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文档简介

1 目的：通过AOI光学检查机对外层板蚀刻后板面进行检验，为外检的批量检查，品质鉴定提供工作指引。2 适用范围：外检课检验作业。3检验工具：100X 、3X 、10X放大镜、AOI机。4检验方法：分为目视与AOI扫描两种方式。4.2干膜首件专人、专机扫描机检测，扫描参数定义好后须经当站技术以上人员同意后才可调整。检测要求：量产前首件扫描1PNL，过程中每72PNL抽测2PNL，扫描1PNL，核对1PN；样品与小于72PNL的小量产可按要求检验。5不良板分析图： 5.1残铜、凸出：残铜 残铜AD/5凸出凸出BD/5残铜LD 注：相邻线2.5MM内不允许有两处残铜或凸出缺口 5.2焊盘缺损：孔中心 A2MIL 注：1.缺口小于焊盘的十分之一 2.中心孔到缺口区需保留2MIL 5.3线路缺口、针孔：线宽AW/5BW/5LW 注：一条线长2.5MM内不允许有两处缺口或针孔5.4不合格品：内外层蚀刻板经检验有不良缺陷已超出检验范围即判定为不合格，且将不良缺陷在板面用表示开路，表示缺口/针孔，表示短路/残铜， 表示固定的缺陷。6判定标准：详见下表。外层组检验标准：实物图片缺陷图片解说明使用工具作业方法异常处理缺陷说明 (图1)断线（膜碎） (图2)缺口 (图3) 线细 (图4)脏点 (图5)脱膜 (图6)铜渣 (图7) 蚀刻不净修刀10倍镜50倍镜AOI机VRS机1. 单元内任何形式的开路均不允许(图1)23. 不影响设计线宽的20%,任何方向的长度要5mil(图2)4.线路减少不得大于原设计线宽的-20%(图3)5. a.任何脏点不允许造成短路。 b.脏点造成残铜，面积不可超过5mm2(图4)6.脱膜不允许影响设计线宽的20%(图5)7.残铜面积不允许超过5mm2或造成线路桥接和铜面粗糙(图6)8. 任何因蚀刻不净造成短路都不允许(图7)9. 干膜板刮伤造成短路不允许。 (图8)10. 残铜面积不允许超过5mm2或造成短路不允许。(图19)11. 成型区内无底铜刮伤造成断线等问题不允许。(图10)12. 人为刮撞伤造成线路弯曲或断线不允许。(图11)重工报废实物图片缺陷图片解说明使用工具作业方法异常处理缺陷说明 (图8)干膜板刮伤 (图9) 有底铜刮伤 (图10)无底铜刮伤 (图11) 刮撞伤 (图12)孔偏 (图13)残缺 修刀10倍镜50倍镜AOI机VRS机13.孔偏破边不超过焊盘的1/4，且不允许造成断脖子。14.满足最小线距要求,不影响原线宽的20%。15.a.任何金手指、焊盘不允许有缺损现象。b.铜面缺损不允许超过5mm2。三、说明：1.在前制程中造成的不良问题(如短路、残铜、凸出等),在客户允许的修补的范围内进行修补，使产品在完全良好的状态下流入下制程。 2.修补短路时用刀片随着线路边缘的两边切开，再用刀片刮开，修补时所造成的线路凸出或缺口不得影响原线宽的20%,如客户有特殊要求时,即按照客
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