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TFT LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 Contents 2 减薄的作用 1 减少占有的空间2 使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 4 封胶 一般在这之前还会进行检查 涂胶后静置1min 清除多的UV胶 UV固化后检查 5 封胶 UV固化 UV灯 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 6 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF SiO2 H2SiF6 2H2O 液体 固体 玻璃 液体 7 单片直立喷洒 瀑布流 优点 1 可以满足两面不同蚀刻要求 多片缺点 1 蚀刻表面易产生凹点 优点 1 表面最光滑 甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 8 Textinhere 蚀刻 清洗 减薄 减薄流程 9 10 减薄设备 其余组件 供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置 11 减薄工艺参数 1 反应时间与玻璃质量损失的关系 图1 反应时间与玻璃质量损失之间的关系 12 减薄工艺参数 2 反应速率与反应温度的关系 图2 玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 13 减薄工艺参数 3 反应速率与HF酸浓度的关系 图3 玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明 HF 2是HF酸溶液中的最主要活性成分 因为以氢键形式存在的H F键比HF分子中的H F键更脆弱 与SiO2反应时更容易断裂 14 减薄清洗单元 后 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject 研磨 15 16 减薄工艺自身不良 17 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质 1 除胶未干净 有残留2 PT等未清洗干净 1 设备故障 Conveyer 2 瀑布流分叉 瀑布流蚀刻方式 3 Nozzle堵塞 喷淋式蚀刻方式 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 18 Slimming后划伤 19 Slimming后划伤 LiftPin凹点 20 Slimming后划伤 2 Robot吸盘凹点 21 Slimming后划伤 3 轮印 22 造成B ITO不良 现象 ADS产品做完B ITO后 产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 类似产品表面水干燥后残留的印记 原因 BOX在Slimming车间长期周转 slimming车间内酸气长期在BOX表面附着 从而使BOX表面呈
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