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文档简介

,氦质谱测漏仪北京亚科晨旭科技有限公司,一、工作原理,灯丝加热电子电离室内残气和漏孔氦气进入均匀电场分离放大测量加热：产生电子电压：给电子加速碰撞：电离气体均匀磁场：离子圆周运动，半径不同，离子分离,核心公式：R为离子偏转轨道半径;B为磁场强度;M/Z为离子的质量与电荷之比;U为离子的加速电压信息：当B,U不变时，不同核质比M/Z的离子，圆周半径不同，不同离子被分离；当R,B为固定值时,改变加速电压,可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。,下图所示为不同压力下的粒子流强度我们需要的粒子流强度,二、氦质谱检漏方法,漏点型（定性）：确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置喷氦法（抽真空喷氮检测）-注意方向漏率型（定量）：不确定检测器件的漏点或漏孔的位置和数量，只是计算漏率（在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量）,三、常见的两种检漏仪,单级磁偏转型氦质谱检漏仪双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪,单级磁偏转型氦质谱检漏仪,步骤：当质谱室内的总压强（真空度）10-6MPa时，电离室中由钨丝制成的灯丝启动，加热后产生高速电子轰击离子源中的气体分子，使分子电离大部分的气体分子都能变成离子，离子在电场中被（加速电压）加速，从而进入与其垂直的偏转磁场，不同质量数的离子其偏转半径不同加速电压使得氦离子可以打到放大器的入口（电子倍增器），从而检测出氦离子流的强度，氦离子流与容器内的氦分压成正比，因此对氦离子的测量可以确定被检件的漏率,双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪,与单级磁偏转型氦质谱检漏仪相比较：离子在进入第二个分析器前再次被加速，减少了非氦离子到达收集器的机率仪器本底及本底噪声显著地减小，同时提高了仪器灵敏度,问题一：抽真空的真空
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