（论文）PLD方法在CVD金刚石膜上生长ZnO薄膜及其特性研究.pdf

第 2 5卷第 2期 2 0 0 8年 3月 量子电子学报 chi nes e j ournal of quantum el ectroni cs b1 2 5 no 2 m a r 2 0 0 8 文章编号 1 0 0 7 5 4 6 1 2 0 0 8 0 2 0 2 4 0 0 6 p l d 方法在 cvd 金刚石膜上生长 z n o 薄膜 及其特性研究 张吉明 一 廖源 张五堂 余庆选 傅竹西 1 中国科学技术大学理化科学实验中心 安徽合肥 2 3 0 0 2 6 2 中国科学技术大学物理系 安徽合肥 2 3 0 0 2 6 1 摘 要 采用脉冲激光沉积 p l d 技术 在 1 1 0 和 1 0 0 织构金刚石膜上成功制备出高度 c 轴取向的 z n o 薄膜 然后在纯氮气氛条件下对 z n o薄膜进行退火处理 作为比较 也在 1 o 0 s i 上生长的 z n o薄膜进行了相 同的处理 通过测量 x射线衍射 x r d 谱和光致发光 p l 谱 研究了不同衬底性质和退火对薄膜结构和发 光特性的影响 实验结果表明 在 1 0 0 织构金刚石上的 z n o膜具有最好的结晶质量 其半高宽只有 0 2 退火之后近紫外发光峰明显减弱的同时 绿色发光峰得到增强 这里归结为氮气退火后氧空位的增加 这点从 退火后的 x p s谱中可以得到进一步的确认 关键 词 材料 氧化锌薄膜 脉冲激光沉积法 金刚石 应力 中 图 分 类 号 tn2 4 9 c l 4 8 4 文 献 标 识 码 a g r o wt h a nd pr o pe r t i e s o f zno fil m o n cvd di a m o nd fil m b y pul s e d l a s e r de po s i t i o n zhang j i mi n g 一 li ao yu a n zhang w u t a n g yu q i n g x u a n 2 f u z h u x 1 s t r u c t u r e re s e a r c h l a b o r a t o r y un i v e r s i t y o f s c i e n c e a n d t e c h n o l o g y o f c h i n a he f e i 2 3 0 0 2 6 ch i n a 2 de p a r t me n t o f p h y s i c s u n i v e r s i t y o f s c i e n c e a n d t e c h n o l o g y o f ch i n a he f e i 2 3 0 0 2 6 c h i n a a b s t r a c t z n o fi l ms w e r e s u c c e s s f u l l y d e p o s i t e d o n t h e 1 1 0 1 0 0 一 t e x t u r e d d i a mo n d fi l m s b y p u l s e d l a s e r d e p o s i t i o n p l d me t h o d an n e a l i n g t r e a t me n t s f o r a s d e p o s i t e d s a mp l e s we r e a l s o p e r f o r me d i n n i t r o g e n a mb i e n t th e e ffe c t o f d i ff e r e n t s u b s t r a t e s a n d a n n e a l i n g a t mo s p h e r e o n t he s t r u c t u r a l a nd o p t i c a l p r o p e r t i e s o f t h e d e p o s i t e d fi l ms w as i n v e s t i g a t e d b y me a n s o f x r a y d i ff r a c t i o n xr d a n d p h o t o l u mi n e s c e n c e p l me a s u r e m e n t s t h e b e s t c r y s t a l q u a l i t y o f z n o fi l m w a s o b t a i n e d o n t h e 1 0 0 o r i e n t a t i o n d i a mo n d fi l m a f t e r a n n e a l i n g i n n i t r o g e n a m b i e n t t h e i n t e n s i t y o f u l t r a v i o l e t u v e m i s s i o n d e c r e ase s g r e a t l y a n d t h e d e e p l e v e l e m i s s i o n i s e n h a n c e d i t i s c o n t r i b u t e d t o t h e i n t r o d u c t i o n o f a g r e a t d e a l o f o x y g e n v a c a n c i e s i n t o z n o fi l ms d u r i n g t h e a n n e a l i n g p r o c e s s wh i c h c a n be f u r t h e r c o n fi r me d b y x r a y ph o t o e l e c t r o n i c s p e c t r o s c o p y xp s k e y wo r d s ma t e r i a l s zn o fil ms p u l s e d l a s e r d e p o s t i o n d i a mo n d s t r a i n 基金项 且 国家 自然科学基金 5 0 5 3 2 0 7 0 和安徽省 自然科学基金 0 7 0 4 1 2 0 3 4 资助项 目 作者简介 张吉明 1 9 8 0一 男 2 0 0 4年毕业于西安电子科技大学应用物理专业 2 0 0 7年获得中国科学技术大学凝聚态物理 专业硕士学位 主要从事 z n o 光 电薄膜的制备和性质研究 e ma i l z h a n g 1 4 3 ma i l u s t c e d u c n 导师简介 廖源 1 9 7 1 一 男 中国科学技术大学物理系副教授 主要从事半导体薄膜物理的研究 e m ai l l i a o yu a n u s t c e du c y i 收稿 日期 2 0 0 7 0 4 1 6 修改 日期 2 0 0 7 0 9 2 6 维普资讯 第 2期 张吉明等 p l d 方法在 c vd金刚石膜上生长 z n 0 薄膜及其特性研究 2 4 1 1 引 言 在过去几十年 由于化学气相沉积 c v d 金刚石膜具有许多优异的特性而使其在力 热 光 电等 许多领域具有潜在的应用价值 因此吸引了许多研究者的兴趣 如金刚石具有最高的杨氏弹性模量 使其 能够提供更高的声表面波速 这为进一步提高表面声波器件的中 5 频率提供了一种更为切实可行的方法 而高度 轴取向和高质量的 z n o薄膜可以减少插入损耗 传输损耗和增加机 电耦合系数 在基于 z n o声 表面波器件的应用方面 在宝石 单 晶硅和玻璃衬底上生长的 z n o薄膜已经有文献报道 h引 结合金刚 石的优异特性 在金刚石上生长高质量的 z n o薄膜 已经吸引了多个课题组的注意并展开了很多有意义的 工作 伽 另外金刚石与氧化锌相结合可以制备 出 z n o 金刚石的异质结构 从而使其可以在微电子器 件领域中得到广泛的应用 7 硼j 尽管纤锌矿结构的z n o不同于金刚石结构 但在 z n o的a 平面内二者都有相近的晶格常数和热膨胀 系数 这为在金刚石衬底上沉积高质量的 z n o薄膜提供了可能 过去用金属有机化学气相沉积 mo c v d 方法在单晶 1 1 1 0 0 1 取向的金刚石 1 0 1 1 和 自支撑的金刚石 1 2 衬底上生长高质量的 z n o薄膜已有 报道 但直到最近在各种不同织构的金刚石上生长的 z n o薄膜的结构和光学特性方面的文章仍然很少有 报道 因脉冲激光淀积 p l d 法具有衬底温度低 淀积参数易调 可精确控制化学计量比 保持薄膜与靶 成分一致以及容易实现掺杂等优点而备受重视 1 3 j 所以本文采用了 p l d方法在 1 1 0 1 0 0 织构金刚 石膜衬底上制备 z n o薄膜 并研究了氮气退火对样品的结构和发光特性的影响 2 实 验 采用 n d y a g激光器 3 5 5 n m 1 0 h z 3 8 j c m 在 1 1 0 1 0 0 织构金刚石膜衬底上生长 z n o薄 膜 金刚石薄膜衬底是用热丝化学气相沉积方法 h f c vd 在 s i 衬底上沉积得到 作为 比较 在相 同的 条件下 z n o薄膜也沉积在单晶 s i 1 0 0 衬底上 三块衬底放入反应室前经过如下步骤处理 1 用 1 3的 h n o 和 hc 1 混和溶液除去衬底表面的金属残余物 2 把衬底放入 1 1的酒精和丙酮的混和溶液 中超声 3 0分钟 反复 3次 3 把衬底用去离子水清洗后烘干放入反应室中 在 p l d 系统中用 1 t o r r的氧分压 3 0 0 c下生长 9 0分钟 最后样品在管式炉里纯氮气氛下退火处理 退火压强 3 0 kp a 温度 7 0 0 c 时间 6 0 分钟 使用旋转阳极 x射线衍射仪 c u靶 0 1 5 4 0 5 6 n m 和 he c d激光器的 3 2 5 n m 激光在室温下研 究 z n o样品的结构和光学质量 3 结果和讨论 3 1 不同衬底的影响 图 1 为 z n o薄膜直接沉积在衬底 a 1 1 0 织构金刚石膜 b 1 0 0 织构金刚石膜 c s i 1 0 0 上的 x r d 谱 三块 z n o薄膜样品都呈现很高的 c 轴择优生长特性 金刚石膜的择优取向性可以由各个晶面与金刚 石 1 1 1 晶面的衍射峰的强度比值来确定 1 4 1 5 根据 j c p d j o i n t c o m m i t t e e o f p o w e r d i ff r a c t i o n 标准和 图 1 的对应于金刚石的各个 xr d衍射峰值计算可知金刚石衬底 a和 b分别为 1 1 0 1 0 0 织构 衬底 b的 1 0 0 择优取向性同时也可在各 自的场发射 电镜 f e s e m 照片中得到确认 这里没有给出 在图 l a 1 1 0 衬底上 除了金刚石的衍射峰 4 3 9 0 7 5 4 3 9 1 4 2 1 1 9 6 0 6 分别对应于金刚石 1 1 1 1 1 0 3 1 1 4 0 0 面之外 只有一个 z n o的 0 0 2 峰 1 6 j 对于 1 0 0 金刚石衬底 还存在 3 6 2 8 4 7 7 4 6 3 0 8 的衍射峰分别对应于 z n o的 1 0 1 1 0 2 1 0 3 面 在 s i 衬底上只有 z n o的 0 0 2 和 其二次衍射 0 0 4 峰 相应的 z n o 0 0 2 衍射峰的半高宽分别为 0 2 6 样品 a 0 2 0 样品 b 和 0 2 6 样 维普资讯 2 4 2 量 子 电 子 学 报 2 5 卷 品 c 相比与用同样方法制备的 z n o薄膜 1 7 样品的结晶质量都有很大的提高 尤其是在 1 0 0 织构金 刚石衬底上的半高宽最小 fi g 1 th e xrd p a t t e r n s f o r a s d e po s i t e d z no t h i n fi l ms o f s a mp l e a b a n d c 假设 z n o薄膜中的应力是均匀的 可以根据 x r d 0 0 2 峰的位置和相应的半高宽数值来计算薄膜晶 粒尺寸的大小 由谢乐公式 d 6 c o s 0 1 d为晶粒尺寸大小 b为半高宽 0是 b r a g g衍射角 是 x射线的波长 0 8 7 3 是矫正系数 1 8 计算得到的晶粒尺寸可以反映薄膜中晶粒大小的平均值 从表 l 可以看出 计算得到的 z n o颗粒大小分 别为 3 1 0 4 n m a 4 0 3 4 n m b 和 3 1 0 4 n m c 尽管薄膜 的生长条件相同 但样品 b的晶粒最大 另外 z n o 0 0 2 峰在不同衬底上的峰位都有不同程度的移动 其中样品b上的峰位值 3 4 4 4 最接近于无应力时 z n o粉末的值 3 4 4 3 这进一步表 明在 1 0 0 织构金刚石膜上生长的 z n o薄膜应力最小 这也同时提 高了 z n o薄膜的晶体质量和发光强度 这在下文中将做进一步的论述 t a b l e 1 th e p o s i t i o n a n d f w hm o f 0 0 2 p e a k g r a i n mz e a nd s t r a i n of a s de p os i t e d s a m p l e a b a nd e as d e p o s i t e d s a m p l e a s a m p l e b s a m p l e c 0 0 2 p e a k p o s i t i o n 3 4 5 0 3 4 4 4 3 4 4 6 0 0 2 f wh m 0 2 6 0 2 0 0 2 6 gr a i n s i z e n m 3 1 0 4 4 0 3 4 3 1 0 3 s t r ai n gp a 0 8 6 0 1 0 0 3 5 图2 是样品a b c 的室温光致发光谱 所有制备的样品均出现较强的近紫外光发射 被认为是与自 由激子发射有关 而与氧空位等本征缺陷密切相关的可见光发射却几乎看不到 2 o 一般情况下 在 p l d 系统制备的 z n o薄膜都可以观察到深能级发射 而这些样品中的深能级发射或者很弱或者观察不到 这 与本实验过程中采用了较高的氧分压有关 较高的氧分压可以有效减少氧空位的浓度从而抑制了深能级的 发射 另外一个明显的现象是紫外 u v 峰的位置移动 3 2 8 3 e v a 3 2 7 8 e v c 3 2 4 9 e v b 这 是由于薄膜和衬底 金刚石和 s i 的不同晶格失配导致在 z n o生长过程中产生不同程度的张应力 应力的 改变 可以造成带隙宽度的变化 从而引起 u v峰作相应的移动 对于六角纤锌矿结构的 z n o薄膜 其应力大小可以由下式计算 x 罢 一 4 5 3 6 c fi h n c ot3 1 f 2 u m 一 一 一 一 ljo u 一 i j zc1 3 co co 其中 为弹性常数 c o o 5 2 0 5 n i i 1 为无应力时 c 一 轴方 向的晶格常数 根据 xr d图计算的结果列于表 1中 从表 1可知 z n o薄膜在 1 1 0 织构金刚石衬底上的张应力 比 s i 大 而 1 0 0 金刚石上的最小 计 维普资讯 第 2期 张吉明等 p ld方法在 cvd 金刚石膜上生长 z n o薄膜及其特性研究 2 4 3 算结果得到的峰位移动和 p l光谱中 u v峰位的移动是一致的 这里应力的来源归结为 z n o薄膜和金刚 石 s i 衬底的晶格失配所致 z n o膜和金刚石 s i 的品格失配度分别为 8 9 和 4 0 1 2 4 尽管如此 1 1 0 和 1 0 0 织构金刚石衬底上的 z n o薄膜中的应力之间仍然有不少的差距 这可能是由金刚石的 1 1 0 和 1 0 0 面的原子面密度不同所造成 占 p h t o n f a e 1 n e r g y e v p h o t o n e n e r g y e v f b 暑 要 王 ph n l c l e n e r g y v fi g 2 th e pl s p e c t r a f o r t h e a s g r o wn s a m p l e s a b a n d c a t r o o m t e m p e r a t u r e 3 2 氮气氛退火的影响 为了进一步研究衬底对薄膜结构和发光性质的影响 样品 a b和 c 在纯 n 2中 7 o o c下退火 1 h 图 3和图 4分别是退火之后样品的 xr d图和 p l谱 和退火前的 x rd 比较可以看出 z n o的 0 0 2 峰均 向低角度方向移动 a b c 分别从退火前的 3 4 5 0 3 4 4 4 3 4 4 6 移到退火后的 3 4 4 8 3 4 3 2 3 4 4 2 峰位的移动直接反映应力的变化 由于薄膜和衬底的晶格失配和衬底上的氧化层导致的缺陷在退 火过程中获得更多的能量而转移到薄膜表面 从而有效地减少了薄膜中的应力 使得 z n o的 0 0 2 峰向低 角度方向移动 2 5 比较表 1 和表 2 退火后样品的 0 0 2 峰的半高宽都有不同程度的增加 表明 z n o薄 膜的晶体质量在一定程度上受到了破坏 这与退火过程中在 z n o薄膜中引入了更多的本征缺陷有关 这 一 点在样品的 p l光谱中可以得到验证 退火后三块样品的 z n o o 0 2 峰的峰位 半高宽 应力 晶粒大小 等在表 2中列出 三 j df 1 1 1 d 2 2 0 d 3 1 1 0 0 2 k jl 2 0 d e g a 黑 重 量 fi g 3 th e xrd p a t t e r n s f o r 7 0 0 c a n n e a l e d s a mp l e s a b a n d c i n n2 a mb i e n t f o r 1 h 毗 曜 y 星 ph o t o n e n e r g y e v c j fi g 4 th e pl s pe c t r a a t r o o m t e mp e r a t u r e for p o s t t r e a t me n t s a mpl e s i n n i t r o g e n a mb i e n t 维普资讯 2 4 4 量 子 电 子 学 报 2 5 卷 t a b l e 2 t h e p o s i t i o n a n d f w hm o f 0 0 2 p e a k g r a i n s i z e a nd s t r a i n o f a nne a l ed s a m pl e a b a nd c an n e a l e d s a mp l e s s a mp l e a s a mp l e b s a mp l e c 0 0 2 p e a k p o s i t i o n o 3 4 4 8 3 4 3 2 3 4 4 2 0 0 2 f whm 0 2 7 0 2 8 0 2 8 gr a i n s i z e n m 2 9 8 8 2 8 8 0 2 8 8 1 s t r a i n gp a 0 6 0 1 4 4 0 1 6 和图 2相 比 氮气退火后的三块样品都出现了明显的相对强的深能级发光峰 而和激子相关的紫外 发光峰强度相对变弱且都有不同程度的红移 这和 ka n g 引 c h o 等报道的实验结果一致 深能级发 射是 由解析氧空位造成 2 0 2 7 而紫外峰强度的减弱和 z n o中本征缺陷 如锌空位 氧空位和锌填隙等 浓度的变化密切相关 氮气氛退火后 氧空位和锌填隙的浓度将会明显增加 故而使深能级发射增强 同 时薄膜中缺陷浓度的增加 会导致紫外发射变弱 在三块样品的 p l谱中 u v峰所显示的不同程度的红 移 是由于 z n o薄膜经过退火后 应力在一定程度上得到释放 从而导致带隙变窄 即 u v峰红移 但是 如表 2 所示 a b c 三块样品应力缓解的程度各不相同 这要归结为 z n o薄膜和衬底 金刚石 单晶 硅 之间的热膨胀系数不同所致 另外 值得注意的一点是 a和 b的应力变化有所不同 b样品更是 从张应力变到退火后的压应力 1 4 4 g p a 初步认为这可能是与 c v d金刚石膜在生长过程中形成的非晶碳 成分有关 通过 s e m图和拉曼光谱可以发现 与样品a 相比 b样品中金刚石晶粒之间存在着较多的非 晶碳 但是其影响机制还有待于进一步研究 4 结 论 在低温生长条件下 用 p l d方法在 1 1 0 和 1 0 0 织构金刚石膜衬底上成功制备出高质量的 0 0 0 1 取向的z n o薄膜 x r d谱表明在 1 0 0 织构金刚石衬底上生长的 z n o薄膜具有最小的半高宽0 2 0 相 对于 1 o 0 s i 单晶衬底紫外峰的红移最大 这归结于金刚石和 z n o之间具有非常接近的晶格常数 因此沉 积得到的 z n o薄膜应力也最小 进一步研究了纯 n 气氛下退火对 z n o薄膜的结构和发光性能的影响 发现 1 0 0 织构金刚石上 z n o薄膜的应力从退火前的张应力变为退火后的压应力 这可能与 1 0 0 织构金 刚石薄膜在 c v d方法制备的过程中引入了过多的非晶碳有关 参考文献 1 y a ma mo t o t s h i o s a k i t e t a 1 c h a r a c t e r i z a t i o n o f z n o p i e z o e l e c t r i c fi l ms p r e p a r e d b y r f p l a n a r ma g n e t r o n s p u t t e r i n g j j a p p 1 p h y s 1 9 8 0 5 1 3 1 1 3 3 1 2 0 2 wa n g y z e t a 1 e ff e c t s o f s a p p h i r e s u b s t r a t e a n n e a l i n g o n z n o e p i t a x i a l fi l ms g r o w n b y mo c v d j a p p 1 s u s e i 2 0 0 6 2 5 3 1 7 4 5 1 7 4 7 3 l i u y a n s o n g e t a 1 p u l s e d l a s e r d e p o s t i o n z i n c o x i d e fi l m s f o r s u r f a c e a c o u s t i c w a v e a p p l i c a t i o n s j j o u r n a l o f n e t i o n a l ma t e r i a l s 功能 材料 2 0 0 1 3 2 7 8 9 0 i n c h i n e s e 4 h a c h i g o a e t a 1 h e t e r o e p i t a x i a l g r o w t h o f z n o fi l m s o n d i a mo n d 1 1 1 p l a n e by ma g n e t r o n s p u t t e r i n g j a p p 1 s l e t t 1 9 9 4 6 5 2 5 5 6 2 5 5 8 5 s e o s h s h i n w c e t a 1 a n o v e l me t h o d o f f a b r i c a t i n g z n o d i a mo n d s i m u l t i l a y e r s fo r s u r f a c e a c o u s t i c w a v e s a w d e v i c e a p p l i c a t i o n s j t h i n s o l i d f i l m 2 0 0 2 4 1 6 1 2 1 9 0 1 9 6 6 6 l a ma r a t b e l ma h i m e t a 1 f r e e s t a n d i n g c v d d i a mo n d e l a b o r a t e d by p u l s e d m i c r o w a v e p l as ma fo r z n o d i a mo n d s a w d e v i c e s j d i a mo n d r e l a t e d ma t e r i a l s 2 0 0 4 1 3 4 8 5 8 1 5 8 4 维普资讯 第 2期 张吉明等 pl d 方法在 cvd金刚石膜上生长 z n o薄膜及其特性研究 2 4 5 wa n g c x ya n g g w e t a 1 f a b r i c a t i o n o f t r a n s p a r e n t p n h e t e r o j u n c t i o n d i o d e s b y p d i a mo n d fi l m a n d n z n o fi l m j 1 d i a mo n d r e l a t e d ma t e r i a l s 2 0 0 3 1 2 1 5 4 8 1 5 5 2 wan g c x ya n g g w e t a 1 hi g h l y o r i e n t e d g r o wt h o f n t y pe z no fi l ms o n p t y p e s i n g l e c r y s t a l l i n e d i am o n d fi l ms a n d f a b r i c a t i o n o f h i g h q u a l i t y t r a n s p are n t z n o d i a mo n d h e t e r o j u n c t i o n j c a r b o n 2 0 0 4 4 2 3 1 7 3 2 1 wang c x g a o c x e t a 1 p r e p ara t i o n a n d t r a n s p are n t p r o p e r t y o f t h e n z n o p d i a m o n d h e t e r o s t r u c t u r e j c h i n p h y s l e t t 2 0 0 3 2 0 1 1 2 7 1 2 9 z ha o b j ya n g h j e t a 1 pr e p ar a t i o n a n d o p t i mi z a t i o n o f z no fi l ms o n s i n g l e c r y s t a l d i am o n d s u bs t r a t e b y me t a l o r g a n i c c h e mi c a l v a p o r d e p o s i t i o n j s e mi e o n d s e i t e c h n o l 2 0 0 4 1 9 7 7 0 7 7 3 wa n g x q d u g t e t a 1 t w o s t e p g r o w t h o f z n o t h i n fi l m s o n d i am o n d s i b y l o w p r e s s u r e me t a l o r g a n i c c h e mi c al v a p o r d e p o s i t i o n j j p h y s d a p p 1 户 2 0 0 2 3 5 l 7 4 一 l 7 6 s u n j b a i y z e t a 1 d e p o s i t i o n o f z n o fi l ms o n f r e e s t a n d i n g c v d t h i c k d i a mo n d fi l ms j ch i n p h y s l e t t 2 0 0 6 2 3 5 1 3 2 1 1 3 2 3 d o n g we i e i t a o r u h u a e t a 1 r e c e n t a d v a n c e s o n z n o b a s e d fi l m s s y n t h e s i z e d b y p u l s e d l ase r d e p o s i t i o n j c h i n e s e j o u r n a l o f q u a n t u m e l e c t r o n i c s 量 子电 子学报 2 0 0 6 2 3 1 1 9 i n c h i n e s e wi l d c he r r e s n e t a 1 t e x t u r e f o r ma t i o n i n p o l y c r y s t al l i n e d i a mo n d fi l m s j j a p p 1 p h y s 1 9 9 0 6 8 9 7 3 9 7 8 l i a o y y u q x e t a 1 s t u d y o f e p i t a x i al g r o w t h o f d i a m o n d fi l m o n h e t e r o ma t e r i a l s u b s t r a t e j mo d e rn 户 l e t t b 2 0 0 5 1 9 2 2 1 0 8 7 1 0 9 3 y e h t s u n c q e t a 1 nu c l e a t i o n a n d gro wt h d y n a mi c s o f d i am o n d fi l ms b y mi c r o wa v e p l asma e n h a n c e d c h e mi c al v a p o r d e p o s i t i o n mp e c v d j s u c o a t t e c h n o 1 2 0 0 0 1 2 3 1 2 9 1 3 3 zh e n g w l i a o y e t a 1 s t r u c t u r e a nd p r o p e r t i e s o f zn o fi l ms gro wn o n s i l i c o n s u b s t r a t e s wi t h l o w t e mp e r a t u r e b u ff e r l a y e r s j a p p 1 s u r s c i 2 0 0 6 2 5 3 2 7 6 5 2 7 6 9 y e j d g u s l e t a 1 r a m a n and p h o t o l u mi n e s c e n c e o f z n o fi l ms d e p o s i t e d o n s i 1 l 1 u s i n g l o w p r e s s u r e me t al o r g a n i c c h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o n j v a c s c i t e c h n o 1 a 2 0 0 3 2 1 9 7 9 9 8 2 l i m w t l e e c h h i g h l y o r i e n t e d z n o t h i n fi l ms d e p o s i t e d o n r u s i s u b s t r a t e s j t h i n s o l i d f i l ms 1 9 9 9 35 3 1 2 1 5 v a n h e u s d e n k warr e n w l e t a 1 me c h a n i s ms b e h i n d gre e n p h o t o l u m i n e s c e n c e i n z n o p h o s p h o r p o w d e r s j j ap p1 s 1 9 9 6 7 9 7 9 8 3 7 9 9 0 oh m s ki m s h e t a 1 g r o wt h o f n o mi n a l l y u n d o p e d p t y p e z n o o n s i b y p u l s e d l a s e r d e p o s i t i o n j a p p 1 p h y s l e t t 2 0 0 5 8 7 1 2 2 1 0 3 1 3 ka n g h s e t a 1 a n n e a l i n g e ff e c t o n t h e p r o p e r t y o f u l t r a v i o l e t