（光学工程专业论文）氧等离子体处理oled有机功能层的研究.pdf

x1 0 1 4 f i 2 2 氧等离子体处理o l e d 有机功能层的研究 专业：光学工程 硕士生：周云飞 指导教师：周翔教授 摘要 有机发光二极管( o r g a n i cl i g h t - e m i t t i n g d i o d e s 简称0 l e d s ) 是一种新型的， 极具潜力的平板显示技术和平面光源，具有高亮度、宽视角、色彩丰富、全固化 等优点，符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势对显示技术以及绿色照明 技术的要求，在过去的十几年里得到了广泛的研究和应用。有机光电子材料与器 件物理也成为近年来物理、化学、材料科学以及光电子学等学科领域的前沿交叉 和研究热点。 本论文在充分的文献调研和掌握的基础上，采用o l e d s 中典型导电聚合物 空穴注入材料聚二氧乙基噻吩聚对苯乙烯磺酸( p e d o t ：p s s ) 作为有机功能层， 利用氧等离子体处理对其进行表面处理，发展和优化新的o l e d s 器件制备工艺。 利用了多种表面分析手段，如扫描电子显微镜，原子力显微镜，扫描隧道显微镜 等，研究了氧等离子体处理对p e d o t ：p s s 薄膜表面特性的影响。发现氧等离子 体处理对p e d o t ：p s s 薄膜表面形貌有显著影响，原本平整的薄膜表面形成了均 匀分布的纳米岛状结构。利用了优化处理的p e d o t ：p s s 薄膜作为空穴注入层提 高o l e d s 器件性能，降低了器件的驱动电压以及显著提高器件的工作寿命。并 对此进行了详细的分析和探讨，获得有机功能层表面界面特性与器件性能之间 的关系。 关键词：有机电致发光，氧等离子体处理，有机功能层 s t u d i e so no x y g e np l a s m at r e a t e do r g a n i c f u n c t i o nl a y e rf o ro l e d m a j o r ：o p t i c a le n g i n e e r i n g n a m e ：y u n f e iz h o u s u p e r v i s o r ：p r o f e s s o rx i a n gz h o u a b s t r a c t o r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd i o d e s ( o l e d s ) ，w i t hh i g hb r i g h t n e s sw i d ev i e w i n ga n g l e ， a n df u l lc o l o r ，a l ep r o m i s i n gf o ri n f o r m a t i o nd i s p l a ya n dl i g h t i n ga p p l i c a t i o n s d u r i n g t h ep a s tf e wi i c c a d e s g r e a tp r o g r e s sh a sb e e nm a d ef o ri m p r o v i n gp e r f o r m a n c eo f o l e d sr e c e n t l y o r g a n i co p t o e l e c t r o n i c sm a t e r i a l sa n dd e v i c ep h y s i c sh a v eb e c o m ea f r o n t i e ra n df o c u so fp h y s i c s ，c h e m i s t r y ，m a t e r i a l ss c i e n c ea n do p t o e l e c t r o n i c s w eh a v es t u d i e dt h ei m p a c to fm i l do x y g e np l a s m at r e a t m e n to fo r g a n i cf u n c t i o n l a y e ro nt h es u r f a c ec h a r a c t e r i s t i c sa n dt h eo l e d sp e r f o r m a n c e w ec h o s et y p i c a l c o n d u c t i n gp o l y m e rh o l ei n j e c t i o nm a t e r i a l ：p o l y 一( 3 ，4 - e t h y l e n e d i o x y t h i o p h e n e ) d o p e d w i t hp o l y ( s t y r e n e s u l f o n a t e ) ( p e d o t ：p s s ) a st h eo b j e c t i v el a y e r s u b s t a n t i a lc h a n g e s i ns u r f a c em o r p h o l o g yo fp e d o t ：p s sa f t e rt h em i l do x y g e np l a s m at r e a t m e n tw e r e o b s e r v e db ys c a n n i n ge l e c t r o nm i c r o s c o p y ( s e m ) ，a t o m i cf o r c em i c r o s c o p y ( a f m ) a n ds c a n n i n gt u n n e lm i c r o s c o p y ( s t m ) t h en a n o m e t e r - s c a l ei s l a n d so nt h es u r f a c e o ft r e a t e dp e d o t ：p s sw e r eo b s e r v e d v a c u u md e p o s i t e do l e d sw i t ht r e a t e d p e d o t ：p s sa sa n o d eb u f f e rl a y e rh a d b e e nf a b r i c a t e d t h eo l e d sw i t ha n a p p r o p r i a t e l yt r e a t e dp e d o t ：p s sa s a n o d eb u f f e r l a y e re x h i b i t e ds i g n i f i c a n t l y e n h a n c e dl i f e t i m ea n dd e c r e a s e dd r i v i n gv o l t a g e t h er e s u l t ss u g g e s tt h a t t h e a p p r o p r i a t em i l do x y g e np l a s m at r e a t m e n to fp e d o t ：p s sl a y e r sm a yb eu s e f u lf o r t h ei m p r o v e m e n to ft h ei n t e r f a c ew i t ht h eh o l et r a n s p o r tl a y e ra n de n h a n c e dd e v i c e p e r f o r m a n c e k e y w o r d s ：o l e d s ；o x y g e np l a s m at r e a t m e n t ；o r g a n i cf u n c t i o nl a y e r i i 硕士学位论文 第1 章引言 1 1 有机电致发光器件简介 有机电致发光器件( 有机发光二极管，o r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd i o d e s ，简称 o l e d s ) 作为一种新型的平板显示技术及平面二维光源照明技术，兼具许多优点： 主动发光、宽视角、全彩色、可弯曲、高效率、低功耗、低成本等，符合信息时 代移动通信和信息显示的发展趋势对显示技术以及绿色照明技术的要求。此外， 有机发光材料的多样性为材料的选择提供了宽广的范围，通过对有机分子结构的 设计、组装、剪裁，能够获得满足不同需要的材料。o l e d s 广阔的应用前景及 近年来在器件和材料的突破性进展使之成为极有竞争力的平板显示技术与照明 技术之一。 1 1 1 有机电致发光器件的进展 o l e d s 技术的研究源于上世纪六十年代，主要进展包括： 1 ) 1 9 6 3 年美国纽约大学m p o p e 等人【1 1 报道了有机葸晶体的电致发光现 象。但由于工作电压较高( 约4 0 0v ) ，缺乏实用性，因此没有弓f 起国际 上的广泛注意。 2 ) 1 9 8 7 年美国柯达( k o d a k ) 公司e w t a n g 和s a v a n s l y k e 2 】首次采用 双层结构( 包含空穴传输层和发光层) ，利用真空热蒸发镀膜的方法制备 了高效率、高亮度、低电压的有机小分子o l e d s 。 3 ) 1 9 9 0 年曰本的c a d a c t f i 等人 3 】首次采用三层结构( 包含空穴传输层、 发光层、电子传输层) ，利用真空热蒸发镀膜的方法制各了三层结构的有 机小分子o l e d s 。 4 11 9 0 0 年英国剑桥大学的h g u r r o u g h e s 等人 4 1 韦1 1 备了高分子薄膜的电致 发光器件( 简称p o l y l e d s ，或p l e d s ) 。 硕十学位论文 5 ) 1 9 9 2 年美国加州大学的g g u s t a f s s o n 等人【5 】和曹镛等人【6 】使用导电高 分子材料聚苯胺( p a n i ) 作为空穴注入阳极，制备了柔性高分子薄膜电 致发光器件。 6 ) 1 9 9 7 年美国i b m 公司的j c s c o n 等人 7 】使用导电高分子材料聚二氧乙 基噻吩聚对苯乙烯磺酸( p e d o t ：p s s ) 或聚苯胺( p a n i ) 作为空穴注 入层，制备了高分子薄膜电致发光器件，显著提高了器件的性能。 7 ) 1 9 9 8 年美国普林斯顿大学的m a b a l d o 等人 8 ，9 】利用真空共蒸发镀膜 的方法，将高发光效率有机磷光染料掺入发光层，同时利用单重态激子 ( s i n g l e te x i t o n ) 和三重态激子( t r i p l e te x i t o n ) 辐射跃迁发光，制各了高效率 的有机小分子电致磷光器件，突破了传统有机荧光材料电致发光效率的 局限，将器件的效率提高了三倍。 经过二十几年的研究，o l e d s 已经取得长足的发展，器件内量子效率接近 1 0 0 ( 磷光器件，接近常规器件结构的理论上限) 1 0 i ，功率效率最高达到i l o l m w 【1 1 】，发光颜色覆盖整个可见光区域，连续工作寿命从几分钟发展到大于 几万小时。虽然到目前为止还有许多有机电致发光问题没有完全被解释清楚，但 是这并没有影响到o l e d s 的产业化进程。目前全球有一百多家研究机构和企业投 入到有机电致发光的研究、开发和生产中。自从日本先锋公司于1 9 9 7 年首次推出 有机平板显示器产品，市场上已经陆续出现各类小尺寸( 小于5 英寸) 有机显示 器产品，并被广泛应用到各类便携式电子产品中，女h m p 3 播放器，数码相机，手 机等。而且k o d a k ，s a n y o ，s o n y ，s a m s u n g ，t o s h i b a ，e p s o n 等众 多公司纷纷推出了自己的o l e d s 大尺寸( 1 0 4 0 英寸) 、全彩色显示器样机，标志 着有望在近期内实现大屏幕有机平板电视的商品化，显示出其极大的发展潜力和 挑战液晶显示器的态势。 1 1 2 有机电致发光器件结构及工作原理 o l e d s 的基本结构为三明治结构，即由正负电极和夹在其问的一层或多层具 有半导体性质的有机薄膜构成( 如图1 1 所示) 。有机薄膜的功能各异，有的为 空穴或电子传输层，有的为发光层，此外还有空穴或电子阻挡层等，不同的功能 硕士学位论文 层组合，可以得到不同特性的器件 1 2 】。o l e d s 一般采用镀有铟锡氧化物( i t o ) 透明导电薄膜的玻璃作为器件的衬底和用作空穴注入的阳极。用作电子注入的背 电极( 阴极) 一般为m g ：a g ( 1 0 ：1 ) 合金、c a 或a l 等具有较低功函数的金属。 有机薄膜由可真空蒸发镀膜的有机小分子薄膜材料构成，或由可旋涂、浇铸、提 拉、印刷的高分子薄膜材料构成，膜厚一般为几十到一百纳米。 v 【 三 心心心心心心心心n 、e e l 图l io l e d s 基本结构 金属电极 有机层 】t o 玻璃 图1 2 典型的双层o l e d s 工作原理能级图 一般认为，o l e d s 为载流子注入型发光器件，基本工作机理为：正负电荷 分别从阳极和阴极注入有机层，在电场的作用下迁移至发光层，相遇复合形成激 子( 分子激发态) ，当激子从激发态回到基态( 退激) 时经辐射跃迁，能量以光 子的形式释放出来而发光。因此，整个有机电致发光( e l ) 过程可以分为以下 硕士学位论文 几个部分：载流子( 电子和空穴) 的注入，载流子的传输，激子的形成和退激发 光( 如图1 - 2 所示，其中h t l 表示空穴传输层h o l et r a n s p o r tl a y e r ，e t l 表示 电子传输层e l e c t r o nt r a n s p o r tl a y e r ) 。 1 1 3 影响o l e d s 寿命的主要因素 o l e d s 的商品化是由很多的因素所决定的，例如发光效率、颜色等，但是 目前制约其大规模应用的主要因素是器件的工作寿命 1 3 1 。因此有许多的研究工 作都集中于弄清o l e d s 的衰减机理，并且大部分研究器件稳定性的工作都是使 用最常用的a l q 3 作为电子传输材料的。o l e d s 的寿命是由内在因素和外在因素 共同决定的：其内在因素是指有机材料在工作过程中材料自身特性的变化( 如传 输层载流子传输能力的下降，发光层电致发光效率的下降等) ，从而导致整个器 件发光区域中发光效率不均匀的下降；而外在因素是指受制备工艺环境和工作环 境的影响，器件非发光区域( 或称为“暗斑”) 的产生和增加。因此，o l e d s 的 寿命尚需进一步提高，提高o l e d s 寿命的新方法有待进一步开发。 o p e r a t i n gt i m e ( h o u r ) 图1 3 典型的o l e d s 亮度及驱动电压随工作时间的变化曲线 o ritnq=cd_cmj_i了q 硕士学位论文 高p e d o t 相对p s s 的比例，从而得到具有更高电导率的表面，改善与空穴传输 层t p d 的界面接触，降低器件驱动电压。 3 1p e d o t ：p s s 薄膜表面积增大 y a n g 等人 5 3 】报道了在p l e d 中使用高表面积的p a n i 网格电极，能够显著 提高空穴载流子的注入。在我们的实验中，氧等离子体处理时r i e 偏置电压为 3 0 0v ，离子浓度约为1 0 ”i o n s & m 2 s 。如此高浓度的离子轰击形成了p e d o t ：p s s 薄膜的粗糙表面，增大与其上空穴传输层的接触面积，增强了局域电场，从而有 利于空穴注入而降低驱动电压。 因此可以推断，以上3 个因素中的后两个很可能是导致器件工作电压下降的 主要原因。另外，由于氧等离子体处理p e d o t ：p s s 空穴注入层在其表面形成了 大量均匀分布的纳米岛状结构，能有效改善空穴注入层表面特性以及与其上空穴 传输层的界面，获得稳定、良好、可控的界面，从而提高器件的寿命。 3 5 小结 我们使用s e m ，a f m 研究了氧等离子体处理后p e d o t ：p s s 表面形貌的变化， 发现适当的处理能够在其原本光滑平整的表面形成均匀分布的纳米岛状结构( 约 2 0n m ) ，氧等离子体处理对p e d o t ：p s s 的表面形貌有十分显著的影响。并使用 s t m 对处理前后p e d o t ：p s s 薄膜形貌结构进行了初步讨论。 此外，我们使用处理后的p e d o t ：p s s 薄膜作为空穴注入层制备了o l e d s 。 发现适当的氧等离子体处理除了使器件驱动电压有下降之外，还能够显著提高器 件的稳定性。相对没有处理的器件，经过优化处理的器件寿命提高了约八倍。 根据实验结果我们认为，具有适当纳米结构的表面形貌可能改善了 p e d o t ：p s s 的表面特性，改善了空穴注入层和空穴传输层的接触，形成稳定的 界面，从而提高了器件的性能。 硕士学位论文 参考文献 1 ，p o p em ，k a l l m a n nh ，a n dm a g n a n t ep ，e l e c t r o l u m i n e s c e n c ei no r g a n i cc r y s t a l s ，j c h e m p h y s 1 9 6 3 ，3 8 ：2 0 4 2 - 2 0 4 3 2 t a n gcwa n dv a n s l y k esa ，o r g a n i ce l e c t r o l u m i n e s c e n td i o d e s ，a p p l p h y s ， l e t t 1 9 8 7 ，5 1 ：9 1 3 - 9 1 5 3 a d a c h ic ，t s u t s u it a n ds a i t os ，c o n f i n e m e n to fc h a r g ec a r r i e r sa n dm o l e c u l a r e x c i t o n sw i t h i n5 一a m t h i c ke m i t t e rl a y e ri no r g a n i ce l e c t r o l u m i n e s c e n td e v i c e s w i t had o u b l eh e t e r o s t m c t u r e ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 0 ，5 7 ：5 3 1 5 3 3 4 b u r r o u g h e sjh ，b r a d l e yd dc ，b r o w na r ，m a r k srn ，m a c k a yk ，f r i e n drh ， b u r n spl ，a n dh o l m e sa b ，l i g h t e m i t t i n gd i o d e sb a s e do nc o n j u g a t e dp o l y m e r s ， n a t u r e1 9 9 0 3 4 7 ：5 3 9 5 4 1 5 g u s t a f s s o ng ，c a n 、t r e a c ygm ，k l a v e r e rf ，c o l a n e r in ，a n dh e e g e ra j ， f l e x i b l el i g h t e m i t t i n gd i o d e sm a d ef r o ms o l u b l ec o n d u c t i n gp o l y m e r s ，n a t u r e 1 9 9 2 ，3 5 7 ：4 7 7 4 7 9 6 c a oy t r e a c ygm ，s m i t hp a n dh e e g e raj ，s o l u t i o n c a s tf i l m so fp o l y a n i l i n e ： o p t i c a l - q u a i l t yt r a n s p a r e n te l e c t r o d e s ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 2 ，6 0 ：2 7 11 2 7 1 3 7 s c o t tjc ，c a r t e rsa ，k a r gs ，a n da n g e l o p o u l o sm ，p o l y m e r i ca n o d e sf o ro r g a n i c l i g h t e m i t t i n gd i o d e s ，s y n t h m e t 1 9 9 7 ，8 5 ：11 9 7 - 1 2 0 0 8 b a l d oma ，o b r i e ndf y o uy s h o u s t i k o va ，s i b l e ys ，t h o m p s o nme ，a n d f o r r e s ts r ，h i g h l y e f f i c i e n t p h o s p h o r e s c e n t e m i s s i o nf r o m o r g a n i c e l e c t r o l u m i n e s c e n td e v i c e s n a t u r e ( l o n d o n ) 19 9 8 3 9 5 ：151 一l5 4 9 b a l d oma ，l a m a n s k ys ，b u r r o w spe ，t h o m p s o nme ，a n df o r r e s tsr ，v e r y h i g h e f f i c i e n c yg r e e no r g a n i cl i g h t - e m i t c i n g d e v i c e sb a s e do n e l e c t r o p h o s p h o r e s c e n c e ，a p p l p h y s l e f t i9 9 9 ，7 5 ：4 - 6 ， 10 y i r us u n ，n o e lc g i e b i n k ，h i r o s h ik a n n o ，b i w um a ，m a r ke t h o m p s o na n d s t e p h e nr f o r r e s t ，m a n a g e m e n to fs i n g l e ta n dt r i p l e te x c i t o n sf o r e f f i c i e n tw h i t e o r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd e v i c e s ，n a t u r e2 0 0 6 ，4 4 0 ：9 0 8 9 12 ， 1 1 h t t p ：w w w n o v a l e d c o m 2 0 0 5 2 5 硕士学位论文 1 2 应根裕，胡文波，邱勇等，平板显示技术，人民邮电出版社，2 0 0 2 3 4 0 3 8 9 1 3 h u n g l s a n dc h e nc h r e c e n t p r o g r e s s o fm o l e c u l a r o r g a n i c e l e c t r o l u m i n e s c e n tm a t e r i a l sa n dd e v i c e s ，m a t e r i a l ss c i e n c ea n de n g i n e e r i n gr 2 0 0 2 ，3 9 ：1 4 3 14 a z i zh ，p o p o v i cz o r a nd ，h un a n x i n g ，h o ra h m e e ，a n dx ug u ，d e g r a d a t i o n m e c h a n i s mo fs m a l lm o l e c u l eb a s e do r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd e v i c e s ，s c i e n c e ， 1 9 9 9 2 8 3 ：1 9 0 0 - 1 9 0 2 15 a d a c h ic h i h a y a ，n a g a ik a z u k i y o ，a n dt a m o t on o z o m u ，m o l e c u l a rd e s i g no f h o l e t r a n s p o r t m a t e r i a l sf o r o b t a i n i n gh i g l ld u r a b i l i t y i n o r g a n i c e l e c t r o l u m i n e s c e n td i o d e s ，a p p l p h y s l e r 2 0 0 1 ，6 6 ：2 6 7 9 2 6 81 1 6 t o k i t os ，t a n a k ah ，n o d ak ，o k a d aa ，a n dt a g ay ，t h e r m a ls t a b i l i t yi n o l i g o m e r i ct r i p h e n y l a m i n e t r i s ( 8 一q u i n o l i n o l a t o ) a l u m i n u m e l e c t r o l u m i n e s c e n t d e v i c e s ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 7 ，7 0 ：1 9 2 9 1 9 3 1 17 z h o ux i a n g ，h ej a n ，l i a ol i a n gs ，l um i n g ，d i n gx u nm ，h o ux i a oy ，z h a n g x i a om ，h ex i a oq ，a n dl e es h u i tt ，r e a l t i m eo b s e r v a t i o no ft e m p e r a t u r e r i s ea n dt h e r m a lb r e a k d o w np r o c e s s e si no r g a n i cl e d su s i n ga l li ri m a g i n g a n da n a l y s i ss y s t e m ，a d v m a t 2 0 0 0 ，1 2 ：2 6 5 - 2 6 9 18 v a n s l y k esa ，c h e nch ，a n dt a n gcw ，o r g a n i ce l e c t r o l u m i n e s c e n td e v i c e sw i t h i m p r o v e ds t a b i l i t y , a p p l p h y s l e t t 】9 9 66 9 ：2 1 6 0 2 1 6 2 19 w ucc ，w uci ，s t u r mjc ，a n dk a h na ，s u r f a c em o d i f i c a t i o no fi n d i i u mt i n o x i d eb yp l a s m at r e a t m e n t ：a ne f f e c t i v em e t h o dt o i m p r o v et h ee f f i c i e n c y , b r i g h t n e s s ，a n dr e l i a b i l i t yo fo r g a n i cl i g h te m i t t i n gd e v i c e s ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 7 ，7 0 ：1 3 4 8 1 3 5 0 2 0 s t e u b e r ￥，s t a u d i g e l3 ，s t 6 s s e lm ，s i r m n e r e r3 ，a n dw i a n a c k e ra ，r e d u c e d o p e r a t i n gv o l t a g eo fo r g a n i ce l e c t r o l u m i n e s c e n td e v i c e sb yp l a s m at r e a t m e n to f t h ei n d i u mt i no x i d ea n o d e ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 9 ，7 4 ：3 5 5 8 - 3 5 6 0 2 1 h u n gls ，z h e n g lr a n dm a s o nmga n o d em o d i f i c a t i o ni n o r g a n i c l i g h t e m i t t i n gd i o d e sb yl o w f r e q u e n c yp l a s m ap o l y m e r i z a t i o no fc h f 3 ，a p p l p h y s l e t t 2 0 0 1 ，7 8 ：6 7 3 6 7 5 2 2 s h e nj ，w a n gd ，l a n g l o i se ，b a r r o wwa ，g r e e npj ，t a n gcwa n ds h ij ， 2 6 硕士学位论文 d e g r a d a t i o nm e c h a n i s m si no r g a n i cl i g h te m i t t i n gd i o d e s ，s y n t h m e t 2 0 0 0 ，111 ： 2 3 3 2 3 6 2 3 m c e l v a i nj ，a n t o n i a d i sh ，h u e s c h e nmr ，m i l l e rjn ，r o i t m a ndm ，s h e a t sjr a n dm o o nrl ，f o r m a t i o na n dg r o w t ho fb l a c ks p o t si no r g a n i cl i g h t e m i t t i n g d i o d e s ，j a p p ，p l w s1 9 9 6 ，8 0 ：6 0 0 2 - 6 0 0 7 2 4 a z i zh ，p o p o v i c tz ，x i es ，h o ram ，h unx ，t r i p pc ，a n dx ug ， h u m i d i t y i n d u c e dc r y s t a l l i z a t i o no f t r i s ( 8 一h y d r o x y q u i n o l i n e ) a l u m i n u ml a y e r si n o r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd e v i c e s ，a p p l p h y s l e t t 1 9 9 87 2 ：7 5 6 5 7 8 2 5 a z i zh ，p o p o v i cz ，t r i p pcp ，h unx ，h o ram ，a n dx ug ，d e g r a d a t i o n p r o c e s s e sa tt h ec a t h o d e o r g a n i ci n t e r f a c ei no r g a n i cl i g h te m i t t i n gd e v i c e sw i t h m g ：a gc a t h o d e s ，a p p l p h y s l e t t 19 9 8 ，7 2 ：2 6 4 2 2 6 4 4 2 6 l i e wyf ，a z i zh h unx ，c h a nso ，x ug ，a n dp o p o v i czd ，i n v e s t i g a t i o no f t h es i t e so fd a r ks p o t si no r g a n i cl i g h t - e m i t t i n gd e v i c e s ，a p p p h y s l e t t 2 0 0 0 ， 7 7 ：2 6 5 0 2 6 5 2 2 7 k i mh ，g i l m o r ecm ，p i q u 6a ，h o r w i t zjs ，m a t t o u s s ih ，m u r a t ah ，k a f a f izh ， a n d c h r i s e y db ，e l e c t r i c a l ，o p t i c a l ，a n ds t r u c t u r a l p r o p e r t i e s o f i n d i u m - t i n - o x i d et h i nf i l m sf o ro r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd e v i c e s j a p p l p h y s 1 9 9 9 8 6 ：6 4 5 l 一6 4 6 1 2 8 k i mjs ，g r a n s t r 6 mm ，f r i e n drh ，j o h a n s o nn ，s a l a n e c kwr ，a n dc a c i a l l if ， i n d i u m - t i no x i d et r e a t m e n t sf o rs i n g l e a n dd o u b l e - l a y e rp o l y m e r i cl i g h t ，- e m i t t i n g d i o d e s ：t h er e l a t i o nb e t w e e nt h ea n o d ep h y s i c a l ，c h e m i c a l ，a n dm o r p h o l o g i c a l p r o p e r t i e sa n dt h ed e v i c ep e r f o r m a n c e ，土a p p l p h y s 19 9 8 ，8 4 ：6 8 5 9 6 8 7 0 2 9 k i mjs ，f r i e n drh ，a n dc a c i a l l if ，s u r n c ee n e r g ym a dp o l a r i t yo ft r e a t e d i n d i u m t i n - - o x i d ea n o d e sf o r p o l y m e rl i g h t e m i t t i n g d i o d e ss t u d i e d b y c o n t a c t a n g l em e a s u r e m e n t s ，j a p p l p h y s 1 9 9 9 ，8 6 ：2 7 7 4 2 7 7 8 3 0 m a s o nmg ，h u n gls ，t a n gcw ，l e est ，w a n gkw ，a n dw a n gm ， c h a r a c t e r i z a t i o no ft r e a t e di n d 【i u m - t i n - o x i d es u r f a c e su s e di ne l e c t r o l u m i n e s c e n t d e v i c e s ，j a p p l p h y s 1 9 9 9 ，8 6 ：1 6 8 8 1 6 9 2 31 ，n u e s c hf