基底压印光刻技术及其应用的前景毕业论文.doc

基底完整压印光刻技术及其应用前景核心提示：基于软模压印技术，德国苏斯光刻机有限公司与飞利浦研发部门MiPlaza 联合开发出以苏斯掩模光刻机为基础的基底完整压印光刻（SCIL- Substrate Conformal Imprint Lithography）技术，实现了纳米压印光刻工艺中的“软”与“硬”的完美结合，在工程设计和技术工艺上很好的解决了上面提到的纳米压印光刻中所面临的各种难题，为科研单位和大规模生产的工业用户提供高效可行的纳米压印光刻解决方案。这篇文章中我们将系统地介绍SCIL 技术以及产业化应用前景。近年来, 半导体照明技术在全球范围内引起了广泛关注。相关的产业也开始蓬勃发展。预计到2010年全球发光二极管（LED）产业市场总值将达到90亿美金1。然而，目前由于发光效率的限制，LED的应用还被局限在诸如手机，掌上电脑，笔记本电脑或者汽车导航等便携设备终端的背光照明上。想要把LED这种技术应用于更多的日常照明领域，它的发光效率还有待显著的提高。在科学上光子晶体（PhC）结构已经被证明可以有效的提高发光二极管的发光效率2。然而如何在发光二极管基底上面有效地低成本地生产这种高分辨率的光子晶体结构一直是对光刻生产工艺的巨大挑战。传统的大面积掩模光刻技术无法满足在波长范围的精度要求，电子束光刻的精度足够, 但是另一方面基于它的扫描曝光原理产能又太低。步进式光刻机目前可以满足精度和产能两方面的需求，但是居高不下的机器价格又使得生产成本的控制捉襟见肘。于是新兴的纳米压印光刻（NIL）技术似乎成为这种应用的最佳选择。纳米压印光刻技术分类及其局限性自从1996年美籍华人史蒂芬.周首先提出了纳米压印光刻技术3的概念后，在全球范围内掀起了一场科研领域的高潮。众多的文章中都提到纳米压印光刻很有可能取代现有步进式光刻成为下一代主流光刻技术，是极紫外光刻技术最有力的竞争者。它具有高分辨率，高产能以及低生产成本等特性。纳米压印光刻的主要分支有热压印（hot embossing），紫外压印（UV-NIL）4以及软模压印（soft lithography）5等。热压印技术（图 1）以硅或者镍材料的硬质模板和热塑性压印材料为基础，可以实现大面积高精度的模板结构复制，然而由于热塑性材料所需的加热和冷却过程，产能和对准能力受到限制，无法满足大规模生产的要求，而且压印过程中所需的高压力很容易造成模板的损伤。图1. 热压印原理示意图。紫外压印技术（图 2）使用透明的石英模板和可以通过紫外曝光固化的液态压印材料以及很低的压力，可以在室温下压印分辨率低于10 纳米的结构，而且由于无需加热等过程，只需要紫外曝光固化，对准精度和产能相对于热压印都有大幅度的改善。然而由于使用很低的压力，很难在大面积基底上实现均匀的接触（图 3），理论上最佳的接触面积只有一平方英寸左右，大面积的基底压印只有通过步进式压印机实现，目前产能和机器成本都无法满足大批量生产的需要。图2. 紫外压印光刻原理示意图。图3. 在大面积基底上无法使用硬质石英模板实现大面积均匀压印。软模压印技术（图 4）使用软质聚合物模板，可以在很大面积上配合基底的不平整表面实现均匀接触，从而在很低的压力下使得大面积一次压印成为可能，并且由于软质模板通常都是从硬质模板复制得来，大大降低了生产中原始模板被损坏的可能，进而降低模板成本。由于生产环境的限制，颗粒状污染物是压印过程中无法避免的，这些沉积在模板或者基底上的污染物会在压力的作用下给硬质模板带来永久性的损伤，而软质聚合物模板则不受这种影响，它会在污染物周围产生可恢复的弹性形变，并且把污染物对压印结果的影响限制在最小的范围。然而从另一个方面看，软模压印中模板的“软”也带来很多局限性，比如软模上结构在压印材料中的变形会影响结构分辨率，整个模板在压力作用下会产生横向拉伸，从而影响压印中的叠加和对准精度，还有软模在大面积的直接接触过程中也需要一定的压力去产生形变来配合基底的不平整表面，均匀接触和压力下模板的变形成为一种不可调和的矛盾。图4. 软模压印原理示意图。基底完整压印光刻（SCIL）技术6基于软模压印技术，德国苏斯光刻机有限公司与飞利浦研发部门MiPlaza 联合开发出以苏斯掩模光刻机为基础的基底完整压印光刻（SCIL- Substrate Conformal Imprint Lithography）技术，实现了纳米压印光刻工艺中的“软”与“硬”的完美结合，在工程设计和技术工艺上很好的解决了上面提到的纳米压印光刻中所面临的各种难题，为科研单位和大规模生产的工业用户提供高效可行的纳米压印光刻解决方案。这篇文章中我们将系统地介绍SCIL 技术以及产业化应用前景。SCIL 技术通过独特的“软”“硬”结合的模板设计同时拥有硬质石英模板高分辨率与软质聚合物模板可实现大面积压印的双重优点。SCIL 压印过程中使用的工作模板（working stamp）是从母模板（master）上面复制下来的子模板。母模板通常是使用电子束光刻和刻蚀等技术制造的具有微小结构的硅或者石英晶圆，在复制工作模板之前，母模板的表面要先使用1H,1H,2H,2H-Perfluorodecyltrichlorosilane 蒸汽修饰成缩水性7，以便带有纳米结构的工作模板可以顺利的从母模板分离。SCIL 工作模板包括三层材料：100 微米厚的硬PDMS 结构层，500 微米厚的PDMS 弹性层和200 微米厚的AF32 玻璃基座（图 5）。AF32 玻璃基座具有和硅和石英等常用基底相似的热膨胀系数，保证了压印过程中结构的叠加对准精度，同时它也保证了模板在压力下不产生横向的拉伸形变。另一方面，它又可以在纵向弯曲以配合大面积基底的表面不平整度，从而实现大面积模板和基底的均匀接触。工作模板中间的PDMS 弹性层如上面介绍的软模压印技术中所提到的优点，可以很好的限制由于颗粒状污染物所造成的缺陷面积。最下面的硬PDMS 结构层使用比普通PDMS 硬度高4 倍以上的特殊PDMS 配方，最大限度的保证结构在压印过程中不产生形变，从而保证SCIL 技术的高分辨率。同时，这种材料又不会由于污染物造成永久性损伤，因而具有很长的使用寿命。这种多层的SCIL 工作模板可以使用苏斯的与SCIL 配套的模板复制模具从母模板上面复制而得。图5. SCIL 模板示意图。如图 6 所示，普通的软模压印技术通常是将PDMS 模板固定在一块厚的石英基座上进行压印，软模配合大面积基底的不平整度只有通过PDMS 模板不同的变形程度来实现，这也导致了局部压力的不均匀分布：某些变形程度大的区域具有较大的压力，会引起结构的倾斜于变形，只有在某些变形程度小的地方才可能获得完美的压印结构。而SCIL 模板的薄玻璃基座可以在纵向产生弯曲，无需PDMS 层变形即可配合大面积基底表面，从而实现了均匀的压力分布，进而实现基底完整均匀压印。图6. 示意图：SCIL 多层模板与普通软模压印模板的区别。在纳米压印光刻技术中，如何实现大面积的均匀接触是实现基底完整压印的关键。显而易见，平行的模板和基底直接接触无法在大面积上实现纳米级别的紧密接触 （图4）。SCIL 技术采用特殊的连续式接触方式，保证了模板与整个基底的紧密接触，实现了大面积基底完整压印。SCIL 模块如图 7 所示，多层SCIL 工作模板被真空固定在SCIL 模板固定模具上，在固定模具上有横向刻槽阵列，每一根刻槽都可以单独在真空和压力状态之间转换。 液态的SCIL 压印材料被旋涂在基底表面，基底与SCIL 压印模板之间可以根据需要选择压印距离，一般在40 至120 微米之间。图7. SCIL 模块原理示意图。在压印过程中（图 8），从模板的一侧开始，固定模具刻槽中的真空被转换为压力，模板在纵向上产生变形，局部开始接触基底。随着越来越多的刻槽被逐一转换至压力状态，接触面积不断扩大，直至覆盖整个基底面积。为了避免压力造成SCIL 模板中PDMS 弹性层的横向形变和硬PDMS 结构层的结构形变，SCIL 技术中所使用的压力只有20mBar 左右。这些压力主要用来释放刻槽中初始的真空状态，使模板能够局部纵向变形接触基底。与普通压印光刻技术所不同的是，SCIL 模板上的结构不依赖压力压入压印材料，而是利用液态压印材料表面的毛细管效应自动填充模板结构。通常使用的SCIL 压印材料为特殊的可以在室温下固化的Sol-gel（荷兰飞利浦）或者可以通过紫外曝光固化的AMONIL 压印胶（德国AMO 公司）。在模板与基底接触的同时，压印材料浸润硬PDMS 结构表面，毛细管效应促使结构在很短的时间内被自动填充，从而避免了模板形变问题。Sol-gel 材料在压印过程完成后通过室温下PDMS 层对溶剂的吸收被固化，AMONIL 材料可以简便而快速的通过紫外曝光固化。脱模过程是完成压印的另一个关键步骤，不当的脱模会导致压印材料结构的损坏甚至模板的永久性损伤。可以想象，直接把布满微细纳米结构的大面积模板与压印好的晶圆分离需要很大的力量才可以实现，甚至有可能把压印材料从基底上连根拔起，从而前功尽弃。SCIL 技术巧妙的逆转连续压印过程，将刻槽中的压力状态逐一转换回真空状态，实现了连续“揭开”式的低力量脱模过程。同时硬PDMS 结构层表面对压印材料良好的抗黏附性也保证了模板结构可以顺利地从压印结构脱离，而无需额外的抗粘层处理。图8. SCIL 压印原理示意图。图9和图10分别以俯视图和鸟瞰图展示了使用SCIL 技术在100 纳米Sol-gel 材料层中压印的孔型阵列和线型阵列，其中孔型结构孔径为95 纳米，周期为150 纳米，线型结构线宽为55 纳米，周期也是150 纳米。结构深度为70 纳米左右，基底为6 英寸硅晶圆。图11以俯视图和截面图展示了在200 纳米AMONIL 材料层中压印的孔型结构阵列，孔径为320 纳米，周期513 纳米，结构深度为160 纳米左右，基底为6 英寸硅晶圆。图9. 电子显微镜照片：使用SCIL技术在100纳米Sol-gel材料层中压印的孔型阵列， 孔径为95纳米，周期为150 纳米。俯视图（左侧）与鸟瞰图（右侧）。图10. 电子显微镜照片：使用SCIL技术在100纳米Sol-gel材料层中压印的线型阵列， 线宽为55纳米，周期为150 纳米。俯视图（左侧）与鸟瞰图（右侧）。图11. 电子显微镜照片：使用SCIL技术在200纳米AMONIL材料层中压印的孔型阵列， 孔径为320纳米，周期为513 纳米。俯视图（左侧）与截面图（右侧）。SCIL技术应用前景成功的将纳米压印光刻技术引入大规模生产需要满足以下两个客观条件：低成本和高质量。对比传统的纳米压印技术以及纳米加工技术，SCIL这种颠覆性的新技术具有很多优势：1. 可以在苏斯掩模光刻机上进行简单的升级，加装SCIL压印模块，使原有的光刻机具有SCIL纳米压印功能。这项低成本的升级并不影响光刻机原有的掩模光刻功能，用户可以在5分钟之内实现SCIL功能和掩模光刻功能的转换。2. SCIL技术使用的压印模板是从母模板上复制的工作模板，保护母模板不受污染和损害，而且从一块母模板上可以复制出无数块SCIL工作模板，大大降低了模板的使用成本。这种工作模板已经被证明在使用3000次之后依然没有任何结构变化，具有很长的使用寿命。3. SCIL技术对生产环境要求低。以发光二极管生产为例，目前大部分厂家的超净间都设计在1000级以上，如果使用普通纳米压印光刻技术，空气中的颗粒状污染物将大大降低压印结构的成品率并损坏模板， 厂家将不得不为生产环境改造付出高额代价。SCIL技术使用特殊的软硬结合模板设计，低压力压印和揭开式脱模等技术，可以实现在现有生产环境下的高质量高分辨率压印过程，可以很容易的被加入现有生产线中。4. 在硬PDMS结构层材料和低压力压印原理的帮助下，SCIL技术可以实现10纳米以下的分辨率，同时模板的纵向变形能力和连续接触式的压印过程又保证了大面积的基底完整压印。这些优点使得SCIL技术在分辨率和产能上都超过了目前主流的步进式掩模光刻机，而SCIL的机器成本与步进式掩模光刻机相比却要低几十倍。5. 在高亮LED生产中，为了节省MOCVD外延生长的成本，未来的发展趋势是使用大尺寸基底，例如4寸或者6寸晶圆。然而外延生长会导致大尺寸基底的弯曲则越发的明显，在后续的光刻过程中强行利用真空吸附等方式补偿这种弯曲以换取光刻中的高分辨率有可能会造成基底断裂。SCIL技术可以利用模板的纵向变形来补偿基底的弯曲，实现大面积上完整的均匀压印，完美地克服了生产工艺上的难题。综上所述，SCIL技术无论在技术工艺和成本质量控制上都达到了应用于大规模生产的要求，可以在LED晶圆上以极低的成本生产高质量高分辨率的光子晶体结构，从而使高亮LED在大规模生产成为可能，推动LED技术在日常照明等新的应用领域的发展。而且SCIL在诸如高密度存储介质，微镜头等三维结构加工，大规模集成电路等领域也具有广泛的应用前景。参考资料1 Yole report LED manufacturing technologies, 2008 Edition. .2 T. Lee, C. Lin, S. Ma, C. Sun, Opt. Express 13 (11) (2005) 4175.3 S.Y. Chou, P.R. Krauss, P.J. Renstrom, J. Appl. Phys. Lett. 67 (1996) 3114.4 M. Bender, M. Otto, B. Hadam, B. Vratzov, B. Spangenberg, H. Kurz, Microelectron. 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Eng. 6162 (2001) 441448.袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羁莀蒈羃膇芆蒇蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃虿羆艿薃袁节膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肃芅蕿袈芈膁蚈羀肁蒀蚇蚀袄莆蚇螂肀莂蚆羅袂芈蚅蚄膈膄蚄螇羁蒂蚃衿膆莈蚂羁罿芄螁蚁膄膀螁螃羇葿螀袅膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃蚂肂莈蒂螄芈芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁节蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈蚂螂羂薁袈肀肁芀蚁羆肁莃袆袂肀薅虿袈聿蚇蒂膇肈莇螇肃肇葿薀罿肆薂螆袅肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羁膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿节衿羈腿莄蚂袄芈蒇袇螀芇蕿蚀聿芆艿蒃肅芅蒁螈羁芄薃薁袆芃芃螆螂芃莅蕿肁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