t om e e tt h ed e m a n do fl o w v o l t a g ea n d w i d eb a n d w i d t h t h ep e r f o r m a n c eo fm o d u l a t o r se m p l o y i n gm q wi sg o v e m e db yt h eq u a n t u m c o n f i n e ds t a r ke f f e c t i no r d e rt os i m p l i f yt h e a n a l y s i so f m q w , w e o b t a i na l le x p l i c i t f o r m u l ac o n c e m i n gt h ec o r r e l a t i o n sb e t w e e nt h eg a a s g a a l a s q u a n t u m w e l lw i d t h s “矗i l i t ep o t e n t i a lb a r r i e rs t r u c t u r ea n dt h o s eo fi n f i n i t e p o t e n t i a lb a r r i e rs t r u c t u r e u n d e rt h ec o n d i t i o nt h a tt h eg r o u n ds t a t ee n e r g i e sa r ee q u a la tz e r ob i a ss t a t e s t h e n t h et r a n s f e rm a t r i xm e t h o di su s e dt oi n v e s t i g a t et h eo p t i c a lf i e l dd i s t r i b u t i o ni nt h e m q ww a v e g u i d e b a s e do n f i v e - s t e pa s y n u n e t r i cc o u p l e dq u a n t u m w e l ls t r u c t u r et h a t i s r e a l l y u s e di nt h em o d u l a t o r i td e m o n s t r a t e st h a tt h i ss t r u c t u r es h o w sl a r g e b i r e f r i n g e n c et h a tn e e d sm o r ec o n s i d e r a t i o n t h ea b s o r p t i o nc h a r a c t e r i s t i c sa r ea l s o b e e nd i s c u s s e d i nt h i sm o d u l a t o r , c o p l a n a rs t r i p s ( c p s ) a r eu s e da se l e c t r o d e sf o rt h e ys u p p o r t b a l a n c em o d ep r o p a g a t i o no fm i c r o w a v e ，a n dt h i si sad e s i r e dm e r i tf o rc o m m o n o p t i c a lm o d u l a t o r d u e t ot h em i n i a t u r i z e dd i m e n s i o n s ，t h em e t a l l i z a t i o nt h i c k n e s si s i nt h eo r d e ro fs k i nd e p t ha n dt h ec o n d u c t o rl o s s e sa r en o tn e g l i g i b l e t h e r e f o r e ，t h e m e t h o do f l i n e si sa p p l i e dt oc h a r a c t e r i z et h ei n f l u e n c eo f m e t a l l i z a t i o nt h i c k n e s sa n d c o n d u c t i v i t yl o s so n t h ev e l o c i t ym a t c ha n d i m p e d a n c e m a t c h m e a n w h i l e ，w e d i s c u s st h es t a t i ce l e c t r i cf i e l dd i s t r i b u t i o ni n a n i s o t r o p i c m a t e r i a l sc a u s e db yt h ea p p l i e dv o l t a g eo nt h ee l e c t r o d e s ，w h i c hw i l lh e l pt od e c r e a s e t h ed r i v i n gv o l t a g e f i n a l l y , t h e d e v i c ew a sf a b r i c a t e d d u r i n g t h ec o u r s eo ft h i sr e s e a r c h a n d m e a s u r e dd a t a ，i n c l u d i n gt h es t a t i cr e s p o n s ea n d s p e c t r u m ，a r e o b t a i n e d - n - 塑坚查兰堡! ：兰些鎏茎笙二垦二鳖堕 第一章综述 1 1 引言 2 0 世纪以来，信息技术是依靠电子学和微电子学技术而获得迅速发展的。 但随着高容量和高速度的信息发展，电子学和微电子学遇到其局限性。由于光子 的速度比电子速度快得多，光的频率比无线电的频率高得多，为提高传输速度和 载波密度，信息的载体由电子到光子是发展必然趋势。光通信的兴起和它在近二 十年来的飞快发展，已使人们认识到光电子学技术的重要性和它广阔的发展前 景。移动电话、卫星通信、无线通信和光纤通信将形成一个陆海空立体的通信网。 宽带化、个人化、多媒体化的综合业务数字网( i s d n ) 获得很快发展。有线通 信始终是量大面宽的信息传递手段。由于因特网和多媒体技术的迅速发展，线路 上的通信容量骤增，数字电信量这几年以年增长3 5 的速度上升。 对集成光学的应用先后经历了模拟、数字、光纤传感器三个市场阶段，但是， 现在一些新的市场商机正在出现，也许最大的市场份额将是通讯行业，其中集成 光学器件将被广泛应用于数g b s 的数据传输、信号分路、环型分布、双向通讯 模块等。第二个新市场将是c a t v ，其中集成光学器件将被用于基于光纤的信号 分布系统中的外调制中。第三个主要市场是仪器仪表，一个主要的应用是光纤陀 螺。对于光纤通信和光纤陀螺两大应用而言，现在世界上主要是美国、日本两家 的市场。美国将其兴趣主要集中在c a t v 和其他模拟的光纤连接应用中的集成 光学技术，把“电子和光子材料”，“微电子学和光电子学”列为国家关键技术。 而日本，如n t t 正全力推行光纤到户( f t t h ) 的设想，这一设想推动着通讯环 的应用。 我国在1 9 8 6 年经中央批准的8 6 3 计划中将光电子器件及其集成技术选为信 息领域的三大主题之。在高技术的支持下，我国信息光电子取得了重大进展： 关键技术量子阱材料和量子阱器件的研制已取得决定性的突破，该项成果被评为 1 9 9 6 年电子十大科技成果之一；掺铒光纤放大器、量子阱和d f b 激光器及高速 光收发模块、大功率半导体激光器及其泵涌的绿光固体激光器和高亮度红、橙、 黄发光二极管等一批重大重点课题取得重要成果，已进入转化为产业的新阶段： g a n 蓝光、l e d 和l d 、d f b l d + e a 光子集成组件、g e s i s i 材料和量子点器件， 塑兰查兰婴主堂堡堡苎；塑二主二堡蓬 面发射激光器等致力于技术创新的课题取得显著进展，有些项目如四方相g a n 材料、l e d 器件及d f b l d + e a 光子集成器件，应变量子阱半导体光放大器等达到 国际先进水平。这些成果，特别是量子阱技术的突破给今后的发展创造了良好的 条件。 正是由于8 6 3 计划的支持，我国在信息光电子领域的高技术研究开发方面缩 短了与国际水平的差距。同时，在高技术的支持下，批光电子成果转化产业基 地逐步建立，如北京中科院半导体研究所、石家庄电子部1 3 所、武汉邮电科学 研究院、中科院长春光机所及深圳的开发科技、飞通公司等，它们在产学研结合 促进科技成果转化为生产力、促进科研院所的体制改革向企业化转轨等关键问题 上都迈出了大步。这些成果转化基地正在成长为我国信息光电子的产业群体，其 相关产值和营销额有较大幅度增长。1 9 9 8 年，光电子产业实体的市场营销额己 超3 亿元人民币，全部为光电子高科技产品，较前一年翻了一番。 1 2光调制器的广泛应用 为把电信号加载到光上送到光纤内传播，必须经过调制将电信号转换成光信 号，因此电光调制器已经成为信息高速公路工业中实际可用的硬件。像台式电视 会议、适合商业和教学目的的带图像要求的多媒体，正在对远距离通讯的带宽形 成按指数增加的要求。个单模光纤的潜在带宽约为1 0 1 2 b i t s ，因此瓶颈是在其 光学组件，特别是电光调制器将成为信息高速公路最重要的硬件之一。在1 9 9 7 年，南加州大学成功地制备和表征了响应超过i i o g h z 的高带宽聚合物调制器， 这个原型器件被用于传送了8 0 个频道的n t s c 视频信号，信噪比高于5 3 d b 【i 】。 电光调制器除了用于高速网络外，在低带宽系统中，如社区电视( c a t v ) 也被广泛使用。c a t v 传输系统的功能是将中心站各种电视信号转送到众多的用 户或收集低带宽系统的信息并返回到中心站或中问站，因此外调制器是必不可少 的器件【2 1 。 调制器在相控阵列技术和计算机系统互连中也有着广泛的应用。 相阵列雷达系统是一个通过电操纵光束的相位移而进行接收或发射信号的 天线阵列【3 】。它具有高的方向性、高灵敏度、快速、易控和维修容易等优点。可 快速定位的相控阵列光学时间延迟网络是各种应用的关键组件。光电子学开关、 浙江大学硕士学位论文第一章一综述 调制器和波导是延迟线的主要部件。按照中心频率的不同，不同目的的相位延迟 雷达使用不同的频率；超高频( h u f ) 到x 频带频率用于地面和船舰天线，毫 米波频率用于航空航天应用。航空航天乃至太空应用要求更加密集和轻便的器 件，因此研究开发光电子学实时延迟线的主要目标是最终研制出高性能相位延迟 系统，以大大简化控制系统，减小体积和质量，降低成本。 随着计算机处理速度继续增加到超过1 0 0 m h z ，在信息处理机以及到外部设 备之间的数据传送，经常成为限制因素。近来，人们研究用激光二极管和调制器 阵列来进行平行互连f 4 】，因此高速和可集成的调制器对这种平行互连是特别有吸 引力的。 此外，高速相位调制器还可用于相干光纤通信系统，在密集波分复用光纤系 统中用于产生多光频的梳形发生器，也能用作激光束的电光移频器；在光时分复 用( o t i ) m ) 系统中用于产生高重复频率、极窄的光脉冲或光孤子( s o l i t o n ) ， 在先进雷达的欺骗系统中用作为光子宽带微波移榍器和移频器，用于高速光波元 件分析仪，测量微弱的微波电场等1 5 j 。 在对当前和将来的光调制器市场进行分析的基础上，e l e c t r o n i c a s t 于2 0 0 1 年 1 2 月份做出了一个新的市场预测。在2 0 0 1 年到2 0 0 6 年的五年内，光调制器市 场将以每年4 0 3 的速度增长。到2 0 0 6 年底，将形成1 3 7 亿美元的市场。在六 年的时间里，光调制器产量的迅速增长将抵消其单价下降造成的损失。在接下 去的6 年，将保持2 2 1 的增长速度，到2 0 1 1 年，将达到3 7 亿美元。在此期间， 消费的重心将逐渐由北美向贬洲转移；而在其中，中国的长距离，高速网络的发 展将对此起关键的作用。到2 0 1 1 年，日本太平洋地区将占有3 8 6 的市场份额。 e l e c t r o n i c a s t 分析道：在此期间，两种光调制器将主宰市场：电光式( e o ) 调制器和电吸收式( e - a ) 调制器。电吸收式调制器将在单片集成上获得发展，而 电光式调制器会在混合集成上有很大的应用。1 9 9 9 年，电光式调制器占据市场 的份额近7 0 ：2 0 0 1 年，占6 0 ，而到2 0 11 年，电子吸收式调制器将成为主体， 占整个市场的5 2 以上。 1 。3 调制器的研究进展 光调制器是光通信传输中实现信号在光与电子载体之间转化的核心器件。实 塑堡查竺堡主主堡笙壅兰二兰二簦堕 现光调制的方式很多，比如热光，磁光，电光等。其中电光调制是其中最主要， 应用最广泛的一种。它根据非线性光学材料的折射率或吸收系数的变化而设计。 1 3 1 调制器的性能指标及其意义 带宽 带宽是调制器的一个极为重要的指标，而且随着通信需求的日益增 长，对器件的带宽的要求也日益提高。 带宽是指，在器件的频率响应中，输出强度下降为直流响应的3 d b 时候时的 频率。如图( 1 1 ) 所示。其带宽为3 7g h z 6 1 。 图( 1 - 1 ) 量子阱调制器的频率响应 为更深入了解影响带宽的因素，采用等效电路是一种有效的方法。如图( 1 2 ) 所示： 图( 1 2 ) 量子阱调制器的等效电路 该电路的频率响应如图( 1 - 1 ) 的虚线部分。由此可见，两者非常接近，因此通 过分析该等效电路，可以得到提高实际器件带宽的方法。 由电路的知识可知，该回路的带宽可表达如下： l 屹一。2 x r c i o o 其中r 是电源的电阻，c m o d 是调制器的寄生电容。由此可见，提高带宽的 最有效方式是减小电容，比如减小器件的面积，或者增加电极间距。但后者往往 会引起驱动电压的增加。而更有效的方式是采用行波电极结构，使电容成分布式 分布。关于行波电极，第三章会有详细的介绍，在此不赘述。 损耗不考虑光纤的连接损耗，我们可以用输出光强度与最大输入光强度 一 一 塑垩查堂婴主兰垡堡兰墨二至二堡望 的比值来衡量调制器的损耗。 器件的损耗有很多种，比如耦合损耗、传播损耗、电极损耗和光波导弯曲损 耗。假定光纤和波导间具有良好的对准状态，耦合损耗产生主要有两个因素， 是耦合界面的反射，二是光纤模和波导模式间的失配。比如半导体波导的折射率 为3 5 ，空气一波导之间的界砸损耗的就有3 0 ，即有近3 d b 的损耗。这可以用 折射率匹配液或在界面镀膜来解决。现在这方面的损耗可以减小到o 1 d b 。 传播损耗是由光和半导体中的载流子相互作用而产生。对一般的介质波导， 传播损耗极小，但对量子阱结构的调制器，它是一个不容忽视的损耗来源。无论 是电吸收型还是电光型，由于k k 关系，在产生大的折射率的同时，也同时产 生大的吸收系数。在选择合适的波长的条件下，设吸收系数最小为口。那么此 时的传播损耗为： 乙，= e x p ( - f a 。上) 显而易见，波长离量子阱吸收带边越远，损耗越小。但与此同时，吸收系数 的改变也越小。因而折射率改变也越小【7 ，引。因此，无论对于电吸收型调制器， 还是电光型调制器，都存在一个选择合适的波长的问题。 电极损耗是指电极覆盖在波导上时存在对光场的吸收。因此现在设计的器 件，一般都考虑在电极与波导之间加缓冲层，以减小电极损耗。 消光比强度调制的一个重要指标为消光比( o n o f f r a t i o ) 。即开态与关态 的输出光强的比值，对横向器件，消光比r 为： r = e x p ( a a l ) 其中a a 为从开态到关态吸收系数的变化，l 为光和吸收材料的作用区长度， 显然，调制效率取决于一定电压变化所产生的a a 大小。偏压变化1 0 v 时，g a a s 体材料盯= 2 8 0 c m 一，而g a a s d a i g a a s 量子阱口则高达1 5 0 0 0 c m - 31 9 。正是由 于电场下激予吸收峰移动产生如此高的a a 才可能制作出高性能的量子阱电吸 收调制器。 但a a 大并不意味着大的消光比，因为l 也是一个不容忽视的因素。在早期 的量子阱调制器中，由于采用横向结构1 9 1 ( 如图( 1 3 ) 所示) ，即光传输方向与量予 图( 1 - 3 ) 横向量子阱调制器结构 阱层垂直。此时电场与光场的相互作用区不可能很长，否则势必导致器件的驱动 电压大增。实际采用的l 只有0 4 7 5 u m ，因而最终的消光比也很小。 为了提高作用区长度，可以考虑在器件的量子阱层两侧制作非对称f - - p 反 射镜面，利用光在镜面间的多次反射增加作用距离，这种器件称为非对称f p 调制器( a f p m ) i l o 1 l 】。 另外一种办法是采用波导结构，使m q w 层及其上下的覆盖层形成平面波导， 横向做成脊波导，光沿m q w 层传播。如此，l 的长度可根据需要选择，并同时 减小了驱动电压 1 2 , 1 3 】。 驱动电压 对于干涉型调制器，驱动电压是两分支波导中的光产生1 8 0 度相 位差时的外加电压。为了实现与现有的微电子线路的集成，要求光路的驱动电压 在3 v 以下。 1 3 2 从lin b 0 。到半导体量子阱结构 调制器的材料主要有l i n b 0 3 ，i i i v 族化合物比如g a a s ，i n p 等。最近发 展迅速的聚合物也日益受到重视。 l i x b 0 ，： l i n b 0 3 晶体具有3 m 晶体对称性，是单轴晶体；由于它的电光系数很大， 所以在调制器研究中，它很早而且一直备受瞩目。铌酸锂光波导一般是在铌酸锂 基片上采用钛扩散或质子交换工艺形成，其优点是：传播损耗低，一般为 o 2 o 5 d b e m ：模式尺寸与单模光纤能很好匹配，光纤与波导的耦合损耗最低可 以达到o 1 5 d b ；调制器和开关的驱动电压最低已达到0 3 5 v ：一般的调制带宽为 一 塑坚奎兰堡主兰竺堡奎墨= 兰= 堡蕉 几个g h z ，采用行波电极的集成电光调制器的带宽已达到4 0 0 h z ：在铌酸锂基 片上，已能构成几百个元件的开关阵列。 经过多年的发展，现在l i n b 0 3 调制器的研制已经产业化，并列入了国家9 7 3 计划；同时更新颖，性能更优越的器件也屡见报导： 1 脊型m a c h - - z e h n d e rl i n b o 。光调制器1 1 4 , 1 5 1 l i n b 0 3 有效介电常数很大，在速度匹配下特征阻抗往往大于匹配负载，图 ( 1 4 ) 为t i ：l i n b 0 3 光调制器的结构俯视图和截面图。采用脊型结构在于将作用 区的l i n b 0 3 换成了低介电常数的s i 0 2 和空气，可以使器件的有效介电常数大 大降低。如低电压型和宽带宽型1 5 5um 波长用的毫米波脊形t i ：l i n b 0 3 光 调制器。这两种调制器采用的脊型波导电极结构尺寸分别为：低电压型：电极 长度l = 3 锄、t i 扩散宽度6 p 、厚度9 0 r i m 、脊型宽度为9 pm 、高度3 6 um ， m 曩冲屡 n 图( 1 - 4 ) 脊形m a c h - z e h n d e r 型光调制器的俯视图( a ) 和截面图( b ) s i 0 ：缓冲层厚度t b = o 6i jm ，c p w 电极宽度w = 8ui n 、间距g = 2 5um 、厚度t e = 2 9 um 。宽带宽型：为了使c p w 电极的传输损耗更低，减小电极长度l = 2 c m ，其他 尺寸相同。低电压型的性能参数为：电信号3 d b 带宽3 0 g h z ，光信号3 d b 带宽 5 0 g h z ，以为3 5 v 。宽带宽型的性能参数：电信号3 d b 带宽7 0 g h z ，光信号3 d b 带宽1 0 b g h z ，屹为5 1 v a 哪电极l t i 扩散渡导 心曼受赢 ( a ) 俯视图( b ) 截面图 图( 1 - 5 ) 推挽型光调制器 - 7 - 塑坚盔茎堡主芏些堡塞墨二兰二堡堡 如果两条波导之间距离相隔2 5 0 掣皿可抑制串扰，如图( 1 5 ) ，中心电导宽8 胁间距2 5 f ，调制长度4 c m 。低频电反射低于一2 0 d b ，高频电反射低于一 1 5 d b ，3 d b 带宽为3 0 g h z ，采用单电极形式，半波电压为2 9 v ，推挽电极为1 5 v 。 2 行波反射l t l a c h - z e h n d e rl i n b o 。调制器 t 6 j t i 改变作用区长度的方法减小驱动电压方法由于受衬底的尺寸的影响而收到的 了限制，但是如果采用行波反射的形式可以使有效作用长度加倍，从而降低了驱 动电压。如图( 1 6 ) 当输入光和r f 波相互作用后到达干涉仪终端被反射涂层反射， r f 波也受同时被开路反射，所以两种波反射点的相位接近相等，因此两个方向 上电光速度匹配。宽带反射行波l i n b 0 3 光调制器，与同样电极长度的单程( 不 反射) 调制器的性能相比，反射行波l i n b 0 3 光调制器在工作带宽为2 0 g h z 时， 驱动电压为4 5 v ，工作带宽 4 0 g h z , ”e l e c t r o n l e t t ，v 0 1 3 2 ，p p 1 0 9 5 1 0 9 6 ，1 9 9 6 1 4 6 】r s p i c k e r m a n n ，s r s a k a m o t o ，a n dn d a g l i ，“g a a s a i g a a st r a v e l i n g 愀e l e c t r o o p t i c m o d u l a t o r s ，”i np r o c s p i eo p t o e l e c t r o n i n t e g r a t e dc i r c u i t sc o n f ，v 0 1 3 0 0 6 ，s a nj o s e ，c a ， f e b 8 _ 1 4 ，1 9 9 7 ，p p 2 7 2 - 2 7 9 【4 7 】j ，n e e s ，s w i l l i a m s o n ，a n dgm o u r o u ，“1 0 0 g h zt r a v e l i n g - w a v ee l e c t r o - o p t i cp h a s e m o d u l a t o r , ”a p p l p h y s l e r 5 4 ( 2 0 ) ，p p 1 9 6 2 - 1 9 6 3 ，1 9 8 9 【4 8 】m n i s ak h a n ，a g o p i n a t h ，j p gb r i s t o w , a n dj p d o n n e l l y , “t e c h n i q u e f o r v e l o c i t ，r - m a t c h e dt r a v e l i n g - w a v ee l e c t r o o p t i em o d u l a t o ri na i g a a s g a a s , i e e et r a n s m i c r o w a v e t h e o r yt c c h ，v 0 1 4 1 ，n o 2 ，p p 2 4 4 - 2 4 9 ，1 9 9 3 f 4 9 】s t a n k ot o m i & c a c u t e ；e o i np o r e i l l y , “o p t i m i z a t i o no fm a t e r i a lp a r a m e t e r si n 】3 u m l n g a a s n g a a sl a s e r s ，p h o t o n i c st e c h n o l o g yl e t t e r s ：a c c e p t e df o rf u t u r ep u b l i c a t i o n ， 2 0 0 2 ，p p ：l 5 0 】j i n ，s r ；s w e e n e y , s j ；k n o w l e s ，g ；a d a m s ，a r ；h i g a s h i ，r ：r i e c h e a ，h ；1 1 1 幻s ，p j a “o p t i c a li n v e s t i g a t i o n o fr e c o m b i n a t i o n p r o c e s s e s i ng a l n n a s ，i n g a a s pa n da 1 g a l n a s q u a n t u m - w e l ll a s e r su s i n gh y d r o s t a t i cp r e s s u r e ，”s e m i c o n d u c t o rl a s e rc o n f e r e n c e ，2 0 0 2 i e e e1 8 t hi n t e r n a t i o n a l ，2 0 0 2 ，p p ：8 3 8 4 【5 1 】b u r r , e p ：p a n t o u v a k i ，m ；s e e d s ，a j ；g w i l l i a m ，r m ：p i n c h e s ，s m ：b u r o n ，c c “w a v e l e n g t hc o n v e r s i o no f1 5 3 m i c r o np i c o s e c o n dp u l s e si na n i o n i m p l a n t e dm u l t i p l e q u a n t u mw e l la l l - o p t i c a l s w i t c h ，”l a s e r sa n de l e c t r o - o p t i c s ，2 0 0 2 c l e o 。0 2 t e c h n i c a l d i g e s t s u m m a r i e so f p a p e r s p r e s e n t e da tt h e ，2 0 0 2 ，p p ：6 6 6 - 6 6 7 5 2 1c h e n ，h d ；l i a n g ，k ；z e n g , q m ；l i ，x j ；c h e n ，z b ；d u ，y ；w u , i l h “f l i p - c h i pb o n d e d 2 5 - 一 竖兰查兰堡圭兰堡堡塞墨：二兰= 堡堕 h y b r i dc m o s s e e do p t o e l e c t r o n i cs m a r t p i x e l s ，”o p t o e l e c t r o n i c s 。l e ep r o c e e d i n g s v o l u m e ：1 4 7i s s u e ：1 ，2 0 0 0 p p ：2 - - 6 f 5 3 】j o n g l a ml e e ；j o n gk y uk i m ；k y o u n gj i n c h o i ；h y u n gm oy o o 3 3 v s u p p l y s i n g l e - v o l m g e o p e r a t i n gd o u b l e - p l a n a r - d o p e da i g a a s i n g a a sp h e m tw i t hd o u b l et h a n n e i f o r1 6g h z d i g i t a lm o b i l ec o m m u n i c a t i o n s ，”e l e c t r o n i c sl e t t e r s ，v 0 1 3 6 ( 3 ) 2 0 0 0 ，p p ： 2 6 2 2 6 4 【5 4 m e n e g h e s s o ，g ；g r a v e ，t ；m a n f r e d i ，m ，；p a v e s i ，m ；c a n a l i ，c ：z a n o n i ，e 。 a n a l y s i so f h o t c a r r i e r t r a n s p o r t i na i g a a s l n g a a s p s e u d o m o r p h i c h e m t s b y m e a n so f e l e c t r o l u m i n e s c e n c e ，”e l e c t r o nd e v i c e s ，i e e et r a n s a c t i o n so n ，v o l 。4 7 ( i ) ，2 0 0 0 ，p p ：2 - 0 【5 5 】c h e n c h ；c h a n g ，s j ：s u ，y k ；c h i g c ：s h e u ，j k ；c h e n j f “h i g h - e f f i c i e n c y l n g a n - g a nm q w g r e e nl i g h t - e m i t t i n gd i o d e sw i t hc a r t a n dd b r s t r u c t u r e s ，”s e l e c t e d t o p i c si nq u a n t u me l e c t r o n i c s i e e ej o u r n a lo n ，v 0 1 8 ( 2 ) ，2 0 0 2 ，p p ：2 8 4 2 8 8 5 6 】s t e i n l e ，q ；w o l f d ；p o p p ，m ；e b e l i n g k - j ”v e r t i c a l - c a v i t ys u r f a c e e m i a i n g l a s e r m o n o l i t h i c a l l yi n t e g r a t e d w i t h i n t r a c a v i t y m o n i t o rd i o d ew i t h t e m p e r a t u r e i n s e n s i t i v e r e s p o n s i v i t y , ”e l e c t r o n i c sl e t t e r s ，v 0 1 3 7 ( i ) ，2 0 0 1 ，p p ：3 4 3 6 5 7 】c l a r i e i ，g ：d e s m u l l i e z , m p y ；w h e r r e t t b s “a n a l y s i sa n dd e s i g no fv e r t i c a lc a v i t y b i n a r y p h a s em o d u l a t o r s ，”o p t o e l e c t r o n i c s ，l e ep r o c e e d i n g s - 。v 0 1 1 4 7 ( 6 ) ，2 0 0 0 。p p ： 3 7 7 3 8 i 【5 8 】t | i d o s t a n a k a m s u z u k i ，m k o i z u m i ，h s a n o ，a n dh 1 n o u e ，“u l t r ah i g h s p e e dm u l t i p l e q u a n t u m w e l l e l e e t r o a b s o r p t i o no p t i c a l m o d u l a t o r sw i t h i n t e g r a t e dw a v e g o i d e s ”j l i g h t w a v et e c h n 0 1 ，v 0 1 1 4 ，p p 2 0 2 6 2 0 3 4 ，1 9 9 6 【5 9 n m i n e o ，k y a m a d a , k n a k a m u r a , s s a k a i ，a n dt u s h i k o b o ， 6 0 o h zb a n d e l e c t r o a b s o r p t i o nm o d u l a t o rm o d u l e ，”i no p t f i b e r c o n f ，s a nj o s e ，c a 。1 9 9 8 【6 0 】o m o t o m i ，i k o t a k a , k w a k i t a , s n o j i m a k k a w a n o ，y - k a w a m u r a , a n dh a s a i ，“4 0g h z b a n d w i d t hi n g a a s i n a i a sm u l t i p l eq u a n t u mw e l lo p t i c a li n t e n s i t ym o d u l a t o r , ”a p p l o p t ， v 0 1 31 p p 2 0 3 0 2 0 3 5 ，i9 9 2 【6l 】k s a t z k e ，d b a u m s ，u c e b u l l a , h h a i s e h ，d k a i s e r , e l a t h ，e k u h n ，j w e b e r , r w e i n m a n n ，p w i d e m a n n ，a n de z i e l i n s k i ，“u l t r a h i g hb a n d w i d t h ( 4 2g h z ) p o l a r i z a t i o n i n d e p e n d e n tr i d g ew a v e g u i d ee l e c t r o a b s o r p t i o nm o d u l a t o rb a s e d o nt e n s i l es t r a i n e di n g a a s p m qw ”e l e c t r o n l e t t ，v 0 1 3l ，p p 2 0 3 0 2 0 3 2 ，1 9 9 5 【6 2 】k k l o i ，x b m e i ，j h h o d i a k , c wt u ，a n dw s c c h a n g ，“3 8g h z b a n d w i d t h 1 3 u mm q w e l e c t r o a b s o r p t i o nm o d u l a t o r sf o rr fp h o t o n i cl i n k s ，”e l e c t r o n l e t t ，v 0 1 3 4 ， p p 1 0 1 8 1 0 1 9 ，1 9 9 8 6 3 】gl l i ，r b w e l s t a n d ，w x c h e n ，j 下z h u ，s a p a p p e r t , c k s u n ，vz l i u ，a n dp k l 地 n o v e lb i a sc o n t r o lo fe l e c t r o a b s o r p t i o nw a v e g u i d em o d u l a t o r , i e e ep h o t o n t e c h n 0 1 l e t t , v 0 1 1 0 p p 6 7 2 6 7 4 ，i 9 9 8 【6 4 】k y a m a d a ，k n a k a m u r a , a n dh h o r i k a w a , “d e s i g no fd o u b l ep a s se l e c