（材料学专业论文）增透膜的制备及其性能.pdf

坚竺! 竺! ! ! ! 坚! ! ! ! 尘! ! ! ! 查! ! 型堡 增透膜的制备及其性能 材料学专业 研究生姜浩指导教师王跃川 摘要 在光学系统中，光的反射不仅导致光能的损失，降低成像质量，而且在某些 情况下甚至会造成安全隐患。为了减少光学器件表面光的反射，通常在其表面 沉积单层或多层透明介质薄膜，称为增透膜或减反膜。增透膜的增透效果与膜 层折射率、厚度密切相关，有关这方面的工作已有大量报道。然而这些已报道 的方法均不能满足制备大面积、低成本宽带增透膜的需要。 为了解决上述问题，本文设计并制备了两种类型的增透膜。第一种是采用液 面下降法制备的无机有机复合双层增透膜。内外膜层的成膜材料分别为 t i 0 2 s i 0 2 复合溶胶和苯乙烯一甲基丙烯酸甲酯共聚物。通过改变这两种成膜材料 的组成比，可使内、外膜层的折射率分别在1 4 5 2 0 和1 4 9 1 6 0 之间连续可调， 双层膜系的膜厚可通过改变液面下降速率和成膜液浓度来加以调节。此外，研究 发现，紫外光辐照处理可增加内层无机膜的折射率并同时降低其厚度，制备的双 层光学增透膜在可见光谱范围的透过率有很大提高，最高透过率达到9 9 5 ， 透过率曲线的形状及其峰值可通过改变内、外膜层折射率及厚度加以调整。户 外耐用性实验结果表明：该双层增透膜可在户外环境下长期使用而保持较高的 透过率，其户外耐用性可通过将外层聚合物交联或引入含氟基团加以改善。 另外一种是采用可控的旋涂或提拉法在基片上沉积而成的单层或多层 p m m a 纳米粒子增透膜。与双层增透膜相比，纳米粒子增透膜制备方法简单易 行，透过率更高，增透范围也更宽。s e m 、a f m 结果表明：旋涂法所沉积的纳 米粒子松散、无规地分布在基片表面上，相应的单面和双面粒子膜透过率在 5 5 0 n m 分别为9 5 7 和9 9 5 。提拉法对纳米粒子堆积方式可控性差，只能得到 紧密堆砌的纳米粒子膜，其相应膜层的实测透过率最高为9 8 。通过改变粒子 粒径和粒子堆积层数可调节纳米粒子膜层的厚度，从而凋节增透范围。少量 p e g 、p v a 和p m m a 纳米粒子同时成膜可明显改善粒子与基片之问的附着力， 但同时透过效果随这些添加物用量增加而大大下降。用s i o z 溶胶作为共成膜物 填充纳米粒子间空隙，高温烧掉有机p m m a 纳米粒子后残留人s i 0 2 无机涂层 对基片具有良好的附着力，其用量为1 时，单面涂覆情况下透过率峰值可达 9 5 7 。 关键词：增透膜、双层、纳米粒子、增透结构 i i p r e p a r a t i o na n dp r o p e r t i e so fa n t i r e f l e c t i v ec o a t i n g s a b s t r a c t l i g h tr e f l e c t i o ni sac o m i i l o np h e n o m e n o ni ne v e r y d a yl i f e d i s t u r b i n gr e f l e c t i o n d o e sn o to n l yi m p a i rt h ec l e a r i t yo fo p t i c a lc o m p o n e n t s ，b u ta l s ob l e m i s hi m a g e q u a l i t y i ns o m ec a s e s ，i tc a l lp o s es a f e t yh a z a r d s t h e r e f o r e ，a n t i r e f l e c t i o nc o a t i n g s ( a r ) h a v eb e e nd e v e l o p e dt oe l i m i n a t eo rr e d u c es u c hu n w a n t e dr e f l e c t i o n s t h ea r s t r u c t u r e sp l a ya ni m p o r t a n tr o l ei nav a r i e t yo fo p t i c a lt e c h n o l o g y a a m p l ew o r k ， t h e o r e t i c a la n de x p e r i m e n t a l ，h a sb e e nd o n ea n dav a r i e t yo fm e t h o d sh a v eb e e n d e v e l o l 删1 h o w e v e r , am e t h o dt h a ti gn o to n l ya b l et op r o d u c ep e r f e c ta n db r o a d b a n d a n t i r e f l e c t i o nc o a t i n g s ，b u ta l s os i m p l e ，r o b u s t ，l o wc o s ta n ds u i t a b l ef o rm a s s i v e p r o d u c t i o ni ss t i l li ns e a r c h w i t hs u c hi d e ai nm i n d ，w ea r e ，i nt h i sw o r k ，p u r s u i n g t h em e t h o d ss u i t a b l ef o rp r e p a r i n gh i g hp e r f o r m a n c ea n dl a r g ea r e aa r c o a t i n g s an o v e ld o u b l e l a y e r e d ( d b ) a rc o a t i n gc o m p o s e do fi n o r g a n i ci n n e rl a y e ra n d p o l y m e r i co u t e rl a y e rw a sp r e p a r e db yd r a i n i n gt h ec o a t i n gs o l u t i o nw h i l eh o l d i n g t h eg l a s ss l i d es t i l li ns o l u t i o nt a n k t h er e f l e c t i v ei n d e x ( n d ) o fs i 0 2 f r i 0 2h y b r i d s o l g e la n dt h ec o p o l y m e r sw e r es t u d i e d n oo ft h ei n n e ra n do u t e rl a y e r sw e r e a d j u s t a b l ei nt h er a n g eo f1 4 5 - 2 0a n d1 4 9 - 1 6 0 ，r e s p e c t i v e l y p h o t ot r e a t i n go f t h e i n o r g a n i cl a y e r w i t hu vl i g h td e c r e a s e dt h e t h i c k n e s sa n di n c r e a s e di l d t r a n s m i t t a n c eo ft h ec o a t e ds l i d e si n4 2 0 - 6 0 0n n aw e r eg r e a t l yi n c r e a s e dt ot h e m a x i m u mv a l u eo f9 9 5 t h ew a v e l e n g t ho fh i g h e s tt r a n s m i t t a n c ew a sa d j u s t a b l e b yc o n t r o l l i n gt h et h i c k n e s so ff i l m s i na n o t h e rw a y , a n t i r e f l e c t i v es t r u c t u r e sw e r ep r e p a r e db yc o n t r o l l e da s s e m b l i n g o fn a n o p a r t i c l e st of o r man a n o p o r o u sm o n o l a y e r t h ea n t i r e f l e c t i v ec o a t i n g so n g l a s s s l i d e sw e r ep r e p a r e da tf i r s tt i m eb ys p i nc a s t i n gp o l y m e rl a t e x o p t i c a l t r a n s m i t t a n c e s ，a t5 5 0 n m ，o f9 5 7 f o rs i n g l es i d e da n d9 9 5 f o rd o u b l es i d e d c o a t i n gw e r ea c h i e v e d s t r u c t u r ei n v e s t i g a t i o n sw i t ha f m ，s e m ，r e v e a l e dt h a tt h e a n t i r e f l e c t i v e c o a t i n g s w e r eh i g h l yp o r o u sa n da f f e c t e db y s p i ns p e e d ，t h e c o n c e n t r a t i o na n dp a r t i c l es i z eo fp m m al a t e x s m a l la m o u n to fa d d i t i v e ss u c ha s p e gp v aw e r eu s e dt oi m p r o v et h ea d h e s i o no fn a n o c o a t i n g w h e ns i 0 2s o lw a s m u s e da l sa d d i t i v e t h ec o m p o s i t en a n o c o a t i n gw a sc a l c i n e dt or f m o v eo r g a n i cp a r t i c l e s 。 a n dt h er e s u l t a n ts i 0 2c o a t i n gp o s s e s s e db o t hh i 咖t r a n s m i s s i o n ( 9 5 7 f o rs i n g l e s i d ec o a t i n g ) a n dg o o da d h e n s i o nt ot h eg l a s ss u b s t r a t e a rp r o p e r t i e so fd i pc o a t e d p a r t i c l ef i l m sw e r ea l s os t u d i e d c o m p a r i n gt os p i nm e t h o d ，t r a n s m i s s i o no fd i p c o a t e df i l mw a ss u b o p t i m a ld u et ot h ec l o s ep a c k i n go fn a n op a r t i c l e s t h es p i n c o a t i n gm a yb ea b e t t e rm e t h o df o rm a s sp r o d u c t i o n ，d u et oi t sc o n v e n i e n c e s ，l o w c o s ta n dg o o dr e p r o d u c i b i l i t y k e y w o r d s ：a n t t r e f l e c t i o n c o a t i n g s ，d o u b l e - l a y e r , n a n o p a r t i c l e ， a n t i r e f l e c t i v es t r u c t u m 丛! ! 蝗! ! ! 堕塑垡墨! 些竺塑旦堕! ! ! 墅堡 声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师精心指导下进行的研究工作及取 得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不 包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含获得四川大学或其它教育 科研机构的学位或证书而用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任 何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示感谢。 本学位论文成果是本人在四川大学攻读硕士学位期间在导师王跃川教授的 指导下完成的，本论文成果归四川大学所有，特此声明。 丛! 壅坚翌! 曼童丛墅生! ! 些型婴查壁蛳! 笪! c h a p t e r1 i n t r o d u c t i o n l i # t r e f l e c t i o n sc a u s e db yt h ea b r u p tc h a n g ei nr e f r a c t i v ei n d i c e sa tt h eo p t i c a l s u r f a c ea l eu b i q u i t o u si ne v e r y d a y l i f e b ya b a t i n gl i g h tt r a n s m i s s i o n ，l i g h t r e f e c t i o n si m p a i rt h el e g i b i l i t yo fo p t i c a lc o m p o n e n t s ，s u c ha sc o m p u t e rm o n i t o r s ， c a rd a s h b o a r d sa n dt vs c r e e n s ，c ta 1 g h o s ti m a g e sf o r m e db yr e f l e c t e dl i g h tb l e m i s h i m a g eq n a l i t y a n di ns o m e c a s e sc a np o s es a f e t yh a z a r d s t h e r e f o r et h i nf i l m sw h i c h a l ec a l l e da n t i r e f l e c t i o nc o a t i n g s ( a r ) h a v eb e e nd e v e l o p e dt or e d u c eo re l i m i n a t e u n w a n l e ( 1r e f l e c t i o n s f i r s td i s c o v e r e di n1 8 1 7b yf r a u n h o f e r , a rc o a t i n g s 玳o f i n c r e a s i n gi m p o r t a n c e i na ne x p a n d i n gv a r i e t yo fo p t i c a la p p l i c a t i o n s 1 1a p p l i c a t i o n so f a r c o a t i n g s p r a c t i c a la p p l i c a t i o n so fa r c o a t i n g sa r ee x t r e m e l yw i d e s p r e a di nm o d e mo p t i c a l t e c h n o l o g y t h em o s tc o m m o nc a s ei sp e r h a p st h a to f t h ep r o t e c t i v eg l a s si nf r o n to f a ni n s t r u m e n td i a l p r e c i s e l yd e s i g n e da rc o a t i n gc a l lg r e a t l yr e d u c ed i s t u r b i n g r e f l e c t i o n sf r o mt h ef r o n t a lg l a s s ，t h u s i m p r o v et h ev i s i b i l i t y i n t r a - s u f f a c e r e f l e c t i o n si nac a rw i n ds h i e l dc a ng i v er i s et og l a r i n gi m a g e sw h e nab r i g h ts o u r c e o f l i g h ti si nt h es c e n e ，as i t u a t i o nu s u a l l ye n c o u n t e r e du n d e rn i g h td r i v i n gc o n d i t i o n s ( f i g1 1 l e f t ) t h eg e n e r a t i o no f t h i sk i n d i m a g e s i n v o l v ea d o u b l er e f l e c t i o n s 。s o o n e p o i n td e c r e a s ei nr e f l e c t i v i t yi sa c t u a l l yt or e d u c es t r a yl i g h ti n t e n s i t yb yt w oo r d e r s o fm a g n i t u d e t h e s eg l a r i n gi m a g e sc a nb es u c c e s s f u l l yc e a s e db yt h eu s eo fa r c o a t i n g s w h e nc o a t e dw i t hm u l t i l a y e r , t h ev i s i b i l i t yo fw i n d s h i e l d si si n c r e a s e d ，a s i l l u s t r a t e di nf i g1 1 i ns o l a rt h e r m a ls y s t e m s ，a n t i r e f l e c t i o nc o a t i n g sh a v eb e e nu s e di np a r a b o l i c t r o u g hc o l l e c t o r st oi n c r e a s et h et r a n s m i t t a n c eo fp r o t e c t i v eg l a s se n v e l o p e st h a ta l e p o s i t i o n e da r o u n dt h er e c e i v e rt u b e a n t i r e f l e c t i v es t r u c t u r e s o ng l a s ss u r f a c ec a n i n c r e a s et h es o l a rt r a n s m i t t a n c ef r o mi n i t i a lv a l u e so f0 9 1t ov a l u e sa b o v e0 9 6 。a l l i m p r o v e m e n to f 0 0 5 i np h o t o v o l t a i cs y s t e m s ，a rc o a t i n g sa l er e q u i r e do na l ls o l a rc e l l si no r d e rt o 1 r e d u c es i g n i f i c a n tr e f l e c t a n c el o s s e s f o rs i l i c o nc e l l s ，s o l a rr e f l e c t a n c el o s s e so f3 6 f o ru n c o a t e dm a t e r i a lh a v e b e e nr e d u c e dt o1 2 u s i n gs i n g l el a y e rt i 0 2s o l g e lf i l i 璐 b ya p p l y i n gd o u b l el a y e rs o l g e lc o a t i n g so fs i 0 2a n dt i o zt os i l i c o n ，t h er e f l e c t a n c e l o s s e sc a l lb e r e d u c e dt oa b o u t3 f o ro p t i c a ls y s t e mh a v i n gm a n yl e n st h es t r a yl i g h ti n c r e a s ea sr e s u ro ft h e e x i s t e n c eo fl a r g en u m b e ro fs u r f a c e s m o r e o v e rt h e r ei sg r e a t e rl i k e l i h o o do fap a i r o fs u r f a c e sc a u s i n gt h es t r a yl i g h tt oc o m et oaf o c u si nt h el - e g i o no ft h ei m a g ep l a n e w h e r e a sas i n g l el a y e ro fm a g n e s i u mf l u o r i d ee x q u i s i t e l yr e d u c e st h es t r a yl i g h t s o m e o f t h e s ee f f e c t s a r e d r a m a t i c a l l y d e m o n s t r a t e d b y f i g 1 2 f i g 1 1 t h e a n t i - g l a r e e f f e c t o f a n t i r e l l e c t i v e c o a t i n g s a s ar e s u l t o f r e d u c i n g u n w a n t e dr e f l e c t i o n sb yw h i c hs t r a yu g h tw i l la l s ob ed e c r e a s e d 2 f i g 1 2t h ev i s i b i l i t yo f t h es c r e e mi sg r e a t l yi m p r o v e dw h e n t h e ya r ea n f i r e f l e c t i v e c o a t e d 1 2p r i n c i p a lo f a rc o a t i n g s w h e nr a d i a t i o ni si n c i d e n to nt h ei n t e r f a c eb e t w e e nt w om a t e r i a l sw i t hd i f f e r e n t r e f r a c t i v ei n d i c e s ，ac e r t a i nf r a c t i o no ft h er a d i a t i o ni sr e f l e c t e d ，w h i l et h er e m a i n d e r i st r a n s m i t t e da n da b s o r b e d a tn o r m a l l yi n c i d e n t ，t h ef r a c t i o no fr a d i a t i o nr e f l e c t e d f r o ma s i n g l eh o m o g e n o u sf i l mo ns u b s t r a t es u r f a c ei sg i v e nb yt h ef o r m u l a ：1 3 t ( ，气一n o ) 2 c o s 2 寺工+ ( n ，2 一n o n , ) 2s i n 2 i 1 工 r = 等手一( 1 ) 砖( 一十n o ) 2 c o s z 寺工+ ( n ，2 + n o n , ) 2s i n 2 i 1 工 w i t hn f r e f r a c t i v ei n d e xo ft l l i nf i l m d ：p h y s i c a lt h i c k n e s so ft h i nf i l m n 。： r e f r a c t i v ei n d e xo ft h es u b s 打a t e n o ： r e f r a c t i v ei n d e xo ft h ei n c i d e n tm e d i u m x ： o p t i c a lp a t h x = 2 n n d t l a c c o r d i n gt oe q u a t i o n1 ，t h er e f l e c t i v i t yo fs u b s t r a t ec o a t e dw i t hat h i nf i l m d e p e n d s o nt h er e f r a c t i v ei n d i c e so ft h ef i l ma n dg l a s s ，a n do nt h ep a t hd i f f e r e n c eo f t h el i g h tr a y si nt h ef i l m ，a n dt h u so nt h ep h y s i c a lt h i c k n e s so ft h ef i l m 正i f o p t i c a l p a t h x = ( 2 m i ) 2 ，m = l ，2 3 o d d m u l t i p l e o f h a l f - w a v e ，t h e nc o s x = 一i ，s i n 2 ( x 2 ) = l ， 3 f i g 1 3s c h e m a t i ci l l u s t r a t i o no fa n t i - r e f l e c t i v ep r i n c i p l e c o s 2 ( x 2 ) = oa n de q u a t i o n ( 1 ) c a nb er e w r i t e na s ： r = ( 每等) 2 圆 r - - ot h e nn = n 。n o a n d x = ( 2 m - 1 ) 2 2 ，m = l ，2 3 s oi fw ew a n tt od e s t r u c t i v e l yi n t e r f e r et h er e f l e c t e dl i g h tf r o mt h ea i r - f i l ma n d f i l m - s u b s t r a t ei n t e r f a c e st om a x i m i z et h el i g h tt r a n s m i s s i o n ( f i g 1 3 ) ，t w oc o n d i t i o n s m u s tb ef u l f i l l e dt oa c h i e v ez e r or e f l e c t i v i t y ： ( i ) t h el i g h ta m p l i t u d e sr e f l e c t e da tb o t hi n t e r f a c e sm u s tb ec q u m t h a ti s n o n r n m = n 6 l i 瑰； ( i i ) 也co p t i c a lp a t hl e n g t hm u s tb ec h o s e nf o rm cr e f l e c t e dw a v et oi n t e r f e r e d e s t r u c t i v e l y ，t h a ti s ，t h e f i l mt h i c k n e s sm u s tb e1 4o far e f e r e n c e w a v e l e n g t h i i lt h eo p t i c a lm e d i u m i fo n eo ft h et w om a t e r i a l sa tt h ei n t e r f a c ei sa i r ( n o = 1 ) ，e q u a t i o n3c a nb e s i m p l i f i e dt o ： 詹籍) 2 f o rat y p i c a l t r a n s p a r e n td i e l e c t r i cm a t e r i a l ，l i k eg l a s s ，1 1 2 1 5 ，t h e r e f o r e ，t h e r e f l e c t a n c ea ta l la i r g l a s si n t e r f a c ei s4 t h et o t a lr e f l e c t a n c ef o rt h et w os u r f a c e s ( n e g l e c t i n ga n yb u l ka b s o r p t i o n li se q u a lt o8 0 4 墅熊里堕堕墅鲤型竖堂堕咝1 1 3m e t h o d sf o rf a b r i c a t i o no fa r c o a t i n g s t h em o s tc o n n o nt e c h n i q u ef o ra na n t i r e f i e c t i o ns u r f a c ei n v o l v e sf o r m i n ga s i n g l et h i nl a y e rw i t hr e f r a c t i o ni n d e xa n df i l mt h i c k n e s sdt h a tm c c te q u a t i o n ( 3 ) ， a n d ( 4 ) ： d = 九1 4 n ( 4 ) w h e r e 孙i st h em i n i m u mr e f l e c t i v ew a v e l e n g t h t a k i n gt h e 百a s ss u b s t r a t e f o re x a m p l e ，i no r d e rt oo b t a i nz e r or e f l e c t i v i t ya t w a v e l e n g t ho f5 0 0 n m ，t h er e f r a c t i v ei n d e xo f t h e t h i nf i l mm u s te q u a l4 1 5 ，o r1 2 2 ， a n dt h i c k n e s sd = 1 0 3 n m h o w e v e r , t h e r ei sn on a t u r a l l ye x i s t e dm a t e r i a lw i t hs u c ha l o wr e f r a c t i v ei n d e x m a g n e s i u mf l u o r i d ew i t har e f r a c t i v ei n d e xo f1 3 8i st h eb e s t a c c e p t a b l em a t e r i a lf o rs u c hp u r p o s e t h eu s i n gm a g n e s i u mf l u o r i d ea sa rm a t e r i a l ， h o w e v e r , i sn o ts a t i s f i e da s ： ( i ) t h e r ei ss t i l lc o n s i d e r a b l er e s i d u a lr e f l e c t a n c eo v e rt h ei n t e r e s ts p e c t r u mr a n g e ； ( i i ) t h ec o a t i n gh a sc o l o r a c c o r d i n g l y , t h r e ew a y st oi m p r o v et h ep e r f o r m a n c eo fs i n g l el a y e ro p t i c a l c o a t i n gh a v eb e e nd e v e l o p e d ： 1 i n t r o d u c en a n op o r o s i t yi nt h et h i nf i l m st or e d u c et h er e f r a c t i v ei n d e x ； 2 c o n s t r u c tf i l ms t a c k so fs e v e r a lh o m o g e n e o u sl a y e r sw i t hd e s i g n e dr e f r a c t i o n i n d i c e s ； ” 3 g r a d u a l l yi n c r e a s et h er e f r a c t i v ei n d e xo ft h et h i nf n m 1 3 1n a n o p o r o u ss i n g l el a y e ra r c o a t i n g n a n o p o r o u ss i n g l el a y e ra rc o a t i n gh a sb e e np r e p a r e d w i t hs o l g e lm e t h o d ，w h i c h i sar e l a t i v e l ys i m p l e ，n o n v a c u u mp r o c e s sa n dc a l lb ep e r f o r m e dw i t hc o m m o n e q u i p m e n t s s o l g e lp r o c e s s e si n v o l v et h ec h e m i c a lp r e c u r s o r s m e t a la l k o x i d ea n d m e t a ls a l t sa r et h em o s tc o m m o n l yu s e ds t a r t i n gm a t e r i a l sf o rs o l g e lp r o c e s s i n g ， w h e r eh y d r o l y s i sa n dc o n d e n s a t i o na r ep r i n c i p l er e a c t i o n s ，a ss h o w ni ne q s 5 - 7 ： t h eh y d r o l y s i so ft h em e t a la l k o x i d e ( m o r ) r e s u l t si nt h ef o r m a t i o no fm e t a l h y d r o x y l ( m o h ) i nt h en e x ts t e p ，c o n d e n s a t i o nb e t w e e nt h eh y d r o x y la n d a l l a l k o x i d e l i g a n d ，o r b e t w e e nt w oh y d r o x y l sr e s u l t si nt h ef o r m a t i o no fa s m e t a l o x y g e n - m e t a lb r i d g e s ，w h i c ha l et h eb a c k b o n eo fa n yo x i d ec e r a m i cs t m c t u r e t h ec o n d e n s a t i o nl e a d st oa ni n c r e a s ei nt h ed e n s i t yo fm e t a l o x y g e n - m e t a l 。a n d e v e n t u a l l yg e l a t i o no rp r e c i p i t a t i o no c x u l 8 e q ( 5 ) m ( o r ) 。+ h 2 0 - ( r o ) 。- l m o h + r o h e q ( 6 ) ( r o ) , , q m o h + ( r d ) m ( r o ) 。- 1 m 一0 一m ( o r ) q + r o l l e q ( 7 ) ( r o ) 。_ l m o h + ( r o ) 。m o h ( r o ) 。- l m 一0 一m ( o r ) 。- i + r o h t h es o l g e lp r o c e s s ，a ss h o w na b o v e ，a r ep r o f o u n d l ya f f e c t e db ym a n yf a c t o r s ， s u c ha se l e c t r o n e g a t i v i t yo ft h em e t a l ，t h es t r u c t u r eo ft h ea l k y ll i g a n d ，p hv a l u e ， s o l v e n t ，c o n c e n t r a t i o n ，t e m p e r a t u r e ，a n dp r e s s u r e o no n eh a n d ，t h e s ev a r i a b l e sm a k e s o l g e lp r o c e s s i n gd i f f i c u l tt oc o n t r 0 1 o nt h eo t h e rh a n d ，h o w e v e r ，t h e s ev a r i a b l e s p r o v i d eg r e a tf l e x i b i l i t yi nd e s i g n i n gm a t e r i a ls t r u c t u r ea n dp r o p e r t i e sw h i c hc a nb e a c h i e v e dw i t hs o l g e lp r o c e s s i n g s i n g l e l a y e rs o l - g e lo p t i c a lc o a t i n g sh a v eb e e nd e p o s i t e do n a v a r i e t yo fs u b s t r a t e s b ys e v e r a lt e c h n i q u e ss u c ha sd i p ，s p i n ，s p r a y ，o rr 0 1 l e rc o a t i n g av a r i e t yr o u t sh a v e b e e ne x p l o r e df o rs i n g l e l a y e ra r c o a t i n g so i lp l a s t i c s ，a sw e l la sg l a s s e s ，i n c l u d