（物理电子学专业论文）微腔有机发光器件的设计与制作.pdf

摘要 有祝发光器件( o l e d ) 已成为显示技术研究的热点，它的一些特有的优点被 认为是未来最有竞争力的龆示器。 光学微胶是目前凝聚态物理的研究热点，它能够改变自发发射的特性( 谱线 瓷疫、发光强度等 。为了突瑷套援发竞豹彩色显示、搓毫发光效攀，凌有梗发 光器件( o l e d ) 形成微腔结构。 本文介绍了o l e d 的研究现状、微腔的基本原理及它的应用。从中可以看 感，徽菠不仅对予实理毒掇发光彩色显示跫一个缀簿戆方寨，对熬个跫毫子产 娩都具有深远的影响。 论文论述了微腔有机发光器件( m o l e d ) 的设计方法、计算过程和结果。理 论分辑表明：通过调节腔长，用a l q 3 住发光层的m o l e d 可以发如不同中心波 长静光，谱线宽度由o l e d 静约t 0 0 r i m 变为1 0 2 0 n m ，峰馕竞强箍离2 0 倍左 右，总发光效率也有所提简。 论文叙述了用热蒸发的方法制作o l e d 及m o l e d 的过程。利用现有的工 篡条终，在m o l e d 夔铡露中采溺了金瓣貘良骛戴分簇摸羁聚叛。 最后，根据制作经验。论文提出了两种全新的m o l e d 。 关键词：微腔，m o l e d ，o l e d ，热蒸发 a b s t r a c t o r g a n i cl i g h t e m i t t i n gd e v i c e ( o l e d ) h a sb e c o m eh o t s p o ti n t h er e s e a r c ho f d i s p l a yf i e l d ，w h i c hi sr e g a r d e da st h em o s tc o m p e t i t i v ed i s p l a yi nt h ef u t u r eb e c a u s e o fs o m e s p e c i a lm e r i t s o p t i c a lm i c r o c a v i t ya r o u s e sg r e a ti n t e r e s ti nc o n d e n s e ds t a t ep h y s i c s i tc a n c h a n g e c h a r a c t e r so f s p o n t a n e o u se m i s s i o n ，s u c h a s s p e c t r a l f u l lw i d t ha t h a l f - m a x i m u m ，l i g h ti n t e n s i t ya tp e a ka n ds oo n i no r d e rt or e a l i z ef u l lc o l o rd i s p l a y a n d i m p r o v el u m i n o u se f f i c i e n c y , o l e d w i t h m i c r o c a v i t yi sf o r m e d t h i s p a p e ri n t r o d u c e sr e s e a r c h i n g s t a t u so fo l e d ，t h eb a s i c p r i n c i p l e a n d a p p l i c a t i o no f m i c r o c a v i t y i ti sf o u n dt h a tm i c r o c a v i t yn o to n l yi sag o o dw a y f o rf u l l c o l o r d i s p l a y , b u t a l s oa f f e c to p t o e l e c t r o n i ci n d u s t r y d e e p l y t h i sp a p e rs t a t e sd e s i g na p p r o a c h ，c o m p u t i n gp r o c e s sa n dr e s u l to f m i c r o c a v i t y o r g a n i cl i g h t - e m i t t i n gd e v i c e ( m o l e d ) t h e o r e t i c a la n a l y s i ss h o w s ：c o m p a r e dw i t h o l e d ，m o l e d w i t ha l q 3a sl i g h t e m i r i n gl a y e rc a ne m i td i f f e r e n tw a v e l e n g t h l i g h t b ym o d u l a t i n gl e n g t ho fc a v i t y , s p e c t r a lf u l l w i d t ha th a l f - m a x i m u mo fm o l e d c h a n g e sf r o ml o o n m t ol o n m 2 0 u ma n dt h el i g h ti n t e n s i t ya tp e a ki si n c r e a s e db y a b o u t2 0t i m e s ，a n dl u m i n o u se f f i c i e n c yc a nb ee n h a n c e d o l e da n dm o l e da r em a d ew i t hh e a te v a p o r a t i o n i nm a k i n gm o l e d ，m e t a l f i l ms u b s t i t u t e sd i e l e c t r i cf i l m sa n da n o d e a c c o r d i n g t ot e c h n i c a lc o n d i t i o n s l a s t ，b a s e do ne x p e r i e n c e ，t w on e wm o l e d s a r eb r o u g h tf o r w a r d k 呵w o r d s ：m i c r o c a v i t y , o l e d ，m o l e d ，h e a te v a p o r a t i o n 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工 作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地 方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含 为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。 与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明 确的说明并表示谢意。 签名：醢查放日期：五。5 年2 月2 1 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁 盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文 的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或 扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 ( 保密的学位论文在解密后应遵守此规定) 签名：蓝矗应导师签名：盐生约 日期：z 9 哆年之月刁日 窀予释技夫攀磺士掌蕴薤文 1 10 l e d 发展简介 第一章引言 逶每寒，醚着穰惑技术懿块逮茇疑，显示器在仪器技表、谤冀橇、逶谖设 备、家蘑电器等领域褥戮，泛使震。海靛正在使蔼静显示器律圭辫有琚裰射蟪 瞥( c r t ) 、液晶显示屏( l c d ) 、等离子漫示器( p d p ) 、发光二极管( l e d ) 、场 致发射( f e d ) 锦，它们巳形戏年产值数鞭亿美元豹产拽群档，面o l e d 可以说题 嚣莛之秀。 早在6 0 筇代，就有人注意到有机电致发光现象。1 9 6 3 年，p o p e 等人以电 觯质溶液为电极，在慧单撮两侧加4 0 d v 童流电压时，观察到了慧的蓝色电致发 必秘。疆嚣，h e t f r i c h 等人对薏单螽嚣魄致发茺终了遴一步溪究f 2 】。垂子窀簿瀵 溶液电极制作工艺复杂，1 9 6 9 年，d r e m e r 等人在有机e l 器件中写l 入了固体电 极聊。这些犟期的有机e l 器件，单晶难乎生长，骣渤电压很高( 4 0 0 - 2 0 0 0 、，) ， 凡芋没毒实鼯耀楚，毽这缝荦麓疆究建立了瓣有爨毫致发光熬金过鞭熬蔹识： 龟子、空穴献瓣、鬻摄注入；载滚予菱台： 炭会产雯翁激予遵蓬辐袈完 成能量衰减。 1 9 7 3 年，v i t y 呔等人以囊空沉积豹慧薄骥替搜了攀菇f 4 】。1 9 8 2 攀，p s v m c e t t 等入嫠餍锯释盒箨秀瓣撩濑辩援，0 6 弘鼢葱薄簇终蓦发光屡豫了骞楹e l 器 件，驱动电聪太大降低( 3 0 v 左右) ，假是那时的器件寿命还很斑，发光效率很 低阁。 真菱楚o l e d 获褥焱鼯戎懿爱袋逶在? 年捉；1 9 8 年，炎嚣e a s t m a n k o d a k 公司的c w t a n g 鬻人以空穴传输效果较好的芳香二胺作为空穴传输层， 8 * 羟基喹啉销作发光层，以透明的i t o 霹电膜和镁锻会盒分别作为阳极和阴极， 懿律了双墨簿貘嶷心式绿涎o l e d ，箕鞭魂毫莲糕予1 0 v ，茨惫效率凳| n m w ， 发先亮度嵩遮1 0 0 0 c d m 2 。这种超薄平授器件以其离巍度，高效辩糊低驱动宅舔 样优点引起了人们的极大艇注【6 】。随后，日本九州大举的c a d a c h i 等人在器件 串引入了毫予传辕基挣热量联夹心结构，避一步降低了驱动电基弗提高了器传 翦发惠蔑率掰。 毫子辩挂走学囊士攀莅论室 1 9 9 0 年，荚嘲剑桥大学j h b u r r o u g h s 等人首次用聚合物材料附笨乙炔 ( p p v ) 薄骥终必发党层剩份了攀层薄骥夹心式蒙舍物l e d ( p l e d ) ，所缮黎搏 爨嚣癀宅压骛1 4 v ，得鬟7 臻巍豹荑缭竞，量子效率豹为疆嬲。b u r r o u g h s 静 工作还确认了电徽发光来自予糟线态的激予的辐射衰减【l j 。 1 9 9 3 每，n 。c c r r e e m h a m 锩入在两层聚念物闻插入另一层聚会物安现载漉子 匹鬣注入，发毙重予藏率疆离了2 0 蘩，遮誉设藉宽了对o l e d 器释撬裁翡理簿 且预示着o l e d 汗始走向产嫩化【9 】。 之后，各种掰型的有机材料被开发出来，多神器件继构相继建立，比如白 竞、透甥豢经o l e d 、蜜缝装技术截锌懿o l e d 、多龟o l e d 等等，笺嚣 在，o 雌 d 发光效率可大于5 0 1 m w ，寿命太予1 0 0 0 小辩。 搬提高有机电墩发光二极管的同时，谢机电致发光照零器也获得丁飞速豹 发最。1 9 9 5 年，疆零宠巷公司零囊攮遂了攀鸯绿毙2 5 6 ) 6 4 熹箨熬o l e d 显示 器，井予1 9 9 7 筇成功用于汽率箍板。轰了巍瓣大面积彩憩o l e d 显= 两鼍嚣，入镌 采用了有源驱动摭术，首先是蚺个非晶s i 薄膜晶体管w t 驱动，褥剃多晶硅 程呵驱动，势了凝褥均匀豹发光，又研究了二今哪，三个奠氇嚣个韵强驱 动蹇斌。先锋公霹予1 9 9 9 年曩黎了有潆瘫簿骧秘5 。2 ”全彩夔l 跚融a m 国班沿。 2 0 0 0 年，柯达与熟合作伙伴日本三洋公司浆用低温多晶磷薄膜驱动有机电致发 光恩索器，铡成丁5 5 ”全彩色v g aa m - o u d ，该器件仪青一个硬币厚，功耗 是稳弱尺专a m l c d 戆一半，残零只有萁7 5 。2 0 0 1 霉，s o n y 叉箍滋l 全 彩骰a m - o l e d 。东芝公司首次采用喷嚣即罐技术蒂棒戏功2 8 ”全彩色聚合耱 a m - o l e d 。其他如荷兰p h i l i p s 、荚国u n i a x 、杜邦、s h a r p 、m o t o r a l a 姆也都把 套巍毯致发光显永器终为下一代突瘸证平援显示器热瑷嚣发。舅势，髓整o l e d 器捧的开发，整嚣备太公鼋帮磷究枫秘歪在全力缢赴黪成器叁专嚣技术。 邀是一个很肖商业前景的新技术，它具脊以下的特点。 1 缀薄筑圭漤发建器，不像在泼器要承孛器簧背光滚； 2 透过在发光痿中加入合迸的发光染料，可以调节辐射出的光波长# 3 + 很低的驱渤电压( 一般3 一l o 伏) ； 4 穰毫嚣发毙效率释藉魏凌，这霉酸在祗磅耗嚣荼羚下这餮高亮度戮黎予 2 阅读： 5 。赛援蹩 鼍毯达裂1 6 0 囊) ，磊搓l c d 孛褪惫缀窄； 6 微秒缴的响应时间，这就允许了嵩质量的画衙； 7 薄和较的装置，并恩十分坚硬，w 用于移动魄诺和掌上电。麟掣变携式的 装耋； 8 因为迭种全色，高黼像容量的平檄显示器件炼在低温技术下制造的，并 以有弹性的嫩料为基板，能可以满足在她大多数情况下交流信息。 争霹赛疆丈嚣菝、褒亮度翦孚蘑毙深，甚至莛擎嚣激蠢蠢漾 因此，0 雌i d 可用于禚赛内和野外照明：可制成光电耦合器件，用于光通信， 龄用作集成电路上的芯片燃芯片之间通信的单片光源；可制成可攒叠的“电予 藏簸霹是予飞梃，錾毙簿翦蘩享、胬缘楚理帮移动逶霪装誓静嚣示，宅在彩 色大羼幕平檄显示技术方黼已经显示出了广阔的瘟掰前景 对于o l e d ，虽然还谢曲折的道路骥走，相信在举久的将来，鬯一定会成功 靛出甏亵隶妫土。 1 2 器件的结构【l o , i i l o l e d 靛蒸奉结携曩予兴爰式，鄂发光瀑被嚣撰鹣邀缀豫三臻港一襻夹在孛 楚，一舞兔透辨鸯援鞋获褥嚣发光。裰据有枫貘戆翡能，嚣孛 戆梅爵分为强下 儿类： i ，单屡攒搏结构 在器辞弱惩缀衣受援蕊，制作一斡或数释物质缀成鹃发光屡，这释续构较蓊 储见，如图1 - 1 所示 隧i - 1 筚屡器件结袍 3 电子科技大学磺学位论支 阅读： 5 宽援角 等 户f 蕺 如果冷珞。= 稚按照式( 3 - 2 1 ) ，基片和第岸层膜豹组合导纳为 珞：豢牟雾尝：躞+f舻8sr + f 慨+ l ) s i n 8 x 5 特别鹣，当光垂纛入射到舭膜上对，珞= ； k 。 在等效界面上叠魏第k - 1 层膜，仍然可魇缓禽等纳为珞+ 。的廛撅界面等效它。这 样，递推至第_ ，屡膜，则有 艺。丽y ：+ 巧ic o s 屯s j + 历i 7 ：压s i n 酉# ： = 罂糍糍 = 黟专f 誓2 ( 3 - 2 4 ) 书 奄子辩较丈攀磺士掌控谂文 嚣皇妨i 置2 ) 砷i 誊黼 其中，t = 2 - f f n j d j c o s 巳，够由折射定律确定。 y = c b r ：f 熊墨丫坐生丫 l 吼露十c 人仇占+ c ( 3 2 5 ) 0 - 2 6 ) 魄子科技夫学磋士学位论文 4 1 设计思想 第四章m o l e d 韵设计 m o l e d 秘o l e d 器律绥梅鲡鹜4 - 1 掰示箨翅。 目釜裹 o 沈d 圈4 - 1 嚣停结梅 m a q 点d i l q ， 啪 l 蕾d f 1 - 唧s i 偈辩3 麓璃对纛 它们都以t p d 为空穴传导层( h t l ) ，a l q 3 作为电子传输层( e t l ) 兼作发光层 ( e m l ) ，莠戳 鞠( 1 n 窝s n 豹鬣纯绣) 窝a 1 分潮箨舞委受毫援，毙线遴过瑗璃毒重 底射出。相对于o l e d ，m o l e d 就是在玻璃基板和i t o 之间多了一个由多层介 质膜构成的d b r ，a 1 电极和d b r 类似予f - p 腔的两个反射镜，它们之间形成 徽腚。 d b r 由三周期的t i 0 2 和s i 侥构成，它们折射率分剐为 h = 2 4 0 和 z t = 1 4 5 ， i t o 是透明导电膜，作为空穴注入层，折射率为一般为1 8 2 1 ，这熙取平均值 珂脚= 1 9 5 。有机物的折射率约为l ，7 。玻璃为k 9 光学玻璃，折射率为拧产1 5 2 。 对于三f l 鹜期缵构的d b r ，每一层的光学厚度都是气4 ( 磊是中心波长) ， 根据式( 3 2 3 ) 和( 3 2 4 ) ，它的峰值反射率为： 如* l 拜 l = + 亟。 一 电子辩技丈学颈士学位论文 此外，还可以利用耦合模理论【2 1 l 或t a l 1 l l 的方法2 2 矧得出另一个表达斌： 厂、 = 叫锄。轨) l k 扣l 鹣= 酬分别为相邻界面的折射攀。 鼹然，= b 1 2 爱封蒂豹够爨度( f w h m ) 由下式傣券： b * k 呶| h 式孛，a 聆为麓0 2 和s i 0 2 豹折射率茇，撑为二者的乎均折射率。 在徽腔中，满足谐振条件的波长的光由于襁涨予涉褥得到加强，这一条件 悬：光在腔内彼返一周的相位改变是2 ”的整数倍或光程是波长的熬数倍，即 三囊) = 掰影2蹲1 ) 式中，工以) 为光在腔内的实际光程，聊为芷整数，又称为模阶数。 在徽腔中，五以) 由下斌绘出2 4 j ： 荆弓吲+ ；咖掣名 ， 式孛：雾一项为必进入i ) b r 懿滚发，霹认为必在d 踩串是搓数衰减鹣；第二项 为光在i t o 和肖税物中的光程，珥和或分剃代表i t o _ 秘有机物的折射率和厚度； 第三项为光往返进入a 1 电极的深度，。为光在金j 曩表面的反射栩移。第一项 釉第二项要比第三项丈缛多。当d b r 和魄极确定焉，+ 第一项和第墨颂不变，可 滋遴过羡交i t o 和有氍兹耱簿震来选择不瀚的 鸶簌滚长。 根据式( 3 - 1 3 ) 和( 3 - 1 4 ) ，光在金属电极袭面的反射攀和反射相移为： 繇= 糕 墩子l f l t i 太学壤士掌燕论文 由。= 锄k 辩：一2 n 霹k i 砰j ) 式中，蚪。有机物的折射率，啊和毛为金属的折射率和消光系数，它们憝波长的 函数。 壤论主，m o l e d 载光谱霹遵过霹痤懿o l e d ：竞i l e ( x ) , l i i i i i t 2 4 1 陵例2 =l e o ( a ) 1 2 ( 4 - 3 ) 式中，也是d b r 的反射率，x 为发光偶极予到金属电极的青效长度。 髓要说臻，纛然式( 4 1 3 ) 藐够计算m o l e d 豹光谱。餐燕，它可能辕少形成镞 腔的必要条件，即阙值条件，除此之外，可以看出，当且仪当r 。= 0 和r 。= 1 时， 即发射嚣是零反射和金属电极感理想金属时，计算结果才可以将m o l e d 的光 溪秘o l e d 豹光谬统一趁来，遮藏是谎在实涨孛豹o l e d 移毒徽整效纛熬存在。 这可能与实际观察的结果不符。因此，这个徐式可能不熊作到比较耩确的计算， 它有定的适用条件。 4 。2 设诗过程 对于m o l e d ，可以采用个d b r ，利用a l q 3 发出中心波长分别为4 7 0 h m 、 5 4 0 r t m 、6 1 0 h m ( 蘸光、绿光、红光) 三种单色性较好的龙。设计过稔采取从下 毪童豹颓_ 睾，戳缭先( 5 4 0 h m ) 为镄。 酋先，选择中心波长为5 4 0 h m 的三周期的d b r ，d b r 的设计原则是具有较 毫黔反射辜，鸯利手光的摄荡。对于中心波妖，它静反射率可计算锝： 震。= 0 7 7 4 2 ，反掰带宽( 矾f 礤霹信算秀b 一2 6 6 5 r i m ，遨楚两个很重要的参鼗， 它对峰值光强、谱线宽度及胶的品质因数有很大的影响。对于带宽的精确计算， 可熬臁诗算机褥剿嚣= 2 3 6 n m 。对于这样的d b r ，剩用翦述薄膜光学熬方法， 可得到它的反射率蠡线，如图妒2 所示。 窀予辩技丈学磺士学链论文 图4 - 2d b r 反射率 对于越毫缀来说，一般它静厚度为2 0 0i l m ，由予矮番色散凌象，它的反瓣 率和反射相移随着波长会发生变化，程波长为5 4 0 r i m 处，它的反射相移为 。= o 5 9 2 8 ，我们可以利用插值的方法锝如a l 的折射攀和消光系数，如图4 3 掰器。 盈4 崞a 1 豹折射枣秘滂光系数 现在，确定i t 0 、t p d 及a l q 3 的厚度。利用式( 4 1 ) 和( 4 2 ) ，当 一5 4 0 r i m 时， 选取合适的m ，褥到i t 0 为2 0 0 r i m ，t p d 为3 0 n l l l ，a l q 3 为4 0 n l - i i 。肖然，厚度 鹣选取不难一。 4 3 设计结果及讨论 葶l | 震同撵黪d b r 设计蒸笼秘赶光豹m o l e d 。三秘波长粒光翅一令d b r ， 这怒为了在实域彩色显示时，不带来制依上的困难，使器件的制律w 行。用丽 电予科技大学硕士学位论文 样的方法和发光率芎科a l 啦实现了发蓝光藕红澎的m o l e d 。其俸的计辣过程不在 详述，它们的设计结果如表4 - 1 。 袭4 - 1 设计结果 谐振波长c i e 坐标1 1 d 厚度t p d 厚度a i q 3 厚度峰值光强光谱半宽 h ma m，n mu r n 比值 4 7 0 f o 1 2 4 o 0 5 8 ) 2 0 0s 4s 47 21 6 。l 5 4 0 ( 0 2 3 0 ，0 7 5 4 ) 2 0 03 94 01 7 72 0 5 6 1 0 6 6 6 。0 3 3 4 ) 2 5 4 45 4 毒4 72 7 。6 由于普通的0 l i d 发光反映的是自发发射的特性，w 以认为，对于普通的 o l e d ，随着有机层、i t o 的厚度及驱动电聪的变化，发射光的波长与对应的相 对光强的关系基零不变，即光谱分布夔线形状不变。由于关心豹是棚慰光强与 波长盼分布，这榉，就可鳙稠麓制作的营遁的发绿光静0 艇国懿强度分布数据 和曲线来进行m o l e d 的理论分析，不必严格要求与m o u 渺相对成的o l e d 具祷糨同的有机艨、i t 0 的厚度釉相同的电聪条件。但是，在器件的测试中，需 要班沿器o 髓蛰吴寿藤溺熬毒壤震、l 瓣浑发，穗鬻瓣嚣试条绛，鼹驱动 电聪锌。利用测试得到的o l e d 光谱分布( 见5 5 节) 、式( 4 3 ) ，同时将式( 4 2 ) 代入，考虑到发光偶极子是 1 q 3 层的中间( 事实上，这怒个很复杂的问题，它 可熊溅电予彝空穴豹迁移率、辨器豹激瓣，薄膜熬性质、器嚣特性等嚣豢有关) ， 帮：x 为a l 昏层蓐废的一半。褥劐谐振波长不闯的三释m o l e d ，它们的发光特 性，如图4 3 ( a ) ，( b ) ，( c ) 所示。 国 稿) 圈4 - 3m o l e d 和o l e d 的光谱分布 制作的普通的o l e d 煎谱线半宽约强1 0 0 r i m ，中心波长约为5 1 0 r i m ，而理 论分析的m o 以渺的谱线举宽变小了很多，同时峰值光强增大很多倍。但是， 可以看出，随麓谐振波长的誉同，蜂值光强交纯很大，港线半宽变化苓大，这 蔻蠢d b r 静反射率的交纯孳l 越兹，可激壤溺提毒d b r 静反射率和爱莉蒂宽， m o u d 的峰值光强会增强，谱线半宽会减小，这是由于腔内的损耗降低，光子 密度变大，更翁予起振。另外，谐振光强随波长变化也可能与发光材料，腔内 兜予豹摇互终瘸簿嚣素骞关。 微腔谐振发射增益的表达式为1 2 5 】： g 。= 式中，善为场器系数、旯。和如分别为金属电极和d b r 的反射率、和f 分别 为喾微艟时分子激发态寿命耱无微腔时分予激发态寿命。由于微腚的存在， m o l e d 毯：裰对疲熬o l e d 纛芟亳羲囊予效率溺。 应该指出，在设计过程中，只考虑了沿着轴线方向的光。事实上，当光偏 离轴线不大的角度对，也会发生谐振。 对于毙僚离轴线o 霹，糨貉的计冀为： 黜 电子辩援夫拳颈士攀短论文 工以) c o s 口一r e , v 2 更壤确憝计算痰该爰上节掰述熬方法，将党分热争镶攘釉壤振分裂诗算，在 这豢不再详述。霹以推溅，谯不同的角度搽铡到的中心波长和它对廒的光强都 会不同。 电子辩技大学磺士掌位论文 第五章器件制作 有机电教发光的研究始乎6 0 年代1 9 8 7 年，凝因柯达公司的c w t m a g 等 人以8 羟基囔啉铝( a j q 3 ) 作为发光层，研制成功了有实用价值的低电压0 0 v ) g g 渤 瓣有机发怒器搏，使0 l e d 褥囊了划对代豹发震。嚣 牛由多屡膜组成，总厚度 夺于l u m 。猩本掌中，将分绍稻溺熬蒸发秘方法裁佟o l e d 和m 0 明国的遗耧， 这两种器件的制作工艺相似，均在相同的设备中制作。 5 1 制作系统介绍f 2 6 j 5 。1 1 系统缀成 器件豹剃撵系统如图5 - i 所示。真空镀貘室分为左右嚣室，巾阍有龙门阑 将其疆拜，这样可单独对羧室( 友室) 鞍主室( 右塞) 籀寞空鞫镀貘。主搔鬣 采用涡轮分子泵，它的前级采用机械聚i i ，机械泵i 是低真空泵。真空室内表 灏抛光处理减小对残余气体的吸附。 l ，震量滚麓计2 。藏止耀3 ，蒸发源4 。嬲授5 。# 晶6 。照明灯7 l 充气阕8 r f 电极9 。 窀赛褒繁1 0 。奄疆筑赣1 1 蕊燕器1 2 ，磁力镑动器1 3 藏滔援1 4 。瓷蔫簌管1 5 奄 阻规管1 6 充气阀1 7 膜厚探头1 8 角阔1 9 电磁阀2 0 预抽机械泵2 1 前级机械泵 2 2 闸板阀2 3 电磁御