二次配工程规范.doc

中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 1 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 中緯積體電路中緯積體電路(寧波寧波)新建工程新建工程 氣氣體體管管線線二二次次配配工工程程規規範範 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 2 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf CONTENTSPAGES 1.目的目的3 2.範圍範圍3 3.文件送審文件送審4 4.施工施工說說明明4 5.其他其他說說明明9 6.驗收標準驗收標準10 7.保固期限保固期限12 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 3 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 1.目的目的 為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護 Hook Up 二次配管施工 之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。 2.範圍範圍 2.1.製程設備氣體管線 Hook-up 工程材料採購及管路安裝；Hook-up 範圍， GN2、PN2、PO2、CDA 自主管預留閥至機台內部接點(含支管)， PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及 SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃 出口接至機台(含 VMB)，其他特殊氣體自位於氣體房或 Subfab 之氣 瓶櫃/架至機台內部接點(含 VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接 所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留 take-off 閥尺寸及數量，請參照”FAB 棟一層大宗氣體二次配平面圖” (圖號 SP-211)；各 VMB/VMP 位置，請參照”FAB 棟一層特殊氣體二次 配平面圖”(圖號 SP-212)；氣體站至 FAB 間氣體管線，請參照”氣體站 至 FAB 棟氣體二次配管線平面圖”(圖號 SP-234)； GN2、PN2、PO2、CDA 自 take-off 閥至機台間所需裝設之閥件，請參照” SP-2 二次配管詳圖”(圖號 SP-231)；而 take-off 閥及 VMB/VMP 與機 台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二” Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根 據該表資料，設計至機台管線之路徑。 2.2.前項氣體管線 Hook-up 工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO 圖繪製 (Auto 2000 或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不 純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及 ISO 圖面，需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配 合材料明細表供業主確認。 2.3.本項工程為連工帶料施工，並包含施工中所需之施工工具、施工設備、 無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。 2.4.配合”二次配工程說明”(規範標號 NS-SP001)要求所需各項雜項費用。 2.5.所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 4 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 2.6.所有管路防震固定支撐架之安裝定位。 2.7.高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。 2.8.氣體站至 FAB 間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示 規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。 3.文件送審文件送審 文件名稱 投標階段 (3份) 設計階段 (5份) 竣工階段 (5份) 1.報價表(Quotation form)X 2.專案組織表(Project organization)XX 3.專案執行時程表(Project schedule)XX 4.工程界面清單及位置圖(List & location of tie- in point) XXX 5.系統管儀圖(P&IDs)XXX 6.焊接設備清單(Equipment list) XXX 7.設備及材料型錄及資料(Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system) XXX 8.儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing) XX 9.送審文件清單及時程(Transmittal list and schedule) X 10.品質管制程序書(Quality control procedure)X 11.工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements) X 12.驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports) XX 13.製造商測試報告(Manufactures inspection & test reports/records) XX 14.計算書(Contractors calculations)XX 15.管線配置圖(Pipe routing plan)XXX 16.管線支撐詳圖(Pipe support drawing)XX 17.管材規格(Piping material specification)XX 18.管線施工程序書(Piping construction specification) XX 註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文 件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內 修改並再次送審。 2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。 3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔 4.施工施工說說明明 4.1.一般說明 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 5 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 4.1.1.承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核 通過後，方可據以施工。 4.1.2.承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經歷三年 以上，其工作職責為： 4.1.2.1.施工進度控制。 4.1.2.2.施工人員管理及安排。 4.1.2.3.材料數量管制。 4.1.2.4.現場會勘放樣。 4.1.2.5.參與承攬商溝通協調會議 4.1.3.承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年 以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為： 4.1.3.1.施工品質控制。 4.1.3.2.施工完工品質驗收。 4.1.3.3.施工驗收報告匯總。 4.1.3.4.原料進廠自主檢查。 4.1.4.承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年 以上，其工作職責為： 4.1.4.1.材料數量管理。 4.1.4.2.進廠料件驗收。 4.1.5.承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一 年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為： 4.1.5.1.現場安全衛生工作監督。 4.1.5.2.參與承攬商安全衛生協調會議。 4.1.5.3.承攬商施工人員安全衛生訓練。 4.1.6.施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 6 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執 照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可 且通過工安檢定之人員。 4.1.7.品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最 低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不 可由品管負責人擔任。 4.1.8.承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提 出異議要求更換，承攬商不得有異議。 4.2.材料說明 4.2.1.氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。 氣體種類材質 a.一般大宗氣體GN2 CDA CDA (for burnbox) SUS 316L BA/ 5S SUS 316L AP/ 5S SUS 304 / 5S b.自燃性氣體SiH4, SiH4/N2, PH3/N2 內管 SUS 316L EP/外 管 SUS 304 c.其他氣體PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, SF6, PAr, PHe, N2O, He/O2 SS 316L EP/ 5S；另 BCl3、SiH2Cl2之管線需 提供加熱帶以確保供氣 量。 4.2.2.各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以 一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需 經過業主審核同意後使得選用。 項目規格廠牌 a.SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ Kuze b.SUS 316L BA tubeRmax 3.0 mSumikin/ Kuze c.SUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let d.SUS 316L BA fitting (for tube)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let e.SUS 316L EP pipeRmax 0.7 mSumikin/ Kuze f.SUS 316L EP tube (註 1)Rmax 0.7mSumikin/ Kuze g.SUS 316L EP fitting (註 1)Rmax 0.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-let h.SUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax 4.5 mKitz/ Ohno/ Motoyama 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 7 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 項目規格廠牌 i.SUS 316L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyama j.SUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax 1.0 mKitz/ Ohno/ Motoyama k.SUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 0.1 m) 其他製程氣體機台 Tie-in 點前1 pcs/scf ( 0.1 m) 6.6.氧氣含量測試： 6.6.1.承包商應使用 PN2作為 purge gas，並連續紀錄氧氣含量變化，以 觀察其下降趨勢及作為是否合格之依據。 6.6.2.各類氣體測試點及含量要求應依下表辦理： 6.7.驗收時需檢附各項測試報告及竣工 ISO 圖面。 7.保固期限保固期限 自驗收合格後保固期限一年。 氣體種類應測試位置氧氣含量要求 GN2每段支管末端。 所有機台 Tie-in 點前。 100 ppb PN2每段支管末端。 所有機台 Tie-in 點前。 10 ppb 其他製程氣體機台 Tie-in 點前10 ppb 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 13 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf 附件一Bulk Gas Take-off List TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN55011/2CV-etcher/QC Lab CV-etcher55 3/8 DECAP(QC)-1/8 ETCHER(QC)-1/4 GN55021/29F1 9F125 1/4 9F1120 3/8 9F1120 3/8 GN55031/29F2 9F2120 3/8 9F2120 3/8 GN55041/28F 8F55 3/8 8F50 3/8 8F50 3/8 GN55051/2WJ-999(1)/(2) WJ-999(1)55 3/8 WJ-999(2)55 3/8 GN55061/2SPARE GN55071/2ND-6200 ND-620020 1/4 ND-620020 1/4 GN55081/2NOVELLUS NOVELLUS20 1/4 NOVELLUS20 1/4 GN55091/2SPARE GN55101/2SPARE GN55111/2SPARE GN55121/2SPARE GN55131/2AMI 8330C AMI 8330C3 1/4 AMI 8330C3 1/4 AMI 8330C3 1/4 AMI 8330C3 1/4 GN55141/2SPARE GN55151/2AMI 8330D AMI 8330D3 1/4 AMI 8330D3 1/4 AMI 8330D3 1/4 AMI 8330D3 1/4 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 14 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN55161/2AMI 8330B AMI 8330B3 1/4 AMI 8330B3 1/4 AMI 8330B3 1/4 AMI 8330B3 1/4 GN55171/2SPARE GN55181/2LAM 590A/PSC-4 LAM 590A10 1/2 LAM 590A3 1/2 LAM 590A3 1/4 LAM 590A1 1/2 PSC-43 1/4 PSC-43 1/4 GN55191/2LAM 590C/B LAM 590C10 1/2 LAM 590C3 1/2 LAM 590C3 1/4 LAM 590C1 1/2 LAM 590B10 1/2 LAM 590B3 1/2 LAM 590B3 1/4 LAM 590B1 1/2 GN55201/2LAM 4420A/B/S6000 LAM 4420A10 3/8 LAM 4420A10 3/8 LAM 4420A3 1/4 LAM 4420A3 1/4 LAM 4420B10 3/8 LAM 4420B10 3/8 LAM 4420B3 1/4 LAM 4420B3 1/4 S6000-1/4 GN55211/2SPARE GN55221/2LAM 490C/B LAM 490C10 1/2 LAM 490C3 1/2 LAM 490C3 1/4 LAM 490C1 1/2 LAM 490B10 1/2 LAM 490B3 1/2 LAM 490B3 1/4 LAM 490B1 1/2 GN55231/2LAM 490A 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 15 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 LAM 490A10 1/2 LAM 490A3 1/2 LAM 490A3 1/4 LAM 490A1 1/2 GN55241/2Tegal900A/B (位置未定) Tegal900A3 1/4 Tegal900A3 1/4 Tegal900B3 1/4 Tegal900B3 1/4 GN55251/2SPARE GN55261/2SPARE GN55271/2H2 H2-3/8 H2-3/8 GN55281/2HF170 3/8 GN55291/2SPARE GN55301/2H1 H1-3/8 H1-3/8 GN55311/2H3170 3/8 GN55321/2SPARE GN65011/27F 7F55 3/8 7F150 3/8 GN65021/27F 7F150 3/8 7F150 3/8 GN65031/26F55 3/8 GN65041/2SPARE GN65051/2SPARE GN65061/2SOG-27 3/8 GN65071/2SPARE GN65081/2SPARE GN65091/2SPARE GN65101/2AMI 8310B/A AMI 8310A3 1/4 AMI 8310A3 1/4 AMI 8310A3 1/4 AMI 8310A3 1/4 AMI 8310B3 1/4 AMI 8310B3 1/4 AMI 8310B3 1/4 AMI 8310B3 1/4 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 16 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 GN65111/2SPARE GN65121/2MATRIX(1)/(2) MATRIX(1)3 1/2 MATRIX(2)3 1/2 GN65131/2LAM 4520 LAM 452010 3/8 LAM 452010 3/8 LAM 45203 1/4 LAM 45203 1/4 GN65141/2SPARE GN65151/2SPARE GN65161/2PSC-5 PSC-53 1/4 PSC-53 1/4 GN65171/2SPARE GN65181/2PSC-3/1 PSC-33 1/4 PSC-33 1/4 PSC-13 1/4 PSC-13 1/4 GN65191/2SPARE GN65201/2SPARE GN65211/2SPARE GN65221/2SPARE GN65231/2SPARE GN65241/2CDO 1/2/3 (位置未定) CDO 1-1/4 CDO 2-1/4 CDO 3-1/4 GN65251/2SPARE GN75011/2SPARE GN75021/25F/4F 5F55 3/8 4F55 3/8 GN75031/23F55 3/8 GN75041/2SPARE GN75051/2CR-1991 1/2 GN75061/2CR-1991 1/2 GN75071/2STEPPER14/COATER7/8 STEPPER1420 1/4 COATER7/8-3/8 GN75081/2CR-3991 1/2 GN75091/2STEPPER13/8 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 17 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 STEPPER1320 1/4 STEPPER820 1/4 STEPPER720 1/4 STEPPER320 1/4 GN75101/2SPARE GN75111/2CR-3991 1/2 GN75121/2STEPPER12/6/2 STEPPER1220 1/4 STEPPER620 1/4 STEPPER220 1/4 GN75131/2SPARE GN75141/2STEPPER11/5/1 STEPPER1120 1/4 STEPPER520 1/4 STEPPER120 1/4 GN75151/2SPARE GN75161/2OBM/M3 OBM30 1/4 M3170 1/4 M3170 1/4 GN75171/2UL-2/AN1 UL-2-3/8 AN145 3/8 GN75181/2M2 M2170 1/4 M2170 1/4 GN75191/2AN245 3/8 GN75201/2M1 M1170 1/4 M1170 1/4 GN85011/22F 2F55 3/8 2F150 3/8 2F150 3/8 GN85021/21F 1F55 3/8 1F150 3/8 1F150 3/8 GN85031/2SPARE GN85041/2SPARE GN85051/2SPARE GN85061/2SPARE GN85071/2COATER4/5/10 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 18 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 COATER4/5-3/8 COATER101 1/4 GN85081/2SPARE GN85091/2COATER1/DEV12 COATER1/2/3-3/8 DEVELOPER121 1/4 STEPPER420 1/4 GN85101/2DEVLOPER7/1 DEVELOPER7/8/9-3/8 DEVELOPER1/2/3-3/8 S8820-1/4 (位置未定) PN55011/2CWC ROOM CWC-OXIDE283 1/4 CWC-POLY283 1/4 CWC-METAL283 1/4 PN55021/2TUBE CLEAN/SORTER OVEN20 3/8 OVEN20 3/8 CV-etcher55 3/8 SORTER850 1/4 chemical hood(QC)566 1/4 SEM(S-4700,QC)-1/4 SEM(JSM-6700F,QC)-1/4 PN55031/29F-1/2/AG4100 AG410015 1/4 9F-170 1/4 9F-255 3/8 PN55041/28F/QS300 8F55 3/8 QS300850 1/4 PN55051/2WJ-1/2 WJ-155 3/8 WJ-255 3/8 PN55061/2Local scrubber (位置未定) Local scrubber50 1/4 Local scrubber50 1/4 Local scrubber50 1/4 Local scrubber50 1/4 Local scrubber50 1/4 Local scrubber50 1/4 PN55071/2SPARE PN55081/2ND-6200(2)/NOVELLUS ND-6200(2)15 1/4 中緯積體電路(寧波)有限公司 Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. 資料名稱TITLE: 氣體管線二次配工程規範 頁 數 PAGE: 19 OF 32 資料號碼SPEC NO NS-SP006 版本 REV. 0 本文件為中緯積體電路(寧波)有限公司專有之財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用 THE INFORMATION CONTAINED HERE IN IS THE EXCLUSIVE PROPERTY OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. AND SHALL NOT BE DISTRIBUTED THE REPRODUCED, OR DISCLOSED IN WHOLE OR IN PART WITHOUT PRIOR PERMISSION OF Ningbo SINOMOS Semiconductor Inc. May 22, 2003 file name：6b9245f0abce8b938474ecfd2f9c36b2.pdf TAKE-OFFTAKE-OFFTool 機台流量機台流量機台接機台接機台接機台接 NOTE NO. 尺寸尺寸 LPM 頭尺寸頭尺寸頭型式頭型式 NOVELLUS15 1/4 PN55091/25F5 5F555 3/8 5F555 3/8 PN55101/2SPARE PN55111/2SPARE PN55121/2SRD/EKC-N/OVEN OVEN3 1/4 SRD170 3/8 SRD170 3/8 EKC-N285 1/4 PN55131/2SRD/EKC-C/OVEN OVEN3 1/4 SRD170 3/8 SRD170 3/8 EKC-C285 1/4 PN55141/2AMI 8330C AMI 8330C10 1/4 AMI 8330C200 3/8 AMI 8330C3 1/4 AMI 8330C1 1/4 AMI 8330C0.1 1/4 PN55151/2AMI 8330D AMI 8330D10 1/4 AMI 8330D200 3/8 AMI 8330D3 1/4 AMI 8330D1 1/4 AMI 8330D0.1 1/4 PN55161/2AMI 8330B AMI 8330B10 1/4 AMI 8330B200 3/8 AMI 8330B3 1/4 AMI 8330B1 1/4 AMI 8330B0.1 1/4 PN55171/2SPARE PN55181/2LAM 590A/PSC-4 LAM 590A0.5 1/2 PSC-43 1/4 PSC-43 1/4 PN55191/2LAM 590C/B LAM 590C0.5 1/2 LAM 590B0.5 1/2 PN55201/2LAM 4420A/B 中緯積體電路(