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第四章 运行与调整 第四章 运行与调整摘要：本章介绍系统首次通电时的试运行方法与步骤。请按以下顺序步骤调试：4.1.14.1.24.1.34.2.14.2.24.2.34.2.44.3.14.3.24.3.34.4.14.4.24.1 运行前检查4.1.1 接线检查确保所有的电缆连接正确,应特别注意检查：l 继电器、电磁阀的续流二极管的极性。（参照第一章）l 电机强电电缆的相序。l 进给装置的位置控制电缆、位置反馈电缆、电机强电电缆应该一一对应。如4.1.1所示。l 确认主轴单元接收的模拟电压指令的类型，检查接线以免损坏主轴单元速度指令接口。若为010V应使用XS9的AOUT2（14脚与15脚）；若为-10V+10V则应使用XS9的AOUT1（6脚与7脚）。l 确保所有地线都可靠且正确地连接。l 确保急停按钮与急停回路的有效性。当急停按钮按下或急停回路断开后，能够切断进给驱动装置、主轴驱动装置等运动部件的动力电源。急停回路的设计参见第二章2.10节。4.1.2 电源检查l 确保电路中各部分电源的电压正确，极性连接正确。特别是DC24V的极性，确保该部分电源回路不短路。l 确保电路中各部分电源的规格正确。l 确保电路中各部分变压器的规格和进出线方向正确。4.1.3 设备检查l 确保系统中的各个电机（主轴电机、进给电机）已经与机械传动部分脱离，并且可靠放置与固定。l 确保所有电源开关、特别是伺服动力电源开关已经断开。4.2 试运行4.2.1通电系统通电与断电前，都应先按下急停按钮，避免伺服动力电源与伺服控制电源同时接通和断开，而出现电机瞬时跳动。在执行以下步骤时，应确保伺服驱动器的动力电源是断开的，以防止因数控装置的参数尚未正确设置，而出现误动作或故障。1） 按下急停按钮，确保系统中所有空气开关已断开。2） 合上电柜主电源空气开关。3） 接通控制交流24V的空气开关或熔断器，检查AC24V电源是否正常。4） 接通控制直流24V的空气开关或熔断器，检查DC24V电源是否正常。5） 检查设备用到的其他部分电源是否正常。6） HNC-21数控装置通电。4.2.2 参数设置HNC-21数控装置通电后，经自检进入主控制画面。进入参数设置菜单。请对照现场硬件，检查系统参数是否正确。建议按以下顺序核查、设置参数：（带*号项是用户可随机调整项）设置以下参数时，请仔细阅读 第三章 参数设置系统参数参数名值说明差补周期8差补周期为8毫秒刀具寿命管理0刀具寿命管理禁止移动轴脉冲当量分母1移动轴内部脉冲当量为1微米旋转轴脉冲当量分母1旋转轴内部脉冲当量为0.001度通道参数 标准设置选“0通道” 其余通道不用参数名值说明通道使能1“0 通道”使能X轴轴号0X轴部件号Y轴轴号 1 Y轴部件号/车床，设-1Z轴轴号2Z轴部件号A轴轴号34轴部件号/不用，设-1B轴轴号-1系统中此轴不存在C轴轴号-1系统中此轴不存在U轴轴号-1系统中此轴不存在V轴轴号-1系统中此轴不存在W轴轴号-1系统中此轴不存在主轴编码器部件号-1或23根据实际设定主轴编码器每转脉冲数0根据实际设定移动轴拐角误差1000禁止更改旋转轴拐角误差1000禁止更改通道内部参数0禁止更改坐标轴参数参数名值轴0轴1轴2轴3轴名XYZA所属通道号0轴类型0000“轴类型”参数设置说明：l 数控系统PLC未调试好以前，“轴类型”值设“0”：未安装！可模拟调试PLC。PLC及所有参数调好后，按第三章的说明，逐个轴设置此参数，使其正常工作。设“1”为移动轴，“2”或“3”为旋转轴。l 根据设备具体情况设置，例如3轴系统，轴3的轴类型为0；2轴车床，轴1和轴3的轴类型设为0。l 轴3为旋转轴时可设为2或3，在调试时均可设为1。外部脉冲当量分子 1外部脉冲当量分母 1正软极限位置 *2000000负软极限位置 *-2000000回参考点方式2回参考点方向+参考点位置0参考点开关偏差0回参考点快移速度500回参考点定位速度200单向定位偏移值1000最高快移速度 *1000最高加工速度 *500快移加减速时间常数100快移加减速捷度时间常数60加工加减速时间常数100加工加减速捷度时间常数60定位允差20伺服驱动器型号 串行接口式49步进式46脉冲接口式45模拟接口式41或42伺服驱动器部件号0123位置环开环增益3000位置环前馈系数0速度环比例系数2000速度环积分时间常数100最大力矩值150额定力矩值100最大跟踪误差12000电机每转脉冲数2500伺服内部参数0串行式STZ电机21FT6电机3步进电机步进电机拍数脉冲式0模拟式1000转对应D/A输出值 伺服内部参数1串行式0步进电机0脉冲式反馈电子齿轮分子模拟式最小D/A输出对应数字值伺服内部参数2串行式1或5步进电机0脉冲式反馈电子齿轮分母模拟式D/A输出最大值对应数字量伺服内部参数3串行式0步进电机脉冲式模拟式位置环延时时间常数伺服内部参数4串行式0步进电机脉冲式模拟式位置环零漂补偿时间ms伺服内部参数50具体设置请参阅第三章 参数设置 3.7.3节 确定!注意：在接通伺服动力电源前，必须仔细参照伺服说明书，对伺服驱动器的参数、伺服内部参数进行设置。特别是使用HSV-11型伺服驱动器，伺服内部参数0必须正确设置：2-STZ系列电机、3-1FT6系列电机。参见3.7.3节。轴补偿参数参数名值轴0轴1轴2轴3反向间隙 *0螺补类型0硬件配置参数参数名型号标识地址配置0配置1部件05301串行式 49步进电机 46脉冲式 45模拟式 41/42000部件110部件220部件330部件201300部件211310部件221540部件233240部件243150PMC系统参数参数名值备注开关量输入总组数46开关量输出总组数38输入模块0部件号21外部输入开关量组数30输入模块1部件号20编程键盘与机床操作面板输入开关量组数16输入模块N部件号-1N=27组数0输出模块0部件号21外部输出开关量组数28输出模块1部件号22主轴D/A对应数字量组数2输出模块2部件号20输出到编程键盘与机床操作面板开关量组数8输出模块N部件号-1N=37组数0手持单元0部件号24PMC用户参数根据PLC编程的要求或说明，设定PLC涉及到的PMC用户参数。务必参阅PLC程序使用说明，根据现场硬件配置正确设定！特别注意：在PLC编程中，若引用某个PMC用户参数作为分母（例如主轴变速比分母），则该参数不得设为0。否则，会引起系统崩溃。外部报警信息根据PLC编程的要求或说明输入。4.2.3 外部状态检查l 检查各进给驱动单元、主轴驱动单元接通控制电源后是否正常；l 检查系统所需要的状态回答信号是否正常，如进给驱动正常、主轴驱动正常等。为接通伺服动力电源做准备。4.2.3.1开关量输入输出状态的显示通过查看PLC状态，用户可以检查机床输入输出开关量信号的状态（X、Y）。另外，用户还通过查看PLC编程用的中间继电器（R继电器、不是指控制柜中的实际继电器）的状态信息，调试PLC程序。在图4.2.1所示的主操作界面下，按F5键进入PLC功能子菜单。命令行与菜单条的显示如图4.2.2所示。在PLC 功能子菜单中选择F4，弹出状态选择子菜单，如图4.2.3所示，在状态选择子菜单中可以用、键选择要查看的状态。例如按F1选择机床输入到PMC：X，则显示如图4.2.4所示的输入点状态窗口。X、Y默认为二进制显示。每8位一组，每一位代表外部一位开关量输入或输出信号，例如通常X00的8位数字量从右往左依次代表开关量输入的I0I7，X01代表开关量输入的I8I15，以此类推。同样Y00即通常代表开关量输出的O0O7，Y01代表开关量输出的O8O15，以此类推。注：这里X00与I0到I7以及Y00与O0到O7等的对应关系取决于硬件配置参数和PMC系统参数的相关设置，这两部分参数应按本章所给的数值设置。详细说明见第三章3.7.5和3.7.6节。各种输入/输出开关量的数字状态显示形式，可以通过F5、F6、F7键在二进制、十进制和十六进制之间切换。若所连接的输入元器件的状态发生变化（如行程开关被压下），则所对应的开关量的数字状态显示也会发生变化。由此可检查输入/输出开关量电路的连接是否正确。4.2.3.2 PLC 地址定义HNC-21数控装置输入/输出地址定义如下： 外部开关量输入信号 X00 X29 内部面板输入信号 X30 X45 外部开关量输出信号 Y00 Y27 外部开关量输出信号 Y28 Y29 主轴速度控制D/A 输出到内部面板信号 Y30 Y374.2.4接通伺服动力电源4.2.4.1 接通伺服动力电源前的检查若对参数进行了更改，应该关闭数控装置电源，待3分钟后再重新通电，进行以下步骤：1） 若系统中采用了主轴编码器，可以人为旋转编码器轴，检查屏幕上显示的主轴转速的变化，以检验主轴编码器的设置是否正确；2） 当进给伺服装置接通控制电源，位置反馈控制电路已经进入正常工作状态。按照F9显示方式-显示值-实际坐标的顺序操作，用户可在屏幕右上角显示工件实际坐标，以便观察电机实际位置反馈是否正确。例如，对于HSV-11型伺服，若人为转动电机轴（无抱闸），则数控装置所显示的实际坐标值将发生变化。由此初步判断坐标轴参数的设置及伺服装置与数控装置的连接是否正确。特别注意：当人为转动电机轴后，改变了位置反馈编码器所检测到的实际位置值，但数控装置内的指令位置值并未改变，伺服会认为指令位置值与实际位置值不符。若指令位置值与实际位置值的差值小于系统所设置的最大跟踪误差参数值，或最大跟踪误差检测被设为无效（设置为0），则数控装置不会产生跟踪误差过大的报警。此时，在未接通伺服装置动力电源的情况下，伺服装置内部控制电路无法消除此误差；但一旦接通伺服装置动力电源，伺服装置内部控制电路将会使电机快速转动（跳动），迅速消除此误差。如果电机已与机械装置连接，这种情况很易发生事故。因此，在完成设置检测后，应关闭所有电源，待重新通电后，才允许接通伺服动力电源。禁止人为转动电机后，接通伺服动力电源，以免引发事故。4.2.4.2 接通伺服动力电源l 再次确认PLC 对伺服部分的控制逻辑（主要包括上电、使能、禁止）和电路准确无误；l 松开急停按钮，使中间继电器KA通电（见2.10节），接通伺服动力电源；l 检查抱闸电机的抱闸已经打开。可测量抱闸控制电源（DC24V）或在系统通电时刻，仔细聆听抱闸打开时发出的“哒”声，来判断抱闸是否打开；l 若伺服驱动器带有手持编程器，可用该手持编程器直接控制电机运行，以检验伺服与电机连接的正确性。l 将逐个轴的“轴类型”设为“1”。使数控装置对伺服驱动器的控制使能有效，逐步调试各进给轴的伺服驱动器及电机。l 所有进给轴调试好后，可检查各轴的回参考点功能。应用HSV-11型伺服驱动器l 确认坐标轴参数设置中的电机每转脉冲数的正确性；l 根据电机与伺服的型号规格，确认坐标轴参数中的伺服内部参数P0、伺服内部参数P2的正确性； l 在MDI方式下，控制电机移动一小段距离（如0.1毫米），观察坐标轴的指令值与反馈值是否相同。l 在手动或手摇状态下，控制电机慢速转动。然后，控制电机快速转动。适当调整速度环比例系数和速度环积分时间常数，若电机静止时有高频震动，应减小两个参数的值并相应增大它们之间的比值。应用步进驱动器l 确认步进驱动单元接收脉冲信号的类型与HNC-21所发脉冲类型的设置是否一致，参考第三章的硬件配置参数设置说明；l 确认步进电机拍数（伺服内部参数P0）的正确性；l 在手动或手摇状态下，控制电机慢速转动。然后，控制电机快速转动。若电机转动时，有异常声音或堵转现象，应适当增加快移加减速时间常数、快移加速度时间常数、加工加减速时间常数、加工加速度时间常数。应用脉冲接口式伺服驱动器l 确认脉冲接口式伺服单元接收脉冲信号的类型与HNC-21所发脉冲类型的设置是否一致，参考第三章的硬件配置参数设置说明；l 确认坐标轴参数设置中的电机每转脉冲数的正确性。该参数应为电机或伺服反馈到HNC-21数控装置的每转脉冲数；l 确认电机移动时反馈值与数控装置的指令值的变化趋势是否一致。控制电机移动一小段距离，根据指令值和反馈值的变化，修改伺服内部参数P1或伺服内部参数P2的符号，直至指令值和反馈值的变化趋势一致。l 控制电机移动一小段距离（如0.1毫米），观察坐标轴的指令值与反馈值是否相同。如果不同应该调整伺服单元内部的指令倍频数（通常有指令倍频分子和指令倍频分母两个参数）直到HNC-21数控装置屏幕上显示的指令值与反馈值相同。l 使调试的坐标轴运行10毫米或10毫米的整数倍的指令值，观察电机是否每10毫米运行一周，如果不是，应该同时调整轴参数中的伺服内部参数1、伺服内部参数2和伺服单元内部的指令倍频数参数。例如：已知数控装置给出64毫米的指令电机运行一周；伺服内部参数1：伺服内部参数2=1；伺服单元内部的指令倍频数参数为4。则调整后的参数为：伺服内部参数1：伺服内部参数2=10：64；伺服单元内部的指令倍频数参数=64：10。通过以上参数调整，使得坐标轴的指令值与反馈值相同，并且HNC-21数控装置每发出10毫米的运行指令，伺服电机运转一周。此后连接机床时为适应丝杠螺距、传动比的变化，则只需要调整轴参数中的外部脉冲当量分子(um)和外部脉冲当量分母两个参数。请参考第三章参数设置。应用模拟接口式伺服驱动器l 确认坐标轴参数设置中的电机每转脉冲数的正确性。该参数应为电机或伺服反馈到HNC-21数控装置的每转脉冲数；l 在MDI方式下，控制电机移动一小段距离（如0.1毫米），观察坐标轴的指令值与反馈值是否相同。l 在手动或手摇状态下，控制电机慢速转动。然后，控制电机快速转动。适当调整伺服内部参数3和伺服内部参数4。伺服内部参数3：位置环延时时间常数；伺服内部参数4：位置环零漂补偿间隔时间。单位：微秒4.3 PLC 编程与调试为了更方便、更快捷地使用HNC-21数控装置，华中数控为用户提供了标准PLC应用程序解决方案。我们在HNC-21数控装置的设计时，已考虑到用户的绝大部分需要，提供典型车床、铣床数控系统的电气原理图、相应的参数文件、标准PLC应用程序和配套的PMC用户参数文件。利用标准PLC应用程序（不须自行编制PLC程序）并设置相应的PMC用户参数，即可满足大部分数控车床、数控铣床的控制要求。用户订货后，即可根据订货的硬件配置，按标准图纸组装数控车床、数控铣床的控制电柜，选用相应的参数文件、PLC程序、设置PMC用户参数。另外我们为用户提供PLC编程软件包，若对PLC应用程序有特殊要求，用户可在我公司提供的标准PLC应用程序的基础上，进行编辑、修改。详见PLC编程一书。4.3.1 PLC调试的内容l 操作数控装置，进入输入输出开关量显示状态，对照机床电气原理图，逐个检查PLC输入、输出点的连接和逻辑关系是否正确。l 检查机床超程限位开关是否有效，报警显示是否正确（各坐标轴的正负超程限位开关的一个常开触点，已经接入输入开关量接口）。4.3.2 PLC调试的过程l 检查操作面板上的各个按钮，检验开关量输入信号、系统动作、外部逻辑电路的动作是否正确。例如，按下冷却开/停按钮，该按钮灯应该点亮，并且冷却电机的交流接触器应该动作，再按一次，应该关掉指示灯与冷却电机的交流接触器。l 逐个在开关量输入信号中人为接入限位信号，通常为X0.0X0.7（即I0I7）检验该信号能否使系统产生急停，并正确显示报警信息。例如，接入X0.0系统应该报警显示：X轴正极限报警。l 让各坐标轴返回参考点，人为接入参考点回答信号，检验各坐标能否完成回参考点动作，及回参考点动作是否正确。l 正确连接各个坐标的限位开关与回参考点信号，人为控制限位开关与参考点开关，重复上面两部分内容检验开关的有效性。l 检验各报警开关量输入信号输入时，系统能否正确产生系统报警信息或用户在PLC程序中定义的外部报警信息，并执行相应的动作。例如，主轴报警信号有效时，主轴和自动加工程序应该停止。4.3.3 PLC调试的方法当PLC程序不能按预期的过程执行时，通常按下列步骤调试、检查。l 在PLC状态中观察所需的输入开关量（X变量）或系统变量（R、G、F、P、B变量）是否正确输入，若没有则检查外部电路；对于M、S、T指令，应该编写一段包含该指令的零件程序，用自动或单段的方式执行该程序，在执行的过程中观察相应的变量。（因为在MDI方式正在执行的过程中是不能观察PLC状态的。）l 在PLC状态中观察所需的输出开关量（Y变量）或系统变量（R、G、F、P、B变量）是否正确输出。若没有则检查PLC源程序。l 检查由输出开关量（Y变量）直接控制的电子开关或继电器是否动作，若没有动作，则检查连线。l 检查由继电器控制的接触器、电磁阀等开关是否动作，若没有动作，则检查连线。l 检查执行单元，包括电机、油路、气路等。4.4连接机床调试4.4.1伺服参数调整必须确认机床超程限位开关有效后，才可连接机床调试。l 使数控装置进入输入输出开关量显示状态，人为按动机床上的超程限位开关，观察所对应的开关量输入状态的显示变化，检查超程限位开关是否接线正确；l 在手动或手摇状态下，控制电机慢速转动。然后，控制电机快速转动。对于HSV-11型伺服驱动器，因连接机床后运动部分的惯量增加，可适当增加速度环比例系数和速度环积分时间常数，以及两个参数的比值。但参数不可增加过多，否则可能导致电机静止时有高频震动。参照第三章的表1。l 根据运行情况调整快移加减速时间常数、快移加速度时间常数、加工加减速时间常数、加工加速度时间常数，原则是电机在启停加减速时，伺服电流不要太大，建议最大不要超过电机额定电流的80%。l 对于HSV-11型伺服驱动器，可通过修改伺服内部参数P2为5，使得负载电流显示有效。然后，选择菜单F9显示方式-显示值-负载电流，使屏幕右上角显示出实际电机负载电流。若显示值为1，相当于伺服驱动器的输出电流为所设置的电机额定电流值的100%。必须正确设置坐标轴参数中的额定力矩值，负载电流的显示值才会准确。l 检查机床移动方向和移动距离是否与数控装置所发出的位移方向和位移指令相一致。否则，可修改坐标轴参数中的外部脉冲当量分子和外部脉冲当量分母的数值和符号。l 在手动或手摇状态下，慢速移动各坐标轴，验证各轴的超程限位开关的有效性、报警显示的正确性、超程解除按钮的有效性（超程解除的操作步骤，参见2.10节）。l 根据机械传动的情况及设计要求正确设置各个坐标轴的最高快移速度、最高加工速度、回参考点快移速度、回参考点定位速度。注意：u 这几个速度参数中最高快移速度是最高的；u 速度的设置应该注意避免使得伺服电机不要超过其额定转速。u 回参考点快移速度应该高于回参考点定位速度。l 根据机械传动的情况调整各个坐标轴的快移加减速时间常数、快移加减速捷度时间常数、加工加减速时间常数、加工加减速捷度时间常数使得各个坐标轴响应快，又不对电机及机械传动部分冲击太大。参见第三章 参数设置。l 检验回参考点行程开关的有效性：注意：在确认超程限位开关有效后，才允许执行回参考点操作。1） 在机床的行程中部，人为模拟参考点挡块按压回参考点开关，检查回参考点操作过程是否有效。2） 操作机床，用参考点挡块按压回参考点开关，检查回参考点的过程是否正确。回参考点速度不易太快建议在1000毫米/分钟以下；注意： 参考点挡块应有一定的长度，建议有效行程在30毫米以上；否则，在回参考点速度较快时，有可能冲过参考点档块。注意： 参考点档块与相邻的超程限位档块应该有一定的重叠，即保证相邻的超程限位档块压下超程限位开关时，参考点档块仍未松开参考点开关，以避免机床的坐标轴参考点开关恰好停在相邻的参考点档块和超程限位档块之间时，系统回参考点时因为压下限位开关而不能正确回参考点。l 检查各坐标轴的有效行程范围，正确设置坐标轴参数中的正软极限位置和负软极限位置（软极限位置通常设置在两个超程限位开关位置的内侧）；回参考点后，检验软极限保护是否有效；l 检查主轴的转动方向与速度，调整相关的PLC内容与D/A参数（一般由PLC定义的PMC用户参数，主要包括主轴传动部分的传动比、D/A的起始电压、斜率、终止电压、最低转速、最高转速等），使得主轴的运行达到设计要求。注意：若主轴有制动装置，则主轴运行前，应确保该装置已经松开。l 检查PLC设计的其它内容。主要包括M、S、T指令，安全互锁关系等。4.4.2机床误差补偿首先应仔细阅读第三章 参数设置 3.7.4节轴补偿参数。机床误差补偿内容主要有反向间隙误差和螺距误差两种，可以使用百分表、块规或激光干涉仪测量。4.4.2.1反向间隙误差补偿对于小型机床通常不进行螺距误差补偿，此时需要用百分表测量反向间隙，测量方法如下图所示。反向间隙误差补偿值 = |数据A - 数据B| ，单位是内部脉冲当量。 数据A：A处读到百分表的数据；数据B：B处读到百分表的数据。例如，数据A=3毫米，数据B=2.75毫米，则反向间隙误差补偿值为：3-2.75=0.25毫米=25内部脉冲当量。（内部脉冲当量为1微米）注意：u 在测量前应将反向间隙误差补偿值设置为零；u 采用激光干涉仪测量时可以同时得到反向间隙误差补偿值和螺距误差补偿值；u 若采用双向螺距误差补偿，则可以不进行反向间隙补偿，而通过双向螺距补偿数据补偿反向间隙。4.4.2.1螺距误差补偿螺距误差补偿分单向和双向补偿两种，单向补偿为进给轴正反向移动采用相同的数据补偿；双向补偿为进给轴正反向移动分别采用各自不同的数据补偿。通常仅采用单向螺距误差补偿。补偿方法如下图所示。443A1An+1：进给轴正向移动时测得的实际机床位置；B1Bn+1：进给轴负向移动时测得的实际机床位置；螺距误差补偿值=机床指令坐标-机床实际测量位置。单位：内部脉冲当量。测量螺距误差的用户程序参见3.7.4节。补偿间隔通常为50毫米左右。在测量前各补偿数据应该设置为0。下面以Y轴为例，已知有关参数和数据如下：移动轴内部脉冲当量：1微米 -（系统参数）参考点位置：0 -（轴参数）回参考点方向：+ - （轴参数）补偿间隔：50毫米 -（补偿参数）行程：400毫米 -（机床数据）则，各测量点坐标为：-400，-350，-300，-250，-200，-150，-100，-50，0其中0为参考点。测得数据如下：负向：-400.1,-350.08,-300.05,-250.06,-200.04,-150.02,-100.01,-50.005,0。正向：-400.15,-350.12,-300.1,-250.1,-200.07,-150.06,-100.04,-50.05,0.03。注意：正向回参考点时，回参考点后首先测量的是负向的数据。则Y轴补偿参数如下表所示填写。采用单向螺距误差补偿时参数名数据说明反向间隙（内部脉冲当量）30取-200坐标处螺补类型1单向螺距误差补偿补偿点数9参考点偏差号8补偿间隔（内部脉冲当量）5000050毫米偏差值（内部脉冲当量）0100(-400)-(-400.10)采用负向测量数据因为参考点为起始位置所以单向补偿时该点偏差值一般为零。偏差值（内部脉冲当量）180(-350)-(-350.08)偏差值（内部脉冲当量）250(-300)-(-300.05)偏差值（内部脉冲当量）360(-250)-(-250.06)偏差值（内部脉冲当量）440(-200)-(-200.04)偏差值（内部脉冲当量）520(-150)-(-150.02)偏差值（内部脉冲当量）610(-100)-(-100.01)偏差值（内部脉冲当量）75(-50)-(-50.005)偏差值（内部脉冲当量）80(0)-(0)（参考点）采用双向螺距误差补偿时参数名数据说明反向间隙（内部脉冲当量）0双向时一般为0螺补类型0双向螺距误差补偿补偿点数9参考点偏差号8补偿间隔（内部脉冲当量）5000050毫米偏差值（内部脉冲当量）0150(-400)-(-400.15)正向测量数据偏差值（内部脉冲当量）1120(-350)-(-350.12)偏差值（内部脉冲当量）2100(-300)-(-300.10)偏差值（内部脉冲当量）3100(-250)-(-250.10)偏差值（内部脉冲当量）470(-200)-(-200.07)偏差值（内部脉冲当量）5