单晶、多晶硅片检验文件.docx

江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码1/8编制/日期：审核/日期批准/日期：1目的 监测硅片质量，确保电池片质量稳定。2 适用范围适用于本公司质量部对所有来料硅片（单晶、多晶的125系列、156系列）质量的监视和测量。3职责3.1 电池事业部工艺人员负责制订硅片检验文件。3.2 质量部负责来料硅片质量的控制。4检验4.1核对 对照送检单，核对硅片的来源、规格和数量，供方所提供的参数、如电阻率、厚度、对角线长、边长。检查供方出具的材质报告（碳含量、氧含量、晶向及位错密度），如有不符，须先与采购部沟通，无误后进行检验。4.2 外观检验4.2.1用刀片划开封条，划时刀片不宜切入太深，刀尖深入不要超过5mm，防止划伤泡沫盒内的硅片。塑封好的硅片，用刀尖轻轻划开热缩膜四个角，然后撕开热缩膜。4.2.2 抽出两边的隔版，观察盒内有没有碎片，如有则要及时清理碎片。4.2.3 检验单晶时外戴汗布手套内戴丁腈手套，检验多晶时戴PVC手套。从盒内拿出100片硅片（不得超过100片），先把硅片并齐并拢后观察硅片四边是否对齐平整,并用硅片模板进行对照，鉴别是否存在尺寸不对的现象，如不符合，则用游标卡尺测量，并及时记录于硅片外观检验原始记录表上。4.2.4 再将100片硅片分出一部分使其旋转90度或180度，再并拢观察硅片间是否有缝隙，如有则说明有线痕或是TTV超标的现象。将缝隙处的硅片拿出来，用MS-203测硅片上不固定的数点厚度(硅片边缘2-5cm以内取点),根据厚度结果确定是否超标。将线痕、TTV超标片区别放置。再观察四个倒角是否能对齐，如有偏差，对照硅片模板进行鉴别，把倒角不一致硅片分开放置。并在硅片外观检验原始记录表上分别记录数量。4.2.5 观察硅片是否有翘曲现象，翘曲表现为硅片放在平面上成弧形或是一叠硅片并拢后容易散开。如有，则要把硅片放在大理石平面上，用塞尺测量其翘曲度，将翘曲度超标片区别放置，在硅片外观检验原始记录表上记录数量。4.2.6 逐片检验硅片，将碎片、缺角、崩边、裂纹、针孔、污物、微晶（特指多晶硅片）等不合格品单独挑出，分别存放，并在硅片外观检验原始记录表上记录。4.2.7 逐片计数该盒中合格片数量及各类不合格片数量，并核对总数与硅片外包装计数是否一致，如有缺片的现象则必须记录相对应的盒号、箱号、晶体编号以及对方检验员号。4.2.8 把硅片整理整齐，重新放入泡沫盒内，最后在硅片两侧放入泡沫垫板保护，盖上泡沫盒，用封箱带把盒子封好，在泡沫盒的上方记录包装内的实际数量，下半部分盖上自己的检验工号或在合格证上写上检验工号。4.2.9 按4.2.1-4.2.8步骤对所有硅片进行检验。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码2/84.2.10 将所有检验完毕的硅片盒装箱后用封箱带封好后，在箱子右上角贴上绿色合格标签纸，标明纸箱内硅片的规格、电阻率、厚度以及该箱检片后的实际数量（纸箱右上角空出贴合格证标签的位置,要求粘贴位置一致）。4.3 厚度的检验来料检验部门以GB/T2828.1一般检验标准确定每批检验数量，使用MS-203检测。每片测量5点，分别为硅片四周5mm处四点及硅片中心一点，在硅片厚度测试记录表上记录所测量的数据。计算出所有记录的平均值，并以抽检厚度均值将片源分为四类，结果上报计划部门（参照SF/03-GY-037）。如测试结果与送检厚度误差较大，及时向采购部反馈。4.4 导电类型检验每箱中随机抽取5片已经过外观检验的硅片用P-N导电类型鉴别仪测试硅片的导电类型（P型、N型），填写于导电类型测试记录表上。5片中有一片导电类型与送检类型不一致，则与该片晶体编号相同的片子均不合格。4.5 电阻率测试参照4.3抽检标准确定测试数量，使用MS-203测试厚度时同时测量电阻率。将结果填写于硅片电阻率测试记录表内。4.6 少子寿命测试用WT1000测试扩散后少子寿命，采取均匀抽样的原则，每炉抽取2片，共抽12片，记录下少子寿命值及对应的炉管号。4.7 批量试制4.7.1 采购部报检时要把同一片源不同切片厂家、同一片源不同清洗工艺、包装有差异等分开入批次，便于原材料质量分别开出试制跟踪单。4.7.2 第一次试制时每箱抽一盒,共抽检2400片4.7.2.1 来料3万以下（含3万）第一次试制2400片，合格则余下全部投入生产。4.7.2.2 来料3-10万第一次试制2400片，合格后小批量试制1万。4.7.2.3 来料10万以上（含10万）第一次试制2400片，合格后小批量试制2万。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码3/8投入生产4.7.2.4 若第一次试制不合格，则进行第二次试制,试制量仍为2400片。若第二次试制不合格，则由工艺、质量共同分析原因，决定是否进行第三次试制或直接退货。具体试制流程如下图: 合格小批量试制第一次试制 合格 退货 不合格 不合格 第二次试制 合格 不合格 合格 退货 第三次试制 不合格退货 4.7.3 质量部原材料检验员填写硅片试制跟踪单，并在试制单背面记录试制片晶体编号，将试制跟踪单交由电池事业部生产主管、质量部组长、工艺中心签字后进行生产试制。生产开始试制时要通知工艺人员，每一道工序结束后工艺人员要签字确认,确保跟踪数据准确性。生产中心负责全程的试制生产，工艺中心负责试制工艺方案的确定及异常处理，电池质量负责试制的全程监督。4.7.4 单晶第一次试制时要进行光衰。选取A1、B3、C3档各2片，用500W的光衰灯照射10分钟，在试制单背面记录下光衰前后的效率。光衰减标准：单片衰减值0.5%，6片平均衰减值0.3%。4.7.5 试制结束后，原材料质量将试制数据进行收集、处理，并及时将试制结果反馈至工艺中心,工艺中心根据试制结果判断来料是否异常，并签字确认试制结果。4.8 合格的判定质量部根据硅片的检验结果，判定该批次来料是否合格，并及时将结果反馈至采购部、物料部及电池事业部工艺中心。4.9 入库4.9.1将各类检验结果汇总，填写“检验报告单”，按检验结果将片源分类，填写“硅片检验入库数据清单”交主管签字后，把入库单和坏片、合格片同时交给仓库，由仓库管江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码4/8理人员进行当场核对。4.9.2 根据审批的检验报告单(绿联)以及硅材料报检单，供货质量反馈单交至采购人员确认,由采购人员负责对外沟通。采购人员对不合格硅片做相对应的处理。5 硅片分类及检验标准5.1 分类 一类片、二类片、不合格片、试验片5.2检验标准5.2.1 一类片标准5.2.1.1（A类检验）检验项目检验要求检测器具外包装外包装完整，防摔、污、潮的措施完备目测外形尺寸125125或156156见方尺寸允许误差0.5mm游标卡尺千分表平台硅片模板塞尺硅片对角线误差0.5mm所检每片硅片的平均厚度170m所检每片硅片的平均厚度值：基本尺寸20m所检硅片总体平均值允许误差：10m硅片（同一片厚度）TTV30m 两个边的垂直度900.3（硅片模板）硅片无目视翘曲（翘曲度15m）倒圆角误差0.5mm外观检验表面：洁净无残留硅粉，无污染、色斑、颜色均匀一致，无目视可见破损及针孔油污：面积小于20%且手套擦拭后变为较淡目测线痕深（高）度10m，整个硅片最多一处线痕目测、千分表晶粒（多晶片）：在1cm长区域，晶粒个数小于10个。直尺、目测硅片无可视裂纹、无应力目测无明显缺角、崩边（亮点）不允许有“V”字形缺口 目测游标卡尺江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码5/8试制检验单晶试制平均效率17.1%，碎片率0.75%，G档率0.3%，合格率95% 生产批量试制多晶试制平均效率15.8%，碎片率1.05%，G档率0. 4%，合格率95% 5.2.1.2 B类检验标准项目检验内容、要求检验方法（器具）导电类型P型导电型测试仪碳浓度51016/cm3检查厂家出示的材质报告氧浓度11018/cm3晶向（100）3检查厂家出示的材质报告位错密度3103个/cm2电阻率要求符合以下范围：0.53cm36cm四探针测试仪少子寿命单晶：15s多晶：10s少子寿命仪5.2.2 二类片标准5.2.2.1 A类检验检验项目检验要求检测器具外包装外包装完整，防摔、污、潮的措施完备目测外形尺寸125125或156156见方尺寸允许误差1mm游标卡尺千分表平台硅片模板塞尺硅片对角线误差1mm所检每片硅片的平均厚度值：基本尺寸20m所检每片硅片的平均厚度170m所检硅片总体平均值允许误差：15m硅片（同一片厚度）TTV误差，30mTTV40m两个边的垂直度900.3（硅片模板）硅片有轻微翘曲（15m翘曲度20m）0.5 mm倒圆角误差1mm江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码6/8 外观检验表面：洁净无残留硅粉，无玷污、色斑、颜色均匀一致，无目视可见破损及针孔油污：面积小于20%且手套擦拭后变为较淡目测线痕深（高）度：10m深（高）度30m，且硅片表面最多存在三处线痕。目测、千分表晶粒（多晶片）：在1cm长区域，晶粒个数小于10个。直尺、目测硅片无可视裂纹、无应力目测崩边：长度2mm，深度0.1mm，面积S4mm2，并不多于2处缺角：长度2mm,深度0.5mm，缺角的间距L3cm，并不多于4处不允许有“V”字形缺口 目测游标卡尺试制检验单晶试制平均效率17.1%，碎片率0.75%，G档率0.3%，合格率95% 生产批量试制多晶试制平均效率15.8%，碎片率1.05%，G档率0. 4%，合格率95%5.2.2.2 B类检验符合一类片的B类检验标准。5.3不合格片标准不符合一类、二类检验标准且不符合公司相关采购合同标准的硅片。5.4 试验片标准 所有来料试验片在试验前不能得到所有的检验信息，在统计时，所有来料试验片均作为试验片处理。6注意事项江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅片检验页 码7/8a) 硅片检验过程中，对角线规格及范围需按下表分类，并分别入库硅片型号对角线规格a（mm）对角线范围（mm）125M148147.5a148.5150(一类)149.5a150.5150(二类)149a151152(一类)151.5a152.5152(二类)151a153160(一类)159.5a160.5160(二类)159a161165(一类)164.5a165.5165(二类)164a166156M198(一类)197.5a198.5198(二类)197a199200(一类)199.5a200.5200(二类)199a201203(一类)202.5a203.5203(二类)202a204125P176(一类)175.5a176.5176(二类)175a177150(一类)149.5a150.5150(二类)149a151b) 少子寿命试制值作为批量试制值的参考，如单晶少子寿命大于8s，效率试制合格，则合格；若单晶少子寿命小于8s，效率合格，则需重新试制。若试制结果仍不合格,则该批片子不合格。多晶少子寿命为6s。c) 硅片检验结果只要其中任意一项达到不合格标准即判为不合格。对于不合格信息，及时反馈采购部，由采购部门根据实际采购情况确定是否办理不合格品评审。d) 同一批来料中，对于与正常硅片差异较大的硅片,如LDK色差、Wacker微晶，需单独挑出(以样片为准)，直接判不合格，其他厂家的，需挑出，经小批量试制后判定是否合格。e) 批量试制结果应在工艺稳定的条件下完成。如有异常，需重新试制。如因各类原因导致跟踪错误，需重新跟踪。工艺异常情况的判定由工艺中心负责，必要时可咨询相关技术专家、领导。f) 由于测量仪器精度原因(5m)，文件中涉及TTV、线痕相关数据可在10m范围内波动。e) 同批次，不同电阻率，不同厚度的硅片应分别放置，分别检验，分别入库。f) 物料部更换检验手套时要通知电池工艺,经试用合格后才能投入使用。g) 鉴于本文件抽样方法不能完全拦截不合格品，在生产过程中发现异常应及时处理。7. 引用文件7.1 SF/02-11 采购控制程序7.2 SF/02-17 产品的监视和测量控制程序江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-JY-026版本状态H/1文件名称硅