等离子体刻蚀机使用说明书(最新版).pdf

中国电子科技集团公司第四十八研究所 M42200 2 UMM42200 2 UM型等离子体刻蚀机型等离子体刻蚀机 用用 户户 使使 用用 说说 明明 书书 中国电子科技集团公司第四十八研究所中国电子科技集团公司第四十八研究所 2007 年 1 月 2007 年 1 月 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2 目 录 目 录 1 概述概述 1 1 1 产品特点 1 1 2 主要用途及适用范围 1 1 3 品种 规格 1 1 4 型号的组成及其代表意义 1 1 5 使用环境及工作条件 1 2 工作原理及结构特征工作原理及结构特征 2 2 1 总体结构 2 2 2 设备系统及工作原理 2 3 主要技术指标主要技术指标 3 4 安装和调试安装和调试 3 4 1 安装条件 3 4 2 安装程序及注意事项 4 4 3 调试程序及注意事项 4 5 使用与操作使用与操作 6 6 故障分析与排除故障分析与排除 6 7 安全保护及注意事项安全保护及注意事项 7 7 1 安全保护 7 7 2 注意事项 7 8 保养与维护保养与维护 8 9 运输 储存及开箱检查运输 储存及开箱检查 8 中国电子科技集团公司第四十八研究所 1 概述 概述 本说明书提供有关等离子体刻蚀设备的安装 操作及维护的说明 用户必须按照 有关说明使用 1 11 1 产品特点 产品特点 M42200 2 UM 型等离子体刻蚀机具有占地面积小 装片容量大 生产率高等优点 同时 还具有手动 自动功能 除装卸片要人工操作外 其余过程实现了全自动 保证 了工艺的准确性和重复性 大大地提高了产品质量 1 2 主要用途及适用范围 1 2 主要用途及适用范围 该设备主要用于太阳能电池周边掺杂硅的刻蚀 也可用于半导体工艺中多晶硅 氮化硅的刻蚀和去胶 1 3 品种 规格 1 3 品种 规格 我所研制的等离子体刻蚀机有如下规格 1 M42150 1 UM 2 M42200 1 UM 3 M42200 2 UM 1 4 型号的组成及其代表意义 1 4 型号的组成及其代表意义 M 4 2 200 2 UM 3 企业代号 中国电子科技集团公司第四十八所 设计顺序号 主参数 基片最大直径 200 毫米 种类 等离子体刻蚀设备 型 刻蚀设备 类 表面处理和薄膜淀积设备 1 5 使用环境及工作条件1 5 使用环境及工作条件 a a 环境温度 5 40 b b 相对湿度 70 c c 环境净化等级 优于 10000 级 d d 大气压强 86kPa 106kPa 中国电子科技集团公司第四十八研究所 e e 电源 三相交流 380 1 10 V 频率 50 1 1 Hz f f 所用工艺气体压力 0 1MPa 0 2MPa 压缩空气压力 0 3MPa 0 5Mpa g g 有良好的接地点 接地电阻小于 4 2 工作原理及结构特征工作原理及结构特征 2 1 总体结构总体结构 本设备由反应室 真空系统 送气系统 高频电源 匹配器等部分组成 见附录 1 等离子体刻蚀机平面安装图 2 2 设备系统及工作原理设备系统及工作原理 图 1 等离子体刻蚀机系统图 反应室采用立式结构 射频功率通过电感耦合到反应室内 保证周边刻蚀均匀 真空系统采用主抽和预抽两路抽气 既能保证本底抽空的时间 又能使气氛扰动减小 送气系统通断气均采用电磁阀控制 工艺气体采用质量流量计控制 可靠性高 重复 性好 片架可旋转 提高了刻蚀的均匀性 在泵口有一路稀释气体 它可以延长泵的 维护周期和使用寿命 在排气出口加有一路N2可使排放尾气达到排放标准 射频电源 的功率采用闭环自动控制 并有阻抗匹配器可保证射频输出功率几乎完全耦合到反应 4 中国电子科技集团公司第四十八研究所 5 室内 电气控制具有手动 自动控制功能 在手动状态下 可以真空检漏 不能进行工 艺实验 采用PLC进行工艺自动控制 可靠性高 稳定性好 各电气元器件均采用插装 式 便于维修和更换 3 主要技术指标3 主要技术指标 3 13 1 刻蚀介质 掺杂硅 氮化硅 3 23 2 刻蚀部位 5 6 方片周边 3 33 3 装片量 300 片 批 3 43 4 射频电源 13 56MHZ 100 1000W 连续可调 3 5 3 5 气路系统 手动 1 路浮子流量计 2 路质量流量计 3 6 3 6 抽气系统 2X 15 机械泵 工作压力自动控制 3 73 7 载片架旋转 3 83 8 刻蚀速率 Si3N4 50nm min 掺杂硅 200nm min 3 93 9 批间时间 25min 3 103 10 电源 3N 380V 50HZ 5KVA 3 113 11 周边刻蚀不均匀性 5 4 安装和调试4 安装和调试 4 1 安装条件 4 1 安装条件 4 1 14 1 1 净化等级高于 1 万级的净化厂房 面积 2 4 1 8 0 6 其中净化区面积 2 4 1 8m 2灰区面积 2 4 0 6m2 4 1 24 1 2 具有机械泵尾气排放通道 45 1 5 的软管连接 具有臭氧排放 抽气通道 内径 100 的 PVC 管道连接 4 1 34 1 3 配置N2 CF4 O2 压缩空气 气动阀用 工艺气体 N2 CF4 O2接口为 1 4 外 径 内外抛光不锈钢管 与设备相连一端盘成约 200mm圆一圈后再留出约 300mm长直 管 工艺气体压力 0 1MPa 0 2MPa 压缩空气进气管道为外径 6mm PUV软管 压力 为 0 3MPa 0 5Mpa 4 1 44 1 4 三相 中相 地线 高频电源独立地线 接地电阻 1 4 1 5 4 1 5 若使用水冷机械泵 则需配置内径 14 的进出水增强纤维管 水压 0 2MPa 中国电子科技集团公司第四十八研究所 6 0 4MPa 4 2 安装程序及注意事项4 2 安装程序及注意事项 4 2 14 2 1 按照附录 1 的布局放置该设备主机柜和控制柜 4 2 24 2 2 调整主机柜的地脚 使主机柜处于水平状态 4 2 34 2 3 电感线圈 反应管以及上压环的安装 电感线圈安装 若为出厂线圈 则无须调整线圈安装位置 否则将高频引入线接 在电感线圈的顶部末端 地线接在电感线圈底部的末端 调试辉光匹配时这两个接线 位置可能需要调整 反应管安装 检查下台板安装的水平度 然后先将下室体 上压环的密封槽及矩 形密封圈用绸布和酒精清洗干净 再将 2 个密封圈分别放到下室体和上压环的密封槽 中 将反应管竖直与下室体和电感线圈对中 缓缓将石英管放到下室体密封圈上 注 注 放入反应管时避免反应管壁与上台板发生碰撞 以免造成反应管破损 且 电感线圈除聚四氟乙烯支撑杆外其余部分不得与石英管壁接触 否则调整电感线圈位 置 上压环安装 电感线圈和反应管安装好后 将上压环的密封槽对中放到反应管上 先从下向上拧上左右两个钉 并轻轻带紧 待反应室第一次抽到真空后再次轻轻带紧 用手即可 4 2 44 2 4 安装反应室上盖 将进气管与反应室进气弯通接头接好 4 2 54 2 5 调整控制柜的地脚螺钉 将控制柜调整至水平状态并使其下部与主机柜下部平 行 4 2 64 2 6 将主抽阀 预抽管 蝶阀 穿墙管 若穿墙 则安装 波纹管 隔断放气阀 依次将反应室底部的快卸法兰和泵口进气法兰用快卸卡箍连接 旋紧 形成一个抽气 通道 注意保证各个接头不漏气 4 2 74 2 7 按电气接线图接好各电器部件的接线以及电源进线 注意各螺钉 接头无松动 保证机柜接地良好 4 3 调试程序及注意事项 4 3 调试程序及注意事项 4 3 14 3 1 整机安装完成后 将控制开关全部复位 手动 自动 旋转开关置于中间位置 4 3 24 3 2 用万用表测量电源进线相线与相线之间 相线与地线之间是否短路 确认无误 后合上控制柜断路器 按下电源开关 此时整机上电 程序控制器 电源开关和 泵 关 有指示 中国电子科技集团公司第四十八研究所 7 4 3 34 3 3 设备断电 将隔断放气阀与泵进气法兰的快卸卡箍拆下 用 KF40 盲板堵住泵进 气法兰口 并装上快卸卡箍 给设备上电 泵关 有指示后 点动 泵开 按钮 观 察机械泵旋转方向是否与标记一致 若反向则任意交换机械泵进线中的两相 确认机 械泵旋转方向与标记一致后 拆下盲板 重新装好隔断放气阀 4 3 4 4 3 4 将旋转开关旋至手动 开机械泵和预抽阀 2min 3min 后压力表应显示有压 力值 当压力的测量值小于 600Pa 时 关预抽 开主抽 三分钟后压力值显示应小于 15Pa 如达不到该值 应检查各管路接头 若压升率 10Pa min 关闭主抽后 反应室 内压力上升的速率 则更换机械泵内的机械泵油 泵油型号为 1 号真空泵油 或机械 泵 4 3 54 3 5 各开关复位 将旋转开关旋到自动 从控制界面进入手动界面 操作程序见 等离子体刻蚀机 PLC 自动控制操作说明书 测试各阀门工作状态 确认无异常后 准备进行手动工艺的调试 4 3 6 4 3 6 将射频电源功率粗调旋钮逆时针旋到底 按下射频电源的 预热 电源预 热 按钮 预热 30 分钟 4 3 74 3 7 按下 泵开 按钮 启动机械泵 将O2 CF4的流量及反应室压力设定到工艺 值 设定过程详见 等离子体刻蚀机PLC自动控制操作说明书 并按工艺步骤进行 操作 当进行到送气步骤时 电机转速为 10rpm 4 3 84 3 8 当压力稳定后 按下射频电源的 高压开 按钮 将功率旋钮顺时针转动 注 意 只能轻微的 缓慢的转动 当板压达到约 500V 时 调节调谐 1 和调谐 2 使反 应室内会产生辉光 并且使反射功率最小 小于入射功率的 5 4 3 94 3 9 缓慢旋转功率粗调旋钮 并不断调整匹配盒上的调谐 1 和调谐 2 旋钮 保证反 射功率一直最小 小于入射功率的 5 直到功率增至需要的数值 4 3 10 4 3 10 等功率稳定 10 分钟后 将功率粗调旋钮逆时针旋到底 等到压力稳定在设 定值后 再将功率粗调旋钮顺时针旋转到刚才的位置 观察各参数应与刚才的一致 4 3 11 4 3 11 关射频电源高压后 用N2清洗反应室 1min N2流量约 400sccm 按 充气 开关 蜂鸣器报警后 再次按下 充气 开关 停止充气 退出手动操作界面 4 3 12 4 3 12 完成上述步骤后 将旋转开关旋至自动 设定各工艺参数 开盖 将待刻蚀 的硅片放入反应室 关上盖 按下运行按钮 刻蚀工艺将自动完成 完成后关运行按 钮 开盖取片 中国电子科技集团公司第四十八研究所 5 使用与操作 5 使用与操作 5 15 1 在工艺开始前设定好功率值 流量值以及各步的时间 以后只要待刻蚀的硅片的 膜厚不变 各参数值不必重新设置 如果想改变某些工艺参数 如压力 流量和功率 值 则必须按上述步骤重新调整后才能进行自动工艺 5 25 2 手动 操作只限用于设备的调试与维修 工艺过程在自动状态下完成 在自动 状态下 只需按下 运行 按钮即可自动执行整个工艺过程 待有蜂鸣声提示时 关 闭 运行 按钮 重复按 运行 按钮即可连续进行工艺 整个过程操作简单 方便 能够适应于生产线的需求 5 3 5 3 开机前 首先将电源和气源打开 关机前 先关气源 将反应室抽成真空状态后 再关电源 5 45 4 工艺控制器的各参数一经调好 不得轻易改变 否则将造成工艺不稳定 控制不 准确 5 55 5 在刻蚀完成后 有蜂鸣器提示 可开盖取片 整个工艺流程框图如下 2 2 14 3 1 运行开 清洗 充气 送气 CF4 O2 稀释 3 主抽 高压辉光 预抽 尾气 装片 运行关 取片 6 故障分析与排除 故障分析与排除 故障现象 故障原因 排除方法 备注 真空度低 1 上盖未盖好 2 上盖密封圈损坏 3 泵油变质 进气口密封不良 4 抽气及进气管道漏气 重新盖好上盖 更换 O 型圈 更换泵油 调整进气口 检查各连接部位 确保 连接处密封可靠 阀门不动作 1 保险烧坏 2 阀门损坏 更换保险 更换阀门 各保险烧断后指 示灯亮 不起辉 1 真空压力不对 2 RF 进线断 3 匹配旋钮错位 调整真空压力 接好 RF 进线 调回出厂调试值 匹配旋钮非专业 人员不得随意调 节 不自动运行 1 未拨至自动档 2 保险烧坏 3 处于手动界面 拨至自动档 更换保险 退出手动界面 真空泵不工作 1 电源进线缺相 2 泵油过脏 3 泵轴卡死 检查电源进线 更换泵油 清洗泵轴 8 中国电子科技集团公司第四十八研究所 9 7 安全保护及注意事项7 安全保护及注意事项 7 17 1 安全保护安全保护 7 1 17 1 1 在设备工作时 禁止扶 靠设备 禁止触摸高频电缆和线圈 以免发生意外 7 1 27 1 2 在紧急情况下 可关断设备电源 这样整机电源将全部关断 7 1 37 1 3 高频电源有自动保护装置 在反射功率超过一定值时 高压将自动关断 7 2 注意事项 7 2 注意事项 7 2 1 7 2 1 该设备操作人员必须经过高频设备操作技术学习 7 2 2 7 2 2 高频电源实际使用功率不能超过 800W 7 2 3 7 2 3 工艺调整必须由工艺技术人员调整 7 2 4 7 2 4 本设备的高频地线必须独立接地 不允许与其它设备共地线 7 2 5 7 2 5 使用本设备必须严格遵守操作顺序 7 2 6 7 2 6 检修时严禁带电操作 定期检查设备地线 确保设备安全接地 长期停放时应 注意防潮 拆除电源进线 7 2 77 2 7 机械泵启动时若没有正常启动 不要强行开泵 以免加速甚至造成机械泵损坏 解决办法 a 检查更换泵油的周期是否符合 8 保养与维护中的第 4 点的规定 b 用 手拉动机械泵传动皮带 使泵体转轴活动 并按标识的方向旋转 1 2 圈 然后再开泵 C 若仍无法正常启动 则应立即检查泵体 并进行清洗 7 2 87 2 8 根据实际工作情况 石英管需要定期 累计工作时间达 720 小时 进行旋转 每次旋转约 60 度 旋转三次后可将石英管倒置 再次进行旋转操作 以延长石英管使 用寿命 7 2 9 7 2 9 电感线圈接线位置非专业人员不得调整接线位置 射频电源匹配参数只能做 微调 非工艺人员或设备维修人员不得更改匹配参数 7 2 10 7 2 10 设备停机时应保持反应室处于真空状态 7 2 11 7 2 11 设备处于辉光工艺状态时不得用手触摸反应室上盖及电感线圈 以免发生意 外 7 2 12 7 2 12 非专业人员不得进行手动工艺 7 2 13 7 2 13 若 因 设 备 位 置 调 整 需 要 改 变 设 备 安 装 尺 寸 请 及 时 联 系 我 们 电话 0731 5401388 0731 5401305 传真 0731 5401310 中国电子科技集团公司第四十八研究所 10 8 保养与维护 8 保养与维护 8 18 1 工作场地必须保持清洁 干燥 设备上及设备周围不得放置无关物品 特别是易 燃 易爆物品 8 28 2 长期停放时应注意防潮 拆除电源进线 8 3 8 3 设备停机 过夜也要保持反应室内应是真空状态 8 4 8 4 累计生产 50 小时后 更换泵油 累计生产 15 20 天需拆开泵体清洗 累计生产累计生产 50 小时后 更换泵油 累计生产 15 20 天需拆开泵体清洗 累计生产 100 小时后 清洗反应室 累计工作 720 小时 旋转石英管 并经常观察石英管被刻100 小时后 清洗反应室 累计工作 720 小时 旋转石英管 并经常观察石英管被刻 蚀的程度 随时准备更换 以免在工艺过程中因石英管的破裂而造成硅片的损坏 蚀的程度 随时准备更换 以免在工艺过程中因石英管的破裂而造成硅片的损坏 警告 对于莱宝泵的日常维护和保养 应严格按照等离子体刻蚀机的使用说明书和莱警告 对于莱宝泵的日常维护和保养 应严格按照等离子体刻蚀机的使用说明书和莱 宝泵的使用说明书进行 对于操作和维护不当的泵一律不包修 莱宝泵不在包修范围宝泵的使用说明书进行 对于操作和维护不当的泵一律不包修 莱宝泵不在包修范围 内 内 8 5 8 5 因太阳能行业的刻蚀对油泵具有酸性腐蚀 因此 油泵的使用寿命相对比正常使 用要短 大约半年到一年左右 8 6 8 6 定期检查设备地线 确保设备安全接地 9 运输 储存及开箱检查 9 运输 储存及开箱检查 9 19 1 设备按部件分解 用木箱包装 石英管内充发泡剂 管外用泡沫塑料包裹装入 木箱 仪表等用塑料薄膜包裹装入木箱 9 29 2 集装箱运输 防潮 防震 防碰撞 9 39 3 露天堆放时要防雨和破损 短时存放库房要求干燥 通风 9 49 4 包装箱运抵安装现场开箱 9 59 5 按装箱单逐件清点并作记录 中国电子科技集团公司第四十八研究所 11 M42200 2 UM 型等离子体刻蚀机M42200 2 UM 型等离子体刻蚀机 自动控制说明书 自动控制说明书 中国电子科技集团公司第四十八研究所中国电子科技集团公司第四十八研究所 中国电子科技集团公司第四十八研究所 12 目目 录录 一 参数设置 13 二 手动操作 19 三 自动控制 20 四 报警说明 24 中国电子科技集团公司第四十八研究所 刻蚀机自动控制采用进口 PLC 实现对设备的开关量控制 工艺气体流量设置及显 示 整个工艺工艺过程中压力的显示及跟踪 操作方便 重复性好 可靠性高 刻蚀机自动控制程序分为全自动控制和手动控制两种模式 控制程序默认运行全 自动控制模式 在设备安装和调试过程中 需单独对设备的控制部件进行操作时 可 以通过手动操作界面的各功能键 一 参数设置一 参数设置 1 初始状态 设备上电后 显示初始界面 在该界面下 通过 DELTA TP40 显示器的功能键 F1 进入设置选项界面 实现相关参数的设置 通过功能键 F2 进入手动操作界面 通过 手动界面的功能键实现对设备的手动设置及操作 图 1 等离子体刻蚀机初始界面 2 参数设置选项界面 在参数设置选项界面可以通过功能键实现对自动控制 手动控制过程中的 PID 参数 时间参数 工艺参数 压力偏差和开度参数进行设置 功能键与工艺参数 对应关系见表一 13 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 2 参数设置选项界面 功能键功能键 工艺参数工艺参数 备注备注 F0 返回参数设置选项界面 Shift F5 PID 参数设置 Shift F6 时间参数设置 Shift F7 工艺参数设置 Shift F8 压力偏差设置 Shift F9 开度设置 表一 功能键与工艺参数对应关系表 3 PID 参数设置界面 等离子体刻蚀机的压力控制是通过 PLC 内部 PID 控制器与电子执行器配合实现 压力的闭环自动控制 注意 在有压力控制仪的设备中无此功能注意 在有压力控制仪的设备中无此功能 在 PID 参数设置 界面下 通过功能键 F4 F9 实现 PID 参数的设置 设置方法 按住 Shift 键后 再按 F6 F9 功能键 进入相应的参数进行设置 功能键与时间参数对应关系见表二 用 Left 键或 者 Right 键选择数字设置位 使用 Up PgUp 键或 PgDn Down 键改变选择位的数值 14 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 3 PID 参数设置界面 功能键 工艺参数 输入范围 备注 F0 返回参数设置选项界面 F4 T 1 500 采样时间 Shift F5 P 0 999 比例增益 Shift F6 DIR 0 2 控制方向 设置为 0 不允许修改 Shift F7 I 0 100 积分增益 Shift F8 E 0 100 偏差量 Shift F9 D 0 100 微分增益 表二 功能键与 PID 参数对应关系表 4 时间参数设置 在时间参数设置界面下 通过功能键 F4 F9 实现时间参数的设置 设置方法 按住 Shift 键后 再按 F6 F9 功能键 进入对应的参数进行设置 功能键与时间参数 对应关系见表三 用 Left 键或 Right 键选择数字设置位 使用 Up PgUp 键或 PgDn Down 键改变选择位的数值 15 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 4 时间参数设置界面 功能键功能键 工艺参数工艺参数 输入范围输入范围 备注备注 F0 返回参数设置选项界面 F4 预抽时间 15 999Sec Shift F5 主抽时间 15 999Sec Shift F6 送气时间 15 999Sec Shift F7 辉光时间 15 9999Sec Shift F8 清洗时间 15 999Sec Shift F9 充气时间 15 999Sec 表三 功能键与时间参数对应关系表 5 工艺参数设置 在工艺参数设置界面下 通过功能键 F6 F9 实现工艺参数的设置 设置方法 按 住 Shift 键后 再按 F6 F9 功能键 进入对应的参数进行设置 功能键与工艺参数对 应关系见表四 用 Left 键或 Right 键选择数字设置位 用 Up PgUp 键或 PgDn Down 键改变选择位的数值 16 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 5 工艺参数设置界面 功能键功能键 工艺参数工艺参数 输入范围输入范围 备注备注 F0 返回参数设置选项界面 Shift F6 工艺压力值 0 1000Pa 在有压力控制仪的设备中无此功能 Shift F7 辉光功率值 0 800W 在无功率自动控制设备中无此功能 Shift F8 氧气流量值 0 30SCCM Shift F9 CF4流量值 0 300SCCM 表四 功能键与工艺参数对应关系表 6 压力偏差设置 在压力偏差设置界面下 通过功能键 F9 实现压力偏差参数的设置 压力偏设置 是在自动控制时 送气恒压要达到稳定值后 自动控制程序才会进行下一步操作 压 力偏差设置值是表示 送气恒压力到压力稳定后 压力设置值与实际压力值的偏差 实际偏差低于压力偏差设置值时 自动控制程序在送气恒压稳定后进行下一步操作 否则报警 压力偏差设置方法 按住 Shift 键后 F9 功能键 进入参数进行设置 用 Left 键或 Right 键选择数字设置位 使用 Up PgUp 键或 PgDn Down 键改变选择位的数值 功能键 与压力偏差参数对应关系见表五 17 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 6 压力偏差设置界面 功能键功能键 工艺参数工艺参数 输入范围输入范围 备注备注 F0 返回参数设置选项界面 Shift F9 压力偏差 0 100Pa 表五 功能键与压力偏差参数对应关系表 7 开度设置界面 在开度设置界面下 通过功能键 F8 F9 实现开度参数的设置 开度设置是对电 子执行器的打开角度的控制方式进行设置 注意 在有压力控制仪的设备中无此功 能 注意 在有压力控制仪的设备中无此功 能 开度设置界面实现对开度控制方式及手动控制开度时 开度值的设置 开度控制 分自动控制和手动控制 自动控制时 由系统设置好的 PID 参数值进行自动调节 选 择手动控制方式 电子执行器的开度将由开度设置界面所设置的手动开度值决定 开度设置界面操作方法 按住 Shift 键后 再按 F8 F9 功能键 进入相应的参数进 行设置 功能键与时间参数对应关系见表六 用 Left 键或者 Right 键选择数字设置位 使用 Up PgUp 键或 PgDn Down 键改变选择位的数值 功能键与开度设置对应关系见 表六 18 中国电子科技集团公司第四十八研究所 图 7 开度设置界面 功能键 工艺参数 输入范围 备注 F0 返回参数设置选项界面 Shift F8 开度控制 开关量控制 Shift F9 手动开度 0 100 设置手动控制时开度值 表六 功能键与开度设置对应关系表 二 手动操作二 手动操作 在设备上电状态下手动开启手动开启机械泵 将控制方式旋钮置于 自动 位 在初始 界面界面下 通过DELTA TP40 显示器的功能键F2 进入手动操作界面 使用手动界面 的功能键实现对设备的手动设置及操作 图 8 手动操作界面 19 中国电子科技集团公司第四十八研究所 功能键与手动操作界面控制开关量对应关系见表七 使用 PgDn Down 键可以实 现在手动操作界面和手动时参数显示界面之间进行切换 功能键功能键 工艺参数工艺参数 备注备注 F0 返回主界面 退出手动操作 F1 进入参数设置选项界面 F4 预抽 开 关预抽阀 Shift F5 主抽 开 关主抽阀 Shift F6 送气 开 关送气阀 Shift F7 辉光 开 关辉光 Shift F8 清洗 开 关清洗阀 Shift F9 充气 开 关充气阀 表七 功能键与控制开关量对应关系表 图 9 手动时工艺参数显示界面 三 自动控制三 自动控制 在设备上电状态下手动开启手动开启机械泵 将控制方式旋钮置于 自动 位 按 运 行 按钮 设备进入自动控制状态 运行过程如下 20 中国电子科技集团公司第四十八研究所 1 预抽 21 已运行 定值 际值 图 10 预抽界面 预抽界面显示预抽时反应室的压力值 预抽设置时间 以及当前步已运行时间 当反应 2 主抽主抽界面显示主抽时反应室的压力值 主抽设置时间 以及当前步已运 行时间 主抽设定时间 已运行时间 预抽设定时时间 间 设 实 室内的压力不在薄膜规测量范围内时 显示数据为系统初始的最大值 此时反 应室的压力由电接点压力表读取 图 11 主抽界面 中国电子科技集团公司第四十八研究所 22 送气 气界面显示送气时反应室的压力值 送气设置时间 氧气流量 CF4 流 量以及当前步已运行时间 送气设置时间 已运行时间 3 送 氧气设置流量 CF4 实际流量 氧气实际流量 C设置流量 图 12 送气界面 4 辉光 显示辉光时反应室的压力值 辉光设置时间 氧气流量 CF4 流量 辉 光功率以及当前步已运行时间 F 4 辉光界面 辉光设置时间 已运行时间 设定功率 实际功率 图 13 辉光界面 中国电子科技集团公司第四十八研究所 23 5 清洗 清洗界面显示清洗时反应室的压力值 清洗设置时间 清洗步已运行时间 清洗 时N2流 量由 N2 浮子流量计控制 清洗设置时间已运行时间 图 15 清洗界面 6 充气 充气界面显示充气时反应室的压力值 充气设置时间 充气步已运行时间 当反 应室内 的压力超过薄膜规的测量范围内时 显示数据为系统初始的最大值 此时反应 室的压力由电接点压力表读取 充气设置时间 已运行时间 图 16 充气界面 中国电子科技集团公司第四十八研究所 24 报警说明报警说明 行下一步前 自动控制程序会检测是否满足执行下一步的条件 如 果出现异常不能够满足执行下一步操作的条件 系统将给出提示 同时要求手动退出 自动运行状态 工作界 面 工作界 面 状态状态 报警提示报警提示 原因原因 解决办法解决办法 四四 自动运行时 进 预抽界 面 预 抽 时 间 执行完毕 DEL 显示器报警 预抽时压力未能达到 电接点压力表下限 预抽阀是否打开或损 坏 检查反应室是否 程 序 不 执 行下一步 TA TP40 声响 压力已达到电接点压 力下限显示真空 但 电接点压力表下限信 号接触不良 无下限 信号输出 漏气 检查电接点压 力表触点 主 抽 界 面 主 抽 时 间 执行完毕 程 序 不 执 DELTA TP40 显示器报警 检 查 反 应 室 是 否 漏 气 主抽阀是否打开 或损坏 行下一步 声响 主抽时压力未能达到 200Pa 以下 送 气 界 面 定工作 允许的压力范围内 设定值 20Pa 否足够 送 气 时 间 执行完毕 程 序 不 执 行下一步 DELTA TP40 显示器报警 声响 压力未达到设检查气源 流量计是 否打开 气源压力是 充 气 界 面 压力已达到电接点压充气阀是否打开或损 充 气 时 间 执行完毕 程 序 不 执 行下一步 DELTA TP40 显示器报警 声响 充气时压力未能达到 电接点压力表上限 力上限 但电接点压 力 表 无 上 限 信 号 输 出 检查气源是否打开 气源压力是否足够 坏 检查电接点压力 表触点 中国电子科技集团公司第四十八研究所 25 中国电子科技集团公司第四十八研究所 26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 27 中国电子科技集团公司第四十八研究所 28 中国电子科技集团公司第四十八研究所 29 中国电子科技集团公司第四十八研究所 30 中国电子科技集团公司第四十八研究所 31 等离子体刻蚀机元器件代号 元件代码 功能 元件代码 功能 A1 PLC M1 机械泵 A2 电轴流风机 子执行器 M2 A4 PLC 显M3 旋转电机示器 B1 压力传感器 Q1 总控断路器 Q2 阀电源断路器 F1 控制电源熔断器 Q3 制电源断路器 泵控 F2 泵熔断器 F3 熔断器 S1 泵上电 F4 泵熔断器 S2 泵开 F5 阀电源熔断器 S3 关 泵 F6 控制电源熔断器 S4 预抽 S5 主抽 G1 开关电源 S6 充气 G2 RF 电源 S7 手动 自动 G3 机稳压电源 S8 微运行 H1 开盖 X1 进线电源 X2 电器板 控制面板 J1 力控制器 X3 器板 现场连接 压电 X4 电源分线端子排 K1 电交流接触器 X5 上电器板 流量计 K2 泵交流接触器 X6 薄膜规 K3 继电器 X7 热电器板 电磁阀 K4 阀控继电器 X8 16A 插座 K5 阀控继电器 K6 高压开 K7 高压关 Y1 预抽 K8 放气阀延时开继电 2 抽 器 Y主 K9 放气阀延时关继电 器 Y3 CF4 K10 放气阀延时关控制 继电器 Y4 O2 Y6 N2 P1 电接点压力表 Y7 充气 P2 质量流量计 CF4 Y9 放气阀 P3 量流量计 O2 质 P5 浮子流量计 N2 Z 波器 电源滤 中国电子科技集团公司第四十八研究所 32 中国电子科技集团公司第四十八研究所 33 调试 备件及文件资料移交清单调试 备件及文件资料移交清单 备件清单备件清单 序号序号 名称名称 单单 备件备件 查验查验 规格规格 数量 位 数量 位 实用实用 1 保险管 RT18 32 10A 1 个 1 2 保险管T18 32 16A R1 个 1 3 带锁开关 LA42PSD 10 AC220V 1 1 CG 个 4 继电器 MY2NJ 220V 1 个 1 5 衬管 2 个 2 6 6 四氟卡套 6 4 个 4 7 四氟卡套 3 8 2 个 2 8 金属卡套 1 46 套 3 3 9 螺母 1 45 个 3 2 10 金属卡套 3 8 2 套 2 11 螺母 3 8 1 个 1 12 矩形密封圈 260 6 6 2 个 2 13 圆 2 形密封圈58 3 551 个 1 14 快卸法兰 40KF 配盲板 1 套 1 15 快卸法兰 16K F 配盲板1 套 1 16 堵头 3 8 1 个 1 17 堵头 1 4 1 个 1 18 软管 6 2 米 2 19 十字螺钉 M3 15 2 套 2 20 内六钉 M4 12 角螺6 套 6 21 内六 M5 12 12 角螺钉12 套 22 内 六角螺钉 M5 30 5 个 3 23 内六角螺钉 M6 15 10 套 10 文资文资件件料清单料清单 序号序号 名称名称 量量 单位单位 备注备注 查验查验 数数 1 使用说明书 1 份 2 平面安装图 1 份 3 气路系统图 份 1 4 电气原理图 1 份 5 电气接线图 1 份 6 易损 件零件加工图1 份 7 主要 外购件说明书1 套 移交人 日 接收人 日期 期 中国电子科技集团公司第四十八研究所 34 UMSG107射频电源及配器UMSG107射频电源及配器 中国电子科技集团公司第四十八研究所 中国电子科技集团公司第四十八研究所 二 OO 七年十月 1000W 型 1000W 型匹匹 使 用 说 明 书 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 35 一一 概述 概述 UMSG107 1000W 型射频电源包括射频源和射频匹配器 射频源采用石英晶 体它激振荡电路产生 13 56MHz 的射频信号 功率推动级对该信号进行耦合放大 级 功率输出级采用金属陶瓷四极管 FU 100F 电子管板极供电采用电 抗器 推动输出 调压 电子管与功率源输出电缆之间采用固定的 L 型匹配网络 确保电子管 与电缆之间良好匹配 电缆与负载之间的匹配由可调式 L 型网络匹配器来实现 匹配状态由通过式功率计指示 本电源具有频率稳定性高 可靠性好 效率高 功率大 体积小 调节方便等特点 二 使用环境与条件二 使用环境与条件 1 电源 220V 50Hz 1 5KVA 2 环境温度 5 40 地电阻 1 10000 级 3 相对湿度 70 4 大气压强 86KPa 106KPa 5 具有独立的接地点 接 6 环境净化等级 优于 三 主要技术性能三 主要技术性能 1 输出功率 100W 1000W 逐级可调 2 频率 13560KHz 0V 2500V 1 3kW j 0 70 数达到匹配功能 度直读 3 板极电压 30 4 板极电流 0 5A 5 板极直流消耗功率 6 阻抗匹配范围 2 7 45 7 具有手动调节网络参 8 网络参数由调谐 调谐 的刻 9 具