洁净室等级标准.ppt

空气洁净技术 华南理工大学研究生学院杨波 第2章空气洁净度标准与控制对象 2 1洁净度等级标准说明 工程中所依据的各项标准和规范 重要内容应记录在脑子里 空气洁净度 洁净空气中含尘量多少的程度 即含尘浓度 含尘浓度高则洁净度低 含尘浓度低则洁净度高 1 美国空军技术条令世界上第一个洁净度标准 1961年3月问世 美国联邦标准的基石 2 美国联邦标准2091963年12月问世 0 5 m5 0 m 2 1洁净度等级标准 3 现在标准美国联邦标准fs209e 表2 1美国联邦标准 usafederalstandard 209e 1992年 2 1洁净度等级标准 3 现在标准中国国家标准gb50073 2001 等同采用国际标准iso14644 1 特点 与旧规范相比 控制粒径2种增加到6种 4个级别增加到9个级别 另 允许采用整数间的中间级别 表2 2洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 2 1洁净度等级标准 各种要求粒径d的粒子最大允许浓度cn由公式 2 1 确定 2 1 式中 cn 大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度 pc m3 cn是以四舍五入至相近的整数 有效位数不超过三位 n 洁净度等级 数字不超出9 洁净度等级整数之间的中间数可以按0 1为最小允许递增量 d 要求的粒径 m 其值为 0 1 5 0 0 1 常数 其量纲为 m 2 1洁净度等级标准 3 现在标准医药工业洁净厂房空气洁净度标准gmp 97 中国药品生产洁净室 区 的空气洁净度标准 表2 3中国药品生产洁净室 区 的空气洁净度标准 注1 大于100000级的参数是参考美国联邦标准洁净室和洁净区内空气浮游粒子洁净等级 注2 空气洁净度的测试以静态条件为依据 测试方法应符合国家医药管理工业洁净室和洁净区悬浮粒子的测试方法 中有关规定 注3 对于空气洁净度为100级的洁净室 室内大于等于5 m尘粒的计数 应进行多次采样 当其多次出现时 方可认为该测试数值是可靠的 2 1洁净度等级标准 3 现在标准基于 0 5um粒径的各国洁净度等级近似对照表 基于 0 5um粒径的各国洁净度等级近似对照表 2 2洁净度的控制对象 控制对象 最小微粒直径 微粒数量 一 控制的最小粒径 1 生产的机械角度考虑 2 白炽灯作光源的散射光式粒子计数器测试 3 大规模集成电路生产要求控制0 1 m 二 控制的微粒数量原则 1 现有措施能达到 2 经济上能明显区别 3 记忆方便 2 2洁净度的控制对象 三 被控制的含尘浓度的具体规定1 何状态下的含尘浓度动态 静态 空态2 何范围内的含尘浓度离地0 8 1 5m高的区域 第2章空气洁净度标准与控制对象 2 1洁净度等级标准说明 工程中所依据的各项标准和规范 重要内容应记录在脑子里 空气洁净度 洁净空气中含尘量多少的程度 即含尘浓度 含尘浓度高则洁净度低 含尘浓度低则洁净度高 1 美国空军技术条令世界上第一个洁净度标准 1961年3月问世 美国联邦标准的基石 2 美国联邦标准2091963年12月问世 0 5 m5 0 m 2 1洁净度等级标准 3 现在标准美国联邦标准fs209e 表2 1美国联邦标准 usafederalstandard 209e 1992年 2 1洁净度等级标准 3 现在标准中国国家标准gb50073 2001 等同采用国际标准iso14644 1 特点 与旧规范相比 控制粒径2种增加到6种 4个级别增加到9个级别 另 允许采用整数间的中间级别 表2 2洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级 2 1洁净度等级标准 各种要求粒径d的粒子最大允许浓度cn由公式 2 1 确定 2 1 式中 cn 大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度 pc m3 cn是以四舍五入至相近的整数 有效位数不超过三位 n 洁净度等级 数字不超出9 洁净度等级整数之间的中间数可以按0 1为最小允许递增量 d 要求的粒径 m 其值为 0 1 5 0 0 1 常数 其量纲为 m 2 1洁净度等级标准 3 现在标准医药工业洁净厂房空气洁净度标准gmp 97 中国药品生产洁净室 区 的空气洁净度标准 表2 3中国药品生产洁净室 区 的空气洁净度标准 注1 大于100000级的参数是参考美国联邦标准洁净室和洁净区内空气浮游粒子洁净等级 注2 空气洁净度的测试以静态条件为依据 测试方法应符合国家医药管理工业洁净室和洁净区悬浮粒子的测试方法 中有关规定 注3 对于空气洁净度为100级的洁净室 室内大于等于5 m尘粒的计数 应进行多次采样 当其多次出现时 方可认为该测试数值是可靠的 2 1洁净度等级标准 3 现在标准基于 0 5um粒径的各国洁净度等级近似对照表 基于 0 5um粒径的各国洁净度等级近似对照表 2 2洁净度的控制对象 控制对象 最小微粒直径 微粒数量 一 控制的最小粒径 1 生产的机械角度考虑 2 白炽灯作光源的散射光式粒子计数器测试 3 大规模集成电路生产要求控制0 1 m 二 控