光器件 TO-CAN 培训.ppt

Confidential Page1 MaterialandprocessofTO CAN WhyTO CAN Confidential Page2 MainMaterialofTO CAN Confidential Page3 金线 银胶 TO管帽 Confidential Page4 在光电子领域中 管帽实现了两大基本功能 首先 它们对传输和接收应用领域中的光学元件提供了持久可靠的保护 其次 作为光学接口 它们还确保了光学信号的顺利传输 因此 安装在管帽中的窗口或透镜的光学性质必须达到相当高的要求 TO管座 Confidential Page5 TO管座为安装半导体 激光二极管或简单电路等电子和光学元件提供了机械基础 同时通过引线为封装元件提供电信号 探测器和激光器等光学元件特别容易受到环境的破坏 尤其是湿度 可致使半导体元件迅速腐蚀 导致整个器件出现故障 因此这些元件需要被提供可靠持久的保护 主动元件 Confidential Page6 Submount Confidential Page7 客户化定制材质 AluminumNitrideAuplating 金线 GoldenWire Confidential Page8 在大気中或在水中化学性稳定及非氧化的性質 金属中 展延性较好 可加工Bonding用Wire使用的直径为 程度的極細線 吸収Gas极其少具有对熱压缩Bonding最适合的硬度具有耐樹脂Mold的Stress的機械性強度具有銀 銅其次的高電気传导性电阻率 的比較Ag Cu Au Al 高純度 生金上添加特定的不純物 再经过加工行程調質処理 熱処理 Anneal 作成具备各种特性的Wire 寸法的精度要高 用0 1um制御可能 表面要圆滑 金属要有光泽表面不能有灰尘 污染具有拉伸强度 要有一定的弹性Curl 卷曲性 要小 Wire前端形成的Ball的形状要有一定的真圆性 银胶 Silverepoxy Confidential Page9 可操作性能 HandlingProperties 流动性 Rheology 固胶条件 CureCondition 可装配性能 AssemblyProperties 溢胶 Bleed 挥发 Outgassing 粘结 Adhesion 可靠性能 ReliabilityProperties 空洞 Voids 热 电传导 Thermal ElectricalConductivity 离子污染 IonicContamination 应力 Stress TO CANPROCESS Confidential Page10 贴片 DIEATTACH 全自动贴片机贴片工具打线 WIREBOND 全自动打线机Plasma瓷嘴封帽 CANWelding 封帽机充填及测漏 LeakTest 氦气充填机测漏机LIV测试 LIVTest LIVtester老化测试 BurnIn BurnIntester 全自动贴片机 FTandAccuratusDA Confidential Page11 Confidential Page12 Wafer Colletathomeposition Dieready Vacuumapply Ejectorpinup Colletlowerdowntopickposition Ejectorpinbacktohome Dieispickedup Dieispickedup Colletlowerdowntobondposition DieisbondedontoL F x x L F EpoxydispensedonL F Pad Vacuumtoholdsubstrate Epoxydispensedfromsyringe L Findextobondposition Vacuumtoholdsubstrate Mylardelaminatefromdie TypicalDieBondingSequence Diebondtrainingfile Confidential Page13 全自动打线机 FTandKaijo Confidential Page14 TypicalWireBondingSequence Confidential Page15 Wirebondtrainingfile Confidential Page16 Plasma Confidential Page17 工作原理等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场 用真空泵实现一定的真空度 随着气体愈来愈稀薄 分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长 受电场作用 它们发生碰撞而形成等离子体 这时会发出辉光 故称为辉光放电处理 辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大 另外影响与放电功率 气体成分及流动速度 材料类型等因素也有关 电浆在真空条件下 将产品表面暴露在放电的气体中 使气体在产品表面反应 当所使用为非聚合性气体 如N2 O2 Ar 时 将使产品表面有被蚀刻其它化学性质之效果 CanWelding Confidential Page18 CanWelding Confidential Page19 LeakTester Confidential Page20 Hedetector Confidential Page21 WhyHe 质量最轻的惰性气体 能穿透微小的细缝大气中背景值最低 只有5ppm没有毒性 无可燃性 不会爆炸分子量小 被检测出的速度快 LIVtester Confidential Page22 LIVtestparameter Confidential Page23 Ith 阈值电流Vf 正向电压Vop 工作电压Pf 正向光功率Pop 工作光功率Im pf 正向光功率下的背光电流Im pop 工作光功率下的背光电流Rs 电阻Iop 工作电流Ikink 弯折电流Pkink 弯折功率S E 斜度效率PD Sensitivity 探测器响应度PD Id 探测器暗电流PD Vf 探测器