（电路与系统专业论文）基于gmr传感器的可辨向齿轮转速传感器的设计.pdf

杭州电子科技大学硕士学位论文杭州电子科技大学硕士学位论文 基于基于 gmrgmr 传感器的可辨向齿轮转速传感器传感器的可辨向齿轮转速传感器 的设计的设计 研研 究究 生：生： 孟庆丰 指导教师指导教师： 钱正洪 教授 2012 年 12 月 dissertation submitted to hangzhou dianzi university for the degree of master design of direction-discernible gear sensor based on gmr candidate: qingfeng meng supervisor: professor zhenghong qian december, 2012 学位论文原创性声明和使用授权说明学位论文原创性声明和使用授权说明 原创性声明原创性声明 本人郑重声明： 所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中 已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品或成果。对本文的研究 做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。 申请学位论文与资料若有不实之处，本人承担一切相关责任。 论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文使用授权说明学位论文使用授权说明 本人完全了解杭州电子科技大学关于保留和使用学位论文的规定，即：研究生在校攻读学位期间论 文工作的知识产权单位属杭州电子科技大学。本人保证毕业离校后，发表论文或使用论文工作成果时署名 单位仍然为杭州电子科技大学。学校有权保留送交论文的复印件，允许查阅和借阅论文；学校可以公布论 文的全部或部分内容，可以允许采用影印、缩印或其它复制手段保存论文。 （保密论文在解密后遵守此规 定） 论文作者签名： 日期： 年 月 日 指导教师签名： 日期： 年 月 日 杭州电子科技大学硕士学位论文 i 摘要摘要 随着工业技术的发展，在工程实践中，经常会遇到各种需要测量转速的场合。例如在发 动机、电动机、机床主轴等旋转设备的控制中，常需要对电机的转速及其转动方向进行精确 的测量、并且显示。由于电机的转动与齿轮的转动是同轴的，那么测量电机的转速、转向可 以转化为测量齿轮的转速、转向。齿轮转速传感器是将旋转物体的转速信息转换为电量输出 的传感器。 市场上目前应用最多的齿轮转速传感器主要有三种：光电式、磁电式和霍尔式齿轮转速 传感器。虽然，它们分别具有各种各样的优点，但是这些齿轮转速传感器也存在一些缺点， 如要么易受振动冲击，油污、粉尘及杂质等恶劣环境的影响，要么信号幅度的变化取决于信 号转子的转速，或者受传感芯片灵敏度的限制，测量间距不够大。而且，以上传感器都较少 包含对转动方向的测量。 本文采用灵敏度很高的巨磁阻 （gmr） 芯片 va100f3 作为敏感元件设计了一款宽测量间 距的可辨向齿轮转速传感器。并对测量转速及方向测量的可行性利用 ansoft maxwell 软件进 行了验证，通过仿真得出：在一定的测量间距下，磁场的变化在 gmr 芯片的工作范围内； 每经过一个齿出现一个完整的正弦波； 两路相差1/4齿间距位置的磁场输出信号也是相差90 相位。这证明了采用文中的设计方法可以设计出具有辨向功能的齿轮转速传感器。 本文详细介绍了该传感器的信号处理电路及单片机处理电路的各个部分的功能和特点。 在转速测试平台上，对文中研制的传感器进行性能测试，测试结果证明该传感器测量精度高， 可精确辨向，而且相较于霍尔传感器测量间距较宽。 总之，本文设计了一种不仅可以测得齿轮转动而且还可以辨别齿轮的转动方向的齿轮传 感器，它的测量间距可以达到 45mm，可以精确测量齿轮转动的方向。 关键字：齿轮转速传感器，gmr，辨向 杭州电子科技大学硕士学位论文 ii abstract with the development of industrial technology, we will encounter a variety of occasions in which measurement of the speed is needed. in these kinds of occasions, such as in the control of the engine, electric motor, spindle and other rotating equipment, we often need to accurately measure the speed and rotation sense of the motor, and display them. since the rotation of motor and the rotation of gear are coaxial, the rotation speed and rotation direction sense of the motor can be known by measuring the gears rotation speed and rotation direction. gear speed sensor is a sensor which can convert the speed of the rotating object into electrical output. currently, the most widely used gear speed sensors are these three types: photoelectric gear speed sensor, magneto-electric gear speed sensor, hall type gear speed sensor. photoelectric gear speed sensor can be easily influenced by shock vibration, greasy dirt, dust and other impurities. the changes of the magneto-electric gear speed sensors signal amplitude depend on the signal rotors speed, and hall type gear speed sensor is limited by the sensitivity of sensing chip which makes its measure distance large. moreover, the sensors above rarely contain the measurement of rotation direction. in this paper, using the giant magneto-resistance(gmr) chip va100f3 with high sensitivity as sensitive component for designing a gear speed sensor which has a wide measure distance and the ability of telling the rotation direction. a inspection is done to find out the feasibility of the measurement of speed and rotation direction by using ansoft maxwell software, and we get the conclusion that the change of magnetic field is under the operating range of gmr chip in certain measurement pitch. we can get a full sine wave after each one tooth passed, and the two magnetic field output signals between which there is a distance of 1/4 tooth pitch have a difference of 90 .this proves that using the design method in this paper can design a gear speed sensor with function of direction sensing. the article also details the functions and characteristics of the various parts of the sensors signal processing circuit and single chip microcomputer data processing circuit. finally, using gear speed sensor test platform which is independently designed by our laboratory to verify the performance of this sensor in measuring wide spacing and distinguishing the rotation direction. in short, we design a not only measured gear speed, but also can identify the gear was the direction of rotation of gear sensor measurement can reach 4 to 5 mm spacing can accurately 杭州电子科技大学硕士学位论文 iii measure the direction of gear rotation. keywords: gear speed sensor, giant magneto-resistance; discernible direction 杭州电子科技大学硕士学位论文 iv 目录目录 摘要 . i 目录 . iv 1 1 绪论绪论 . 1 1.1 齿轮转速传感器概述 . 1 1.1.1 机械式转速传感器 . 1 1.1.2 磁电式转速传感器 . 2 1.1.3 光电转速传感器 . 2 1.1.4 霍尔转速传感器 . 3 1.1.5 磁敏式转速传感器 . 4 1.1.6 测速发电机 . 4 1.1.7 方向检测 . 4 1.2 国内外现状及发展趋势 . 5 1.3 巨磁阻齿轮传感器发展现状 . 6 1.3.1 巨磁阻效应传感器的应用 . 6 1.3.2 巨磁阻齿轮转速传感器的发展 . 7 1.4 目的和意义 . 7 2 2 巨磁阻芯片巨磁阻芯片. 9 2.1 巨磁阻效应概述及发展应用 . 9 2.2 gmr 磁敏传感器工作原理. 11 2.3 巨磁阻芯片 . 12 2.3.1 多层膜式 . 12 2.3.2 自旋阀式 . 13 2.3.3 本文设计所用芯片 . 13 3 3 可辨向巨磁阻齿轮转速传感器的检测原理及仿真可辨向巨磁阻齿轮转速传感器的检测原理及仿真 . 15 3.1 转速大小检测原理 . 15 3.2 转速方向检测原理 . 16 3.3 仿真验证 . 17 4 4 传感器硬件设计传感器硬件设计. 21 4.1 传感模块（脉冲输出模块） . 21 4.1.1 gmr 芯片采集及隔直电路. 21 4.1.2 电源电路及 vcc/2 基准电压产生电路 . 22 4.1.3 信号放大电路 . 23 4.1.4 信号整形电路 . 24 4.1.5 信号输出电路 . 25 4.2 单片机数字处理模块 . 26 4.2.1 单片机最小系统 . 26 杭州电子科技大学硕士学位论文 v 4.2.2 ttl 电平转换电路 . 27 4.2.3 lcd 显示电路 . 27 4.2.4 按键调节电路 . 28 5 5 传感器软件设计传感器软件设计. 29 5.1 主程序 . 29 5.2 子程序 . 31 5.2.1 初始化子程序 . 31 5.2.2 按键调节子程序 . 32 5.2.3 中断子程序 . 32 5.2.4 lcd 显示子程序 . 33 5.2.5 延时子程序 . 33 6 6 传感器测试与分析传感器测试与分析 . 35 6.1 巨磁阻齿轮转速传感器的测速性能 . 35 6.2 巨磁阻齿轮转速传感器的辨向功能 . 36 6.3 信号输出占空比性能 . 37 6.4 其它分析 . 39 7 7 总结与展望总结与展望. 40 7.1 总结 . 40 7.2 展望 . 40 致谢致谢 . 41 参考文献参考文献 . 42 附录附录 . 44 杭州电子科技大学硕士学位论文 1 1 1 绪论绪论 1.1 齿轮转速传感器概述 齿轮转速传感器是一种将带有齿轮形状的旋转物体的转动速度转换为电信号输出的传感 器 1。它属于一种间接性的测量装置，可用多种方式进行生产，比如机械、电气、磁、光和混 合式等 1。根据信号的输出形式不同，转速传感器可分为模拟式输出和数字式输出两种。模拟 式的输出信号值是转速大小的线性函数，数字式的输出信号频率与转速大小成正比，或其信号 峰值间隔与转速大小成反比。 在网络上搜索“转速传感器”，可知转速传感器的种类繁多、应用极广，其原因是在自动 化仪表和自动控制系统中都会使用大量的各种类型电机，在不少场合下对低速（如每小时一转 以下）、高速（如每分钟数十万转）、稳速（如误差仅为万分之几）、瞬时速度的精确测量和 转速的方向测量都有着比较严格的要求。 无论是在工业测量及自动控制领域还是在汽车安全等领域， 转速传感器都发挥着极其重要 的作用 2。在与机械转动相关的设备中，在设备的转动过程中需要实时准确的检测其转动速度 的大小或旋转的角度大小，以确保生产出的产品质量和产品精度。在摩托车及汽车工业中，转 速传感器可被应用在刹车系统（abs）中，通过检测其行驶的速度进而对其进行制动 3-4。在电 机马达行业中，为了使其达到非常稳定转速的工作状态， 我们对转速的控制需要首先用转速传 感器来测量其速度，然后通过特定的反馈系统反馈后才可以得到稳定的速度输出 5-6。除此之 外，转速传感器于军工、冶金、石油及化工等领域被广泛地应用 7。 目前常用的转速传感器有机械式、磁电式、光电式、磁敏式、霍尔式以及测速发电机等， 以下将一一对其简略介绍。 1.1.1 机械式转速传感器 干簧管是一种性能相对较好的一种机械式转速传感器。 在测量系统的转轴上把传感器与其 同轴安装，在靠近干簧管的转轴上把永磁铁固定（使磁铁随着转轴一起转动），并在靠近永磁 铁的机架上将干簧管固定。这样可以得出，每旋转转轴一周，就会使永磁铁与干簧管相互接近 一次，进而使干簧管内的两个舌簧片接触一下，这样电路就会发生一次短路现象，继而有一个 脉冲信号输出。 干簧管转速传感器的构造简单、体积小、防水防尘，而且成本低廉 8。但是由于干簧管内 的舌簧片有一定的机械惯性，在使用较长时间以后，舌簧片会因疲劳而断裂，因此干簧管的使 用寿命有限，而且其测量精度较低 8。在众多种类的转速传感器中这种传感器性价比不是很高 10。 杭州电子科技大学硕士学位论文 2 1.1.2 磁电式转速传感器 磁电式转速传感器是通过磁电感应来测量设备的转动速度的一种装置， 它属于非接触式测 量方式。磁电式转速传感器可用于表面有缝隙（如齿轮）的物体的转速测量，有较好的抗干扰 性能，多数用于发动机等设备的转速监控，在工业生产中有较多应用 9。 如图 1.1 可知，磁电式转速传感器由软铁芯、绕组、永久磁铁等部件组成的，被测量设备 在转动时，转速传感器内部的绕组会产生磁力线，齿轮转动会切割磁力线，而磁路由于磁阻变 化，在感应线圈内产生电动势。磁电式转速传感器的感应电势所产生的电压大小，与被测对象 的转速有关， 被测物体的转速越快其输出的电压也就越大，也就是说其输出电压和转速大小成 正比 9。 但是在被测物体的转速大小超过磁电式转速传感器的测量范围时， 磁路损耗将会过大， 使得输出电势饱和甚至是锐减。 图 1.1 磁电式转速传感器工作原理 磁电式转速传感器的工作维护成本较低，运行过程无需其他供电，完全是靠磁电感应来实 现转速测量的，并且磁电式转速传感器的运转也不需要机械动作，无需润滑。磁电式转速传感 器的结构紧凑、安装使用方便、体积小巧，可以和各种二次仪表搭配使用。线圈也采用特殊结 构，使其抗干扰能力增强，可在烟雾、油气、水气等恶劣环境中使用，获得了广泛的应用 9。 然而，它也存在一些不足之处：（1）它的响应频率不高，这是由于当转速过高时，传感 器的频率响应跟不上；（2）其输出信号的幅值大小决定于转轴的转动速度的大小，使得其低 速转动的信号输出的性能比较差；（3）由于是磁电式测量，使其抗电磁波的干扰能力比较差； （4）磁电转速传感器的测量间距要求小于 2mm 11-12。 1.1.3 光电转速传感器 光电式转速传感器是一款常用的转速传感器， 它是根据光敏二极管的工作原理制造出的一 种感应接收光强度变化的一种电子器件 13。当发射源发出的光被所测目标反射或者被阻断时， 将会使接收端感应并发出相应的电信号。它主要是由光源部分、光敏二极管部分、光电盘部分 及检波放大电路部分等组成 14。 当转轴转动时， 由于光电盘与转轴同轴， 光电盘也会随着转动， 而光敏二极管会将透过光电盘发射过来的光信号转换为可利用的电信号 14， 然后通过计算计数 脉冲的频率，可得出此转轴的转速大小。 杭州电子科技大学硕士学位论文 3 这种光电编码盘的机械结构比较复杂、可靠性也相对较差。如图 1.2 所示，它又分为投射 式（图 1.2a）和反射式（图 1.2b）两类。 投射式光电转速传感器的读数盘和测量盘有着间隔相同的缝隙， 当测量盘随被着测物体转 动时，每转过一条缝隙，由于缝隙透光及缝壁遮光，会使光敏元件（如光敏二极管）上的光线 发生一次明暗变化，光敏元件会输出一个脉冲信号，对脉冲进行处理并输出 15。 反射型光电传感器是在测量轴设置有具有不同发射率部件（作反射标记用），由光源发射 的光入射到被测量的轴，期间光线通过了透镜和半透膜。当转轴旋转时，由于做标记的部位对 投射光的反射率产生变化。 由于反射率变大或变小可以使光敏元件上将产生脉冲信号或不产生 脉冲信号， 所以可以利用这个特性来判断转速的大小。在一定时间内对信号计数便可测出转轴 的转速值 13。 图 1.2（a）投射式光电转速传感器 （b）反射式光电转速传感器 由于采用光电测量的方法灵活多样，而且可测参数众多，大多数情况下它又具有非接触、 高可靠性、高精度、高分辨率和快速响应等方面的优点，加之激光光源、光栅、光学码盘、ccd 器件、 光导纤维等的相继出现以及被成功的应用，使得光电传感器在检测和控制领域得到了广 泛的应用 13。但光电式转速传感器也具有易受振动冲击，粉尘、油污以及杂质等恶劣环境影响 的特点。 1.1.4 霍尔转速传感器 霍尔式转速传感器是采用霍尔元件设计的。而霍尔元件是基于霍尔效应原理设计的。而霍 尔效应是指当一个半导体材料(做成产品就称为霍尔元件) 放在磁场中时，当它有电流通过并 且电流方向有分量与磁场方向垂直时， 在由于洛仑兹力的作用下半导体材料中的电荷会向其中 一侧偏移， 半导体材料的两个横向侧面上将产生一个电压，这个电压的大小与磁场强度大小和 电流大小都成正比，这个电压就被称为即霍尔电压 14。 当由磁性材料制作的转子上的凸齿交替 经过永磁铁的周围时，就会有一个接近正余弦变化的磁场作用于霍尔元件（半导体材料）上， 使霍尔元件产生一个（根据所使用的芯片不同，有时会产生两个）脉冲信号，继而根据电路所 产生的脉冲数目即可检测转速大小。 霍尔效应式转速传感器最大的特点是可以在任意慢速下检测运动磁性物体的速度， 它的另 一个重要特点是由于市场用量大，它的信号处理电路包括电源电路通常也集成在同一个封装 中，无需用户外加信号处理这部分电路，这使其应用更加方便。但是由于霍尔传感器芯片的灵 杭州电子科技大学硕士学位论文 4 敏度相对较低，所以其测量间距较小，使齿轮与传感器要保持比较近的检测距离，这样由于安 装间距太近容易使二者相互碰撞造成传感器的损坏。 1.1.5 磁敏式转速传感器 磁敏电阻是根据半导体的磁阻效应制作而成的一种磁敏元件， 磁敏式转速传感器即是采用 磁敏电阻作为敏感元件。 物理磁阻效应是指在一个长方形的半导体晶片被同时作用两个方向相 互垂直的磁场和电流， 会出现半导体晶片的电流密度下降进而使电阻增大的现象 14。 具体是指， 在通电的半导体上加一定大小的磁场时，由于洛仑兹力的作用使载流子 （无磁场时在半导体中 作直线运动）偏离了原来的运动方向，这样就使载流子通过半导体的路程与时间延长了，也就 直接促使它们和晶格杂质原子与晶格缺陷碰撞的机会增加了许多，进而使电子的迁移率降低 了， 也就是说半导体中的电流方向发生了一定程度地偏转， 结果延长了电流经过半导体的路经， 宏观地表现就是元件电阻的增加 14。此外，磁敏元件的阻值的变化还与半导体薄片的几何形状 有一定的关系，当半导体薄片的长度方向的尺寸远小于宽度方向的尺寸时，磁敏元件会有较大 的磁阻效应 14。而磁敏电阻就是利用上述两种效应做成的敏感元件。 磁敏式转速传感器具有以下特点：信号的输出幅值大，灵敏度高，可以测量较低的转速且 其检测距离也相对于霍尔式传感器远一些，但是 insb 磁敏电阻的温度系数比较高，在使用的 时候还必须要考虑其工作温度变化对它的影响 14。 1.1.6 测速发电机 测速发电机是一种输出电动势与转速大小成比例的微特电机。 利用测速电机来测量转速的 方法与机械式传感器一样属于接触式的机械测量方法， 不同的是它是利用齿轮传动来带动测速 发电机去发电，通过测量电能大小，从而间接的将转轴速度测量出来 16。测速发电机的绕组与 磁路经过非常精确的设计， 使其输出电动势 e 和转速 n 成线性关系。在被测设备与测速发电机 安装为同轴联接时，只要测量出其输出电动势，就能获得被测设备的转动速度，所以测速发电 机又被称为速度传感器。 测速发电机的输出感应电动势 e 和转速 n 成线性关系如式（1.1），其中 k 是常数即： =e kn （1.1） 这种转速测量系统原理非常简单，但它也存在一定的缺点：精度较低，这是由于测速发电 机的输出电动势 e 与转速 n 并不是非常严格的线性关系。 1.1.7 方向检测 在工业控制及自动化仪器仪表中，有时不止需要测量转速的大小，还需要测量转动轴的转 动方向，比如需要测量转动的总位移时，就需要把轴转动的正向位移与反向位移都测量出来。 采用的方式是采用两路信号输出，通过辨别两路输出信号的先后顺序来判断转轴的转动方向。 而以上转速传感器中大多都可利用此方法来检测方向，只不过具体实现方式不同罢了，但是常 用的有光电式、霍尔式及巨磁阻式，因为这几种比较容易实现。图 1.3 为具体的实现方式： 杭州电子科技大学硕士学位论文 5 图 1.3 （a）光电式辨向原理 （b）gmr 及霍尔式辨向原理 1.2 国内外现状及发展趋势 转速传感器应用广泛，在机械驱动系统中，各类旋转动力设备度需要对转矩、转速进行测 量，这是一种常规检测项目，转速的测量是最基本的要求，因为几乎所有系统都需要速度量进 行下一步运转。转速传感器被广泛应用于工程实践和科学研究领域。随着科学技术的发展和生 产力的进步， 各类系统中需要更小型化、 智能化的产品， 这就要求设计这种性能更加的产品 17。 转矩转速传感器市场前景看好。随着低功耗微电子技术的发展，转矩转速传感器的性能也 越来越好，可测的精度与转速也越来越高，在可靠性、长期稳定性、环境适应性上都获得了长 足的发展。随着转矩转速传感器在设计、工艺、技术等方面不断发展，生产成本不断降低，转 矩的测量和应用也会更加广泛 17。 同时，因为市场发展前景看好，未来的市场机遇和市场容量吸引着更多的竞争者，有更多 的生产企业计划或已进入到这一市场。随着转矩转速传感器市场中的竞争者数量的增多， 转矩 转速传感器市场的竞争程度也将愈发激烈。但从另一方面看，竞争也会进一步促使转矩转速传 感器市场更加健康地发展， 促使企业加速规模化和产业化发展， 一大批技术水平高、 专业性强、 经营好的品牌将会得到更高层次的发展 17。 全球各国对传感器技术普遍重视，传感器产业发展十分迅速。全球传感器市场规模持续增 长。2008 年全球传感器市场容量为 506 亿美元，预计 2010 年全球传感器市场规模达 600 亿美 元以上。就世界范围而言，传感器市场上增长最快的是汽车市场版块，其次是工业控制市场版 块 17。我国目前年产汽车超过 1000 万辆，2011 年全球汽车产量为 8100 万辆，对于齿轮传感 器的需求数量巨大，汽配市场需求更大远大于新车市场。 国际市场上，转矩转速传感器正向着微型化、数字化、多功能化、智能化和网络化的方向 发展，对产品的制造工艺和材料提出了更高要求。各种类型的传感器如磁敏、气敏、力敏、热 敏、 光电、 激光等多种传感器也应运而生， 转矩转速传感器的材料也将从金属发展成为半导体、 陶瓷、光学纤维等材料。微型化、智能化、非接触测量和 mems 传感技术也将逐步取代传统的 机械式、应变片式、滑动电位器等传感技术。今后不管是在国内还是国际市场上，各大转矩转 速传感器厂商在市场上的比拼重点，将是提升传感器的技术含量，扩大转矩转速传感器应用范 围，降低生产成本，并推动新的技术革命，促进传感器工业的发展 17。 目前， 全球的传感器市场在不断变化的创新之中呈现出快速增长的趋势。传感器领域的主 要技术将在现有基础上予以延伸和提高，各国将竞相加速新一代传感器产品的开发和产业化， 杭州电子科技大学硕士学位论文 6 竞争也将日益激烈。 近些年， 东欧、 亚太区和加拿大等地已经成为传感器市场增长最快的地区， 而美国、德国依旧是传感器市场分布最大的地区 17。 目前传感器界的最大特点就是不断引入新技术发展新功能， 作为传感器市场分布最大的国 家之一的美国在研究传感器技术的方面也处在领先地位。如 adi 公司（analog devices inc） 将 mems 传感器与集成电路相结合，开发出一款 adsl001 工业振动和冲击传感器 17。 美国的 nve 公司已经在车辆的交通控制系统中使用 gmr 传感器。不仅可以利用 gmr 传 感器探测静止车辆的信息，而且可以探测车辆移动的信息 1。如果在不同位置同时放置两路 gmr 传感器， 所通过车辆的车身的长度及行驶的速度均可以被探测出。 三年前 （2009 年） magic 公司发表了一个专利：测量齿轮的旋转速度的传感器（采用单个磁电阻电桥的齿轮传感器）。 齿轮转速传感器拥有很大的产品应用市场，但是这个市场的分布却是很分散的。它在汽车 转轴的转速测量、abs（防抱死制动系统）以及其他拥有齿轮状（或类似齿轮形状）的磁性介 质结构等领域都具有非常广泛的应用。但如今这个市场基本上都是被一些国外产品所垄断，只 少数的国防产品的配套零件才使用国内产品，或在低端市场上有少量市场。所以说，国内对齿 轮传感器的产业化状况还不深入， 只是做一些低端市场。 在德国， 传感器行业的发展十分迅速， 德国的转矩转速传感器也在全球市场上占有重要的地位。 德国的知名企业也在积极地研究传感 器技术，结合微电子技术，开发转矩转速传感器产品，推动转矩转速传感器行业的发展 17。 另外，目前霍尔元件依然是该领域主要的传感芯片，而 gmr 元件所用的还很少。而由下文 可知巨磁传感器用于齿轮传感器上有许多方面的优势， 可以预见 gmr 元件在该领域具有良好发 展前景。 1.3 巨磁阻齿轮传感器发展现状 传感器芯片是齿轮转速传感器设计的核心部分。本文主要利用磁敏传感器芯片系列中的 gmr（巨磁阻）芯片。 1.3.1 巨磁阻效应传感器的应用 巨磁阻（包括两种方式：多层膜和自旋阀，详见文章第二章）磁性传感器目前正在迅速蓬 勃的发展。 目前可以