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申请上海交通大学工程硕士学位论文 质量流量控制器的 本地生产系统规划方案 院系 院系 机械与动力工程学院 工程领域 工程领域 工业工程 交大导师 交大导师 张志英 教授 企业导师 企业导师 酒井光晴 经理 工程硕士 工程硕士 陈诚 学号 学号 1080242037 上海交通大学机械与动力工程学院 2012 年 1 月 上海交通大学机械与动力工程学院 2012 年 1 月 thesis submitted to shanghai jiao tong university for the degree of engineering master production system design of mass flow controller for domestic manufacturing md candidate chen cheng supervisor i prof zhang zhiying supervisor ii mgr mitsuharu sakai speciality industry engineering school of mechanical engineering shanghai jiaotong university shanghai p r china jan 2012 上海交通大学上海交通大学 学位论文原创性声明学位论文原创性声明 本人郑重声明 所呈交的学位论文 是本人在导师的指导下 独立 进行研究工作所取得的成果 除文中已经注明引用的内容外 本论文不 包含任何其它个人或集体已经发表或撰写过的作品成果 对本文的研究 做出重要贡献的个人和集体 均已在文中以明确方式标明 本人完全意 识到本声明的法律结果由本人承担 学位论文作者签名 日期 年 月 日 上海交通大学上海交通大学 学位论文版权使用授权书学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留 使用学位论文的规 定 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电 子版 允许论文被查阅和借阅 本人授权上海交通大学可以将本学 位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索 可以采用影 印 缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文 保密 在 年解密后适用本授权书 本学位论文属于 不保密 请在以上方框内打 学位论文作者签名 指导教师签名 日期 年 月 日 日期 年 月 日 上海交通大学工程硕士学位论文 摘要 质量流量控制器的本地生产系统规划方案 摘 要 随着全球化的深入 跨国公司正在加快自身产品往发展中国家 的生产迁移 以求首先在全球化竞争中赢得成本上的优势 而在这 股浪潮中 中国无疑是最耀眼的迁移目的地 而与此同时 中国芯 片制造规模的不断扩大以及巨大且快速成长的终端电子应用市场也 极大地推动了中国半导体产业的成长 国内制造国内销售 这也是 很多大型国际生产企业追求的目标 相应的在产品设计上也或多或 少的考虑到当地市场的需求 以泛半导体行业中的产品生产为例 日本制造企业一直以来都走在全球技术发展的前列 同时他们依靠 对市场所在国准确的行业发展趋势判断 市场需求预测 从而掌握 投放产量 以达到生产集约利润最大化的效果 对于尚处于发展初 期的中国泛半导体市场 一直以来都缺乏比较准确的基于市场需求 预测的生产迁移后的生产系统设计 本文以工业工程的方法 通过分析本公司产品 以应用于半导体 及其衍生产业制程里制模 沉积工艺中的质量流量控制器 mass flow controller mfcmfc 为例 通过对中国市场的方案移植 借鉴日 本国内已经成熟的高度贴合市场的信息获取架构及其对行业与市场 预测方法 构建符合中国本国市场特色的公司组织架构 采用购买 者意向选择法做参考 并在选取合适参数的条件下使用更符合中国 市场特点的线性回归方式预测细分市场的预计使用量 再选择适合 中国市场的产品之后确定工艺流程 完成生产系统布置后使用层次 分析法遴选本地零部件供应商 结果表明合理的选择方法同时也能 在确保生产的情况下间接扶持国内相关生产商的发展 经过经济性 分析 整个生产转移的生产系统能更贴合国内产业的发展趋势 亦 能更好地适应产业高峰和低谷 同时也预留了一定的产能弹性 配 上海交通大学工程硕士学位论文 摘要 合企业的低成本生产发挥作用 也为以后的生产转移提供可以参考 借鉴的流程方法 关键词关键词 半导体 生产转移 生产系统规划 质量流量控制器 上海交通大学工程硕士学位论文 abstract production system design of mass flow controller for domesitc manufacturing abstract as the globalization goes through mncs are speeding the local production in developing countries in order to make the efficient cost down and get better position in global competition undoubtedly china is the ideal destination made in china and sold in china that s also the way most mncs are trying accordingly the product design will be suitable to local market as for the pan semiconductor industry semiconductor industry and its related fields such as solar cell manufacturing led manufacturing and tft lcd manufacturing fields japanese companies are holding the most cutting edge technology in the world meanwhile they make the industry development forecast of local market accurately depending on which they arrange the production capacity to make the effect of lean production and profit in maximum volume but for the developing semiconductor market in china such kind of post production transfer production system design based on accurate market demand is always not in the top list we take mass flow controller which is used in semiconductor industry in etching pvd vincent cs wiers planning schexluling and dispatching tasks in production control 2003 5 39 miller e linking pdm elgar fleisch hubert osterle information system for supply chain management an overview 2002 3 44 john layden the evolution of scheduling logic aps 1998 20 40 上海交通大学工程硕士学位论文 致谢 61 致谢 短暂但又不平凡的研究生学习生涯即将结束 回首过往时光 心里感慨万 千 在论文即将结束之际 特向所有关心和帮助过我的老师 同学 同事 朋 友和亲人们致以诚挚的谢意 首先要真诚感谢我的导师张志英教授 在百忙之中对我的研究进行了细致 入微的指导 并不时的对我的完成进度进行关怀 这段学习经历令我感触至深 的不仅是交大校园浓厚的学习氛围 更让我铭记的是张志英教授和其他教师对 学生倾注的精力和对学术一丝不苟的精神体现 这也是我在这段学习经历中汲 取养分最多也最为之鼓舞的部分 其次 要感谢公司上下同仁对我在职学习和研究的支持 再次 在论文研究期间 我得到了系里

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