（凝聚态物理专业论文）si衬底上低压mocvd生长znsznse薄膜和znse量子点.pdf

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v i s e m i c o n d u c t o rm a t e r i a l se p i t a x i a lg r o w no ns is u b s t r a t e sc a r tl e a dt ot h ep o s s i b i l i t y t oc o m b i n et h ea d v a n t a g e so f s ii nm i c r o e l e c t r o n i c sw i t ht h ec h a r a c t e r i z a t i o no f w i d e b a n d - g a pi i w is e m i c o n d u c t o r m a t e r i a l si no p t o e l e c t r o n i c s i nt h i st h e s i s ，t h ez n s ，z n s ef i l m sa n dz n s eq u a n t u md o t s ( q d s ) h a v eb e e n o b t a i n e db ym e t a l o r g a n i cc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n ( m o c v d ) t h ef o l l o w i n gi st h e m a j o r r e s u l t s ： 1 、z n se p i l a y e r sd i r e c t l yg r o w no l ls is u b s t r a t ew a so b t a i n e d b yl o w - p r e s s u r e m e t a l o r g a n i c c h e m i c a l v a p o u rd e p o s i t i o n ( l p m o c v d ) ，i n w h i c h h y d r o g e n s u l p h i d e ( h z s ) a n dd i m e t h y l z i n c ( d m z n ) w e r e u s e da st h er e a c t a n t s n o h i g h - t e m p e r a t u r ep r e h e a t t r e a t m e n to f t h es is u b s t r a t ew a su s e dt oo b t m n e p i l a y e r s t h ez n se p f l a y e rq u a l i t yw a si m p r o v e dw i t hd e c r e a s i n gt h es u b s t r a t et e m p e r a t u r e t h es m a l lx r a yd i f f r a c t i o nf w h mw a so b t a i n e da t3 0 0 1 2 ，w h i c hi m p l i e dt h a tt h e z n se p i l a y e r sh a dh i g h e rq u a l i t y t h ea t o mr a t i oo fz n sw a sc l o s et ol ：1 w h i c h s h o w e dt h a tt h ez n s e p i l a y e r sh a dg o o ds t o i c h i o m e t r y 2 、z n s ee p i l a y e r so ns is u b s u m ew e r eo b t a i n e d b yl p m o c v d ，i nw h i c h h y d r o g e ns e l e n i u m ( h 2 s e ) a n dd i m e t h y l z i n c ( d m z n ) w e r eu s e da st h er e a c t a n t s t h e e f f e c to ft h ef l o wr a t eo f z r g s eo n et h ee p i l a y e rq u a l i t yo f z n s ew a sd i s c u s s e d t h e r e s u l t si n d i c a t e dt h a td m z nf l o wr a t ep r e d o m i n a t e l yc o n t r o l l e dt h eg r o w t hr a t eo f z n s ee p i l a y e ri n t h i sw o r k t h ea t o m i cr a t i oo fz n s ew a sc l o s et ol ：1 w h i c h s h o w e dt h a tt h ez n s e e p i l a y e r sh a dg o o ds t o i c h i o m e t r y as t r o n gb l u en e a r - b a n d g a p p h o t o l u m i n e s c e n c e ( p l ) p e a ko fz n s ee p i l a y e r sw a so b s e r v e da t 7 7 kw i t h o u ta n y a d d i t i o n a lp ls i g n a la t l o n g e rw a v e l e n g t h s t h i si n d i c a t e da na b s e n c eo fd e e p t r a p p i n gc e n t e r s t h i sp e a k w a ss t i l lo b s e r v e da tr o o m t e m p e r a t u r e t e m p e r a t u r e t h e p r e s e n c eo ft h i si n t r i n s i cn e a r - b a n d g a pe m i s s i o nl i n ei nt h ep ls p e c t r u me v e na t r o o m t e m p e r a t u r ei saf u r t h e ri n d i c a t i o nf o rt h eh i g hq u a l i t yo f t h ee p i t a x i a ll a y e r 2 英文摘要 3 、t h ef i v e c y c l ez n s e z n sq u a n t u ms t r u c t u r es a m p l e sg r o w no ns is u b s t r a t ew e r e o b t a i n e du n d e rv wm o d eb yl p m o c v d t h eb l u e s h i f la t7 7 kp li n c r e a s e dw i t h t h ed e c r e a s ei nz n s eg r o w t hd u r a t i o n t h et e m p e r a t u r e d e p e n d e n tp lw a ss t u d i e d t h ef w h mo fp ld e c r e a s e dw i t hi n c r e a s i n gt e m p e r a t u r ea tf i r s t ，t h e ni ti n c r e a s e d w i t hi n c r e a s i n gt e m p e r a t u r e t h i si so n eo ft h ec h a r a c t e r i s t i co f q u a n t u md o t s ( q d s ) ， w h i c hs h o w e dt h a tt h es a m p l e sw eo b t a i n e do ns is u b s t r a t eb yl p m o c v dw e r e z n s e q d s 4 、1t o o kp a r ti nt h es y s t e mr e f o r m a t i o ni t e mo f c h i n e s e a c a d e m y o f s c i e n c e sa st h e m a j o rm e m b e r - t h er e f o r m a t i o no fp h o t o a s s i s t e dm o c v d s y s t e m i no r d e rt ot e s t t h ep h o t o a s s i s t e dm o c v d s y s t e mw er e f o r m e d ，t h ez n s ea n dz n s e ：nf i l m sw e r e g r o w nb yu s i n gt h i sp h o t o - a s s i s t e dm o c v d s y s t e m k e yw o r d s ：z n sf i l m s ，z n s e f i l m s ，z n s e q d s ，m e t a l o r g a n i c c h e m i c a l v a p o r d e p o s k i o n ( m o c v d ) 第一章：引言 第一章引言 半个多世纪以来，半导体的研究在当代物理学和高技术的发展中 都占有突出的地位，这是因为半导体不仅具有极其丰富的物理内涵， 而且其性能可以置于不断发展的精密工艺控制之下。 近年来，以光通信技术为先导和主要标志的半导体光电子学的飞速 发展和进入信息网络系统，大大加快了信息化社会到来的速度。高码 率( t b s ) 信息流的传输、交换处理与存储将是信息化社会的关键基 础。光电子技术，特别是半导体光电子及集成技术是实现此宏大目标 的不可替代的手段。 信息化时代的到来，首先应归功于电子技术，尤其是微电子技术的 成就。s i 作为微电子的基质材料，对此作出了巨大贡献。以s i 集成电 路、电子计算机为主体的微电子技术是信息技术的关键。信息技术的 发展，要求信息传递速度更快，信息存储能力更大，信息处理功能更 强。为此必须进一步提高微电子技术水平，但是，s i 平面器件已趋向 其物理极限，依靠缩小器件尺寸，提高精度，增强信息处理能力的潜 力已很小。在微电子技术中信息的载体是电子，s i 中电子移动速度是 较低的。一个舍乎逻辑的发展是，尾速度最快的光子作为信息载体， 发展光电子集成技术，这将把信息技术推向一个全新的阶段。 虽然以s i 为基础材料的微电子技术已高度发展，但在光电子集成 技术中s j 却遇到了困难，因为s i 是非直接带隙材料，它基本上是一种 非发光材料。于是提出了s i 基发光材料的概念，即以s i 为基础制备能 发光的复合材料，这样既保留了s i 平面工艺和s i 集成技术，又增加了 所需要的发光性能。长期以来，人们在s i 基发光材料研究上作了坚忍 不拔的努力，曾运用各种工艺技术来探索s i 基发光材料。其中一个研 究方向就是异质外延，利用外延技术，在s i 衬底上外延生长直接带隙 材料，如具有优良发光性能的i i v i 族 卜6 】和l i i v 族 7 1 2 】半导体 材料。这样就把s i 在集成技术中的优势与i i v i 族和i i i v 族材料 在光电特性方面优势结合起来，使器件兼有高性能和低成本的优点。 半导体发光和激光器件是光电子技术中重要的基本器件，作为其 7 第一章：引言 中的重要组成部分，蓝绿半导体发光和激光器件是近年来人们研究的 热点之。以z n s e 为代表的宽带i i v i 族半导体材料由于大的禁带 宽度和电子空穴间强库仑相互作用，为激子特性的研究和蓝绿光电器 件的研制提供了方便。从半导体的能带特性来看，制作蓝绿光激光器 最合适材料是宽带i i v i 族化合物半导体z n s e 。它具有直接带隙，禁 带宽度为2 6 7 e v ，对应的带间跃迁波长为4 4 0 n m 。从而有希望制成在 蓝绿光区域工作的发光与激光器件。用z n s e 材料制作激光器遇到两个 困难：一是如何实现高浓度的p 型掺杂，另一个是p 型z n s e 的欧姆接 触问题。自从p a r k 等人【13 】和o h k a w a 等人 1 4 1 报道了利用n 等离子 体源制备高导电p - z n s e 的掺杂技术后，基本上解决了制备z n s e 结型 激光器所要求的高载流子浓度问题。在此基础上，美国3 m 公司h a a s e 等人( 15 】首次在z n c d s e z n s e 量子阱结构上实现了蓝绿色半导体激光 器。获得了在7 7 k 下以脉冲方式工作的波长为4 9 0n m 的激光。这 成就于1 9 9 1 年在日本召开的第五届国际i i v i 族化合物学术会议上 报道时，弓l 起了与会者轰动，并致认为这是半导体激光器发展史上 的重要里程碑。1 9 9 3 年日本索尼公司采用一种新的四元合金z n m g s s e 作为包层和以z n c d s e z n s s e 量子阱作成对光和载流子分别限制 ( s c h ) 的异质结构，成功地实现了室温连续工作的半导体蓝色激光 器 1 6 。1 9 9 6 年3 月索尼公司宣布的z n s e 蓝色激光器寿命提高到 t 0 1 h i l 7 】。根据报道( 1 8 】，日本索尼公司研制的z n s e 基绿色半导体激 光器的寿命已突破1 0 0 0 h 。宽带i i v i 族半导体蓝绿色激光器正向实 用化迈进。 近年来，半导体量子点由于其独特的性质越来越受到人们的重视。 半导体量子点的三维量子效应，使电子运动的自由度降低，导致体系 的有效状态密度和电子的能量发生显著变化，表现出一些新颖的物理 特性。理论上预言以量子点为有源区的半导体量子点激光器比量子阱、 量子线激光器有更好的激射特性，有可能实现更低的阈值电流密度、 更高的特征温度、高的发光效率和微分增益 1 9 - 2 2 】，还可能产生许多 特殊的物理性质如量子斯塔克效应【2 3 、非线性光增益 2 4 】、空间光谱 烧孔f 2 5 ，2 6 和库仑势垒 2 7 等。这些都为提高半导体激光器的性能提供 8 第一章：引言 了可能。目前制备量子点的方法很多，但总结起来不外乎工艺加工和 外延生长两种方法。前者的优点在于形成的量子点的尺寸，密度可控， 缺点是点的尺寸受限于机械加工的精度，很难达到纳米量级，加之对 衬底材料的机械加工不可避免地要损伤晶体结构，得到的器件的性能 远远低于预期值。外延生长制备量子点的方法不对衬底进行人为的处 理，两是直接利用材料本身的性质形成量子点结构，因为该方法没有 人为地引入缺陷或杂质，易于褥到高质量的量子点结构，因此，目前 绝大多数的量子点结构都是用此方法制各的。目前s k 模式生长量子 点是公认的种制各高质量量子点的方法【2 8 】，但这种方法需要对生长 速率和外延层厚度有很严格的要求。一般情况下，生长速率为零点几 个埃每秒，生长厚度也不过2 3 个单原子层( 1n m ) ，所用设备大多 为配置有俄歇电子能谱仪( a e s ) 和反射高能电子衍射仪( r h e e d ) 等监测、分析和控制装置的分子束外延( m b e ) 。对于液相外延( v p e ) ， 热壁外延( h w e ) ，m o c v d 等对生长参数的控制不是很严格，又往往 没有原位监测仪器的设备来说，进行s k 模式量子点的制备和表征就 显得很困难。h a r r ( sl i a o 等人【2 9 1 提出一种简单的生长方法，利用v w 生长模式，采用m o c v d 系统制备出了z n s e 量子点。它的特点在于生 长过程简单，不需要对生长进行特别严格的速率和厚度控制，适用于 生长速度比较快、衬底平整度不够时的情况下量子点的生长。 以z n s e 为代表的宽带i i v i 族半导体材料的蓬勃发展，使在硅 衬底上外延生长宽带i i v r 族半导体材料有着诱入的应用前景。p a r k 等人 3 0 克服了异质生长的困难用m b e 在s i 衬底上外延生长了z n s e 外延膜，观察到4 2 k 光致发光。y o k o y a m a 等人 3 1 用a l e 在s i 衬底 上获得高质量的g n s e 外延膜，观察到了室温光致发光，制成的a u z n s e 肖特基( s c h o t t k y ) 二极管具有低的漏电电流( 4 5 n a ) 和高的击穿电 压( 4 0 v ) 。y o k o y a m a 等人 3 2 采用b l b e 在s i 衬底上外延生长了z n s 外延膜，并获得了z n s 外延膜的室温光致发光。l e e 等人 3 3 报道了 用m o c v d 技术在s i 衬底上制各了z n s 外延膜。在成功获得二元宽带 i i v i 族半导体薄膜后，人们又把目光投向三元合金的制备。h s u 等 9 第一章：引言 人 3 4 用a l e 在s i 衬底上获得了z n s 、s e 。外延膜，在室温观察到外延 膜的光致发光。由于b e 化物的引入有可能是一种解决i i v i 族蓝色 激光器寿命问题的新途径，因此b e 化物引起了人们的极大关注。 f a u r ie 等人 3 5 用m b e 在s i 衬底上外延生长了b e 。z n 。s e 外延膜。这 也为实现制作在s i 衬底上i i v t 族蓝绿光电子器件提供了可能。 y o k o g a w a 等人 3 6 用m o c v d 在s i 衬底上生长了z n s z n s e 应变超晶格。 c h a n g 等人 3 7 用m b e 在s i 衬底上研制了z n s 。t ex z n s e 超晶格，在 z n s 。t e 。：z n s e 超晶格中，观察到在室温下光泵受激发射。h a r r i s l i a o 等人 3 8 利用m o c v d 系统，用v w 模式在s i 衬底上制备了z n s e 量子点。 我们用l p m o c v d 系统在s i 衬底上制备了7 a s 、z n s e 薄膜。利用 x 射线衍射，扫描电子显微镜等测试手段研究了衬底温度，生长源流 量对生长薄膜质量的影响。制各出了质量较高的z n s 、z n s e 单晶薄膜。 通过光致发光实验观测到z n s e 单晶薄膜的7 7 k 及室温发光，进一步验 证了制备薄膜的质量。利用l p m o c v d 系统在s i 衬底上，用v - w 生长 模式制各了z n s e 量子点，通过光致发光光谱及变温光谱分析对该量子 点结构进行了表征。 参考文献： 1 】e w i r t h l ，h s i t t e ra n dp b a u e r ，m o n o c r y s t a l l i n ez n sl a y e r sg r o w n o ns i b y m o l e c u l a rb e a m e p i t a x y ，j ，c r y s t g r o w t h ，19 9 5 ，14 6 ( 1 4 ) ： 4 0 4 4 0 7 2 x i a o c h u a nz h o u ，s h a nj i a n g ，a n dw i l e yp k i r k ，e p i t a x i a lg r o w t ho f z n so nb a r ea n d a r s e n i c p a s s i v a t e d v i c i n a ls i s u r f a c e s ，j a p p l p h y s ， 19 9 7 ，8 2 ( 5 ) ：2 2 51 2 2 6 2 3 】j o ha n dc h g r e i n ，e p i t a x i a lg r o w t hs i m u l a t i o n so fc d t eo ns i ， j c r y s t g r o w t h ，1 9 9 8 ，1 9 3 ( 1 2 ) ：2 4 i 2 5 1 4 1z h u x if u ，b i x i al i n ，g u i h o n gl i a oa n dz i q i nw u ，t h ee f f e c to fz n b u f f e rl a y e ro ng r o w t ha n dl u m i n e s c e n c eo fz n of i l m sd e p o s i t e do ns i s u b s t r a t e s ，j c r y s t g r o w t h ，1 9 9 8 ，1 9 3 ( 3 ) ：3 1 6 - 3 2 1 1 0 第一意：引言 5 j l ，c l e wy a nv o o n ，l r r a m m o h a n ，a n dr a s o r e r , e l e c t r o n i c a n do p t i c a lp r o p e r t i e so fs i z n sh e t e r o s t r u c t u r e s ，a p p l p h y s l e t t ，l9 9 7 ， 7 0 ( 1 4 、：1 8 3 7 - 18 3 9 6 】r d b r i n g a n s ，d k b i e g e l s e n ，l e s w a r t z ， f a p o n c ea n d j c t r a m o n t a n a ，e f f e c to fi n t e r f a c ec h e m i s r yo nt h eg r o w t ho fz n s eo n t h es is u r f a c e ，p h y s r e vb ，l9 9 2 ，4 5 ( 2 3 ) ：13 4 0 0 13 4 0 6 f 7 】y o s h i oi t o h ，t a k a s h in i s h i o k a ，a k i oy a m a m o t o ，a n d m a s a f u m i y a m a g u c h i 1 4 5 c o n v e r s i o ne f f i c i e n c yg a a s s o l a rc e l lf a b r i c a t e do ns i s u b s t r a t e s ，a p p l p h y s l e t t ，1 9 8 6 ，4 9 ( 2 3 ) ：1 6 1 4 1 6 1 6 8 g m m e t z e ，h k c h o i ，a n db - y t s a u r ，m e t a l s e m i c o n d u c t o r f i e l d e f f e c tt r a n s i s t o r sf a b r i c a t e di ng a a sl a y e r s g r o w nd i r e c t l y o ns i s u b s t r a t e s b ym o l e c u l a rb e a me p i t a x y ，a p p l p h y s l e t t ，l9 8 4 ，4 5 ( 1o ) ： 1 1 0 7 - 1 1 0 9 9 1j w y a n g ，c j s u n ，q ，c h e n ，m z a n w a r ，m a s i fk h a n ，s a n i k i s h i n ，g a s e r y o g i n ，a v 。o s i n s k y ，l c h e r n y a k ，h ，t e m k i n ，c h i m i n h u ，a n ds m a h a j a n ，h i g hq u a l i t yg a n - i n g a nh e t e r o s t r u c t u r e sg r o w no n s i l i c o ns u b s t r a t e s ，a p p l p h y s l e t t ，1 9 9 6 ，6 9 ( 2 3 ) ：3 5 6 6 3 5 6 8 【1 0 】s z e m o n ，s k s h a s t r y ，p n o r r i s ，c j a g a n n a t h a n dg l a m b e r t ， p h o t o l u m i n e s c e n c ea n dp h o t o l u m i n e s c e n c ee x c i t a t i o n s p e c t r a o fg a a s g r o w nd i r e c t l yo ns i ，s o l i ds t a t ec o m m u ，i9 8 6 ，5 8 ( 7 ) ：4 5 7 4 6 0 1 l 】w i w a n g ，m o l e c u l a rb e a me p i t a x i a lg r o w t ha n dm a t e r i a lp r o p e r t i e s o fo a a sa n da i g a a so p ts i ，a p p l p h y s l e t t ，1 9 8 4 ，4 4 ( 1 2 ) ：1 1 4 9 一1 15 1 12 】b y t s a u ra n dg m m e t z e ，m o l e c u l a rb e a me p i t a x yo fg a a sa n d a 1 g a a so ns i ，a p p p h y s l e t t ，1 9 8 4 ，4 5 ( 5 ) ：5 3 5 5 3 6 13 r m p a r k ，m b t r o f f e r , c m r o u l e a u ，j m d e p u y d t ，a n dm a ，h a a s e ， p t y p ez n s eb yn i t r o g e na t o m b e a m d o p i n gd u r i n gm o l e c u l a rb e a me p i t a x i a lg r o w t h ， a p p l p h y s l e t t ，1 9 9 0 ，5 7 ( 2 0 ) ：2 1 2 7 2 1 2 9 t 4 ik o h k a w a e ta 1 ，j p n j a p p l p h y s ，1 9 9 l ，3 0 ：l5 2 【l5 】m a h a a s e ，j q i u ，j m d e p u y d t ，a n dh c h e n g ， b l u e g r e e n l r i s e rd i o d e s ，a p p l p h y s l e t t ，1 9 9 1 ，5 9 ( ) ：1 2 7 2 1 2 7 4 1 6 】n n a k a y a m a ，s i r o n ，t o h a t a ，k m a k o n o ，t o h a t a ，k o z a w a ， 第一章：引言 h _ _ _ - _ - _ _ _ _ _ - _ _ _ _ _ _ 十_ h - _ 。 _ _ - - _ _ _ - _ _ 一一 a i s h i b a s h i m i k e d aa n dy m o r i ，e l e c t r l e t t ，19 9 3 ，2 9 ：1 4 8 8 【1 7 】s t a n i g u c h i ，t h i n o ，s i t o h ，k n a k a n o ，n n a k a y a m a ，a i s h i b a s h i a n dm i k e d a ，e l e c t r o n l e t t ，3 2 ：5 5 2 5 5 3 【】8 】原田卫，日经电子，】9 9 7 ，7 0 2 ：2 3 2 4 【19 1 k m u k a ie t a 1 ，1 3 p m l a s i n g c h a r a c t e r i s t i c so fs e l f - a s s e m b l e d i n g a a s g a a sq u a n t u md o t s ，i e e ej o u r n a lo fq u a n t u me l e c t r o n i c s ，2 0 0 0 ， 3 6 ：4 7 2 4 7 8 2 0 】z g w a n g e t a 1 ，s e l f - a s s e m b l e dq u a n t u md o t s ，w i r e s a n d q u a n t u m d o tl a s e r s ，j c r y s t g r o w t h ，2 0 0 i ，2 2 7 2 2 8 ：l l 3 2 1 1 3 9 【2 1 】p b h a t t a c h a r y a e t a 1 ，i n g a a s g a a ss e l f o r g a n i z e dq u a n t u md o t l a s e r s ：d ca n ds m a l l s i g n a lm o d u l a t i o np r o p e r t i e s ，i e e et r a n s c a t i o no n e l e c t r o nd e v i c e s ，19 9 9 ，4 6 ( 5 ) ：8 7 l 一8 8 3 2 2 】r h w a n g e t a 1 r o o m t e m p e r a t u r eo p e r a t i o n o fi n a s q u a n t u m d a s hl a s e r o ni n p ，i e e ep h o t o n i c s t e c h n o l o g yl e t t e r s ，2 0 0 1 ， 1 3 ( 8 ) ：7 6 7 7 6 9 2 3 x d h u a n ge ta 1 ，b i s t a b l eo p e r a t i o no fat w o s e c t i o n 1 3 mi n a s q u a n t u md o tl a s e r a b s o r p t i o ns a t u r a t i o na n dt h eq u a n t u mc o n f i n e ds t a r k e f f e c t ，i e e ej o u r n a lo f q u a n t u me l e c t r o n i c s ，2 0 0 1 ，3 7 ( 3 ) ：4 1 4 - 4 1 7 【2 4 】t a k i y a m ae ta 1 ，n o n l i n e rg a i nd y n a m i c si nq u a n t u m - d o to p t i c a l a m p l i f i e r s a n di t s a p p l i c a t i o nt oo p t i c a lc o m m u n i c a t i o nd e v i c e s ，i e e e j o u r n a lo fq u a n t u me l e c t r o n i c s ，2 0 0 1 ，3 7 ( 8 ) ：10 5 9 10 6 4 2 5 p e l i s e e v ，h l ie ta 1 ，t u n a b l eg r a t i n g c o u p l e dl a s e ro s c i l l a t i o na n d s p e c t r a h o l eb u r n i n gi na nl n a sq u a n t u m d o tl a s e rd i o d e ，i e e ej o u r n a l o fq u a n t u m e l e c t r o n i c s ，2 0 0 0 ，3 6 ( 4 ) ：4 7 9 4 8 4 2 6 】l - v a s r y a n ，r a s u r i s ，l o n g i t u d i n a ls p a t i a l h o l e b u r i n g i na q u a n t u m - d o tl a s e r , i e e ej o u r n a lo fq u a n t u me l e c t r o n i c s ，2 0 0 0 ，3 6 ( 】o ) ： l l5 1 1 1 6 1 【2 7 s m m a u r e re ta l ，c o u l o m b b l o c k a d ef l u c t u a t i o n si n s t r o n g l y c o u p l e dq u a n t u md o t s ，p h y s r e v l e t t ，1 9 9 9 ，8 3 ( 7 ) ：1 4 0 3 1 4 0 6 2 8 】ws e i f e r t ，n c a r l e s s o n ，m m i l l e re ta 1 ，c r y s t a lg r o w t hc h a r a c t ，1 9 9 6 ，3 3 ： 4 2 3 2 第一章：引言 2 9 】m c h a r r i sl i a o ，yh c h a n g ，yf c h e n ，j w ：h s u ，j m l i n ，a n dw c c h o u ，f a b r i c a t i o n o fz n s e q u a n t u m d o t su n d e rv o l m e r - w e b e rm o d eb y m e t a l o r g a n i cc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o n ，a p p l p h y s l e t t ，1 9 9 7 ，7 0 ( 17 ) ：2 2 5 6 2 2 5 8 【3 0 】r m p a r ka n dh a m a r ，m o l e c u l a rb e a me p i t a x i a lg r o w t ho fh i g h q u a l i t yz n s e o ns i ，a p p l p h y s l e t t 19 8 6 ，4 8 ( 8 ) ：5 2 9 5 31 【311m 、y o k o y a m a ，n ，t c h e n a n dh y u e n g 、g r o w t h a n d c h a r a c t e r i z a t i o no fz n s eo ns ib ya t o m i cl a y e re p i t a x y ，j c r y s t g r o w t h ， 2 0 0 0 ，2 1 2 ( 1 2 ) ：9 7 1 0 2 【3 2 】m e i s oy o k o y a m a ，k o i c h ik a s h i r oa n ds h i n - i c h io h t a ，m o l e c u l a r b e a me p i t a x i a lg r o w t ho fz n so nas is u b s t r a t e ，j c r y s t g r o w t h ，19 9 8 7 ， 8 1 ( 1 - 4 ) ：7 3 7 8 【3 3 1c h l e ee ta 1 ，j m a t e r s c i ，19 9 3 ，2 8 ：8 11 3 4 】c t h s u ，g r o w t ho f z n s x s e l xl a y e r so ns is u b s t r a t e sb ya t o m i cl a y e r e p i t a x y ，m a t w r i a l sc h e m i s t r ya n dp h y s i c s ，19 9