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文档简介
IPQC制程检验作业培训指导书品管部 1 目的 指导检验员对将要进行粘胶工序的多晶硅块 以下简称 硅块 的检验 以确定所检产品是否达到品质要求 2 范围 适用于粘胶前硅块检验判定 3 作业内容 送检确认1 确认所送硅块的标识书写是否正确 每个硅块是否有对应的随工单 硅块随工单是否盖有IPQC待定章 红色 如有发现异常 需立刻通知送检人员处理 并确认处理结果是否正确 4 随工单标识图硅块标识图 5 送检确2 与硅片事业部的硅块送检人员确认每个硅块的外观质量状况 如有崩边 崩块 台阶等外观问题应当面与其确认并在对应的随工单上注明准确信息硅块去头尾尺寸比要求去头尾尺寸偏少时 需通知硅块送检人员按要求再去一次硅块头尾 并再次送检硅块去头尾尺寸比要求去头尾尺寸偏多时 要求送检人员在随工单上写明造成原因后 可流入下一检验工序 6 几何尺寸检验1 用游标卡尺 精度0 02mm 测量所有硅块长度标识点处的硅块长度 并确认硅块长度测量数据与随工单上硅块长度数据是否一致 正常要求是控制在 0 2 7 硅块长度测量图示 8 几何尺寸检验2 用游标卡尺 精度0 02mm 测量硅块的边宽尺寸 检验每个硅块相邻的两个边宽 测量时使用游标卡尺的量爪在硅块的两侧面前后滑动 使硅块的每一段边宽尺寸都测量到 9 硅块边宽测量图示 10 几何尺寸检验3 用游标卡尺 精度0 02mm 分别测量硅块四条直角边的倒角尺寸 每条倒角从头部到尾部至少测量三处 11 硅块倒角尺寸测量图 12 几何尺寸检验4 用游标卡尺 精度0 02mm 分别测量硅块对应的对角线 每一个大锭抽检5块 并将数据记录于 磨面后硅块检验单 上 13 硅块对角线测量图 14 硅块记录与判定 测量时将相应测量数据记录在 磨面后硅块检验单 上 同时将外观不良现象记录于异常情况说明里送检硅块需清洗干净 并附有每一个硅块的随工单对外加工的硅块依
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