标准件仪器MSA分析.xls

07年年测测量量系系统统分分析析 Samples 标标准准件件 序序号号量量具具名名称称 量量具具编编号号测测量量时时间间 1 膜厚测试仪 Thickness Gauge SSG 011 2007 11 16 2 高度测定器 Olympus Microscope for Lp measurement SSG 031 2007 11 16 3 投影仪 Projector of incoming inspection SSG 127 2007 11 16 担担当当 R R判判定定结结果果 2 14 可接受 2 05 可接受 0 07 可接受 07年年测测量量系系统统分分析析 Samples 标标准准件件 量量具具重重复复性性和和再再现现性性数数据据表表 NO 版号 修订号 表格编号 量具名称 膜厚测试仪 基准件名称 标准件测量日期 2007 11 16 量具编号 SSG 011 测量参数 印刷厚度MSA担当 量具量程 None 参数规格 250 m 500 m 评价人数3零件编号个数 2 平均值 试验次数612345678910 1 A1 0 2510 504 0 3775 2 2 0 2540 505 0 3795 3 3 0 2520 504 0 3780 4 0 2520 505 0 3785 5 0 2520 505 0 3785 6 0 2560 505 0 3805 4 均值0 2530 505 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 379 5 极差0 0050 0010 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0006 6 B1 0 2450 501 0 3730 7 2 0 2450 503 0 3740 8 3 0 2430 501 0 3720 4 0 2450 502 0 3735 5 0 2450 502 0 3735 6 0 2450 503 0 3740 9 均值0 2450 502 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 373 10 极差0 0020 0020 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0004 11 C1 0 2500 504 0 3770 12 2 0 2500 504 0 3770 13 3 0 2500 500 0 3750 4 0 2490 503 0 3760 5 0 2490 504 0 3765 6 0 2490 504 0 3765 14 均值0 2500 503 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 3763 15 极差0 0010 0040 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0005 零件均值 0 2490 503 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 376 0 2543 极差均值0 0005试验次数23 最大均值差0 0054D43 272 58 均值上限0 377极差上限0 0013D300 均值下限0 376极差下限0A21 881 02 注 圈出那些超出控制限的值 查明原因並纠正 同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均 并计算R和极限值 量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表 NO 版号 修订号 表格编号 量具名称 膜厚测试仪 零件名称 Mask Ag 封接面 分析日期 2007 11 16 量具编号 SSG 011 测量参数 印刷厚度MSA担当 量具量程 None 参数规格 200 30 70 m 板后1 8t评价人数量 3 来自数据表 0 0010 00540 254试验次数 r 6零件数量 n 2 测 量 系 统 分 析 总 变 差 TV 重复性 设备变差 EV 100 0 0000 133 0 0010 59试验次数K1 0 22 0 00020 8862 30 5908 再现性 評价人变差 AV 100 0 0030 133 0 0050 520 00026 2 13 0 0028评价人数23 K20 70710 5231 重复性和再现性 R R 零件数量K3 100 0 0030 133 20 7071 0 0000 00330 5231 2 14 0 00340 4467 50 4030 零件变差 PV 60 3742 70 3534 100 0 1330 133 0 2543 0 5280 3375 100 0 0 13390 3249 100 3146 总变差 TV 1 41 0 1330 003 0 0030 133 65 863 0 133 判定 R R R R 10 10 测测量量系系统统可可以以接接受受 分析 评价 措施 备注 所有计算都基于预期5 15 在正态分布曲线之下99 0 的面积 K1为5 15 d2 d2取决于试验次数 m 和零件数与评价人的乘积 g 並假设该值大于15 AV 如果计算中根号下出现负值 评价人变差缺省为0 K2为5 15 d2 式中d2 取决于评价人数量 m 和 g g为1 因为只有单极差计算 K3为5 15 d2 式中d2 取决于零件数 m 和 g g为1 因为只有单极差计算 制定 审核 倱 楋R噅 牮 臶噅 K 噁 2 2 2 2 22 噁 池噅 偬汒汒倫倽 3 KR噐 P 22 噐 RR噔 0 噔噅噅 琩琯琨 氰 氥噔 瑬噁 硴噁 汸璴琽 0 噔RRRR 0 噔噐噐 R P 摒噐 砎椦 牴献椱 湵 A X A R B X B R C X 佃 R 礽 P P X BA RRR X楍n X慍x X R L X 2 RAX L X 2 RD L 屒 4 吳 定期修复后量具更换新控制计划PPAP 量量具具重重复复性性和和再再现现性性数数据据表表 NO 版号 修订号 表格编号 量具名称 高度测定器基准件名称 标准件测量日期 2007 11 16 量具编号 SSG 031 测量参数 LP高度MSA担当 量具量程 None 参数规格 0 25mm 0 50mm 评价人数3零件编号个数 2 平均值 试验次数612345678910 1 A1 0 2520 498 0 3748 2 20 250 0 497 0 3733 3 30 253 0 502 0 3770 40 252 0 502 0 3770 50 255 0 504 0 3793 60 243 0 503 0 3728 4 均值0 2510 501 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 376 5 极差0 0120 0070 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0019 6 B1 0 2490 497 0 3728 7 20 242 0 497 0 3693 8 30 247 0 498 0 3725 40 245 0 497 0 3708 50 245 0 499 0 3720 60 242 0 501 0 3713 9 均值0 2450 498 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 371 10 极差0 0070 0040 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0011 11 C1 0 2420 502 0 3715 12 20 241 0 502 0 3713 13 30 252 0 504 0 3778 40 253 0 504 0 3783 50 256 0 505 0 3803 60 254 0 504 0 3788 14 均值0 2490 503 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 3763 15 极差0 0160 0030 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0000 0019 零件均值 0 2480 501 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 DIV 0 0 374 0 2525 极差均值0 00161667试验次数23 最大均值差0 0049D43 272 58 均值上限0 376极差上限0 0042D300 均值下限0 373极差下限0A21 881 02 注 圈出那些超出控制限的值 查明原因並纠正 同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均 并计算R和极限值 量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表 NO 版号 修订号 表格编号 量具名称 高度测定器零件名称 标准件分析日期 2007 11 16 量具编号 SSG 031 测量参数 LP高度MSA担当 量具量程 None 参数规格 0 25mm 0 50mm评价人数量 3 来自数据表 0 0020 00490 253试验次数 r 6零件数量 n 2 测 量 系 统 分 析 总 变 差 TV 重复性 设备变差 EV 100 0 0010 132 0 0020 59试验次数K1 0 72 0 00120 8862 30 5908 再现性 評价人变差 AV 100 0 0030 132 0 0050 520 00126 1 92 0 0025评价人数23 K20 70710 5231 重复性和再现性 R R 零件数量K3 100 0 0030 132 20 7071 0 0010 00330 5231 2 05 0 00340 4467 50 4030 零件变差 PV 60 3742 70 3534 100 0 1320 132 0 25250 5280 3375 100 0 0 13290 3249 100 3146 总变差 TV 1 41 0 1320 003 0 0030 132 68 752 0 132 判定 R R R R 10 10 测测量量系系统统可可以以接接受受 分析 评价 措施 备注 所有计算都基于预期5 15 在正态分布曲线之下99 0 的面积 K1为5 15 d2 d2取决于试验次数 m 和零件数与评价人的乘积 g 並假设该值大于15 AV 如果计算中根号下出现负值 评价人变差缺省为0 K2为5 15 d2 式中d2 取决于评价人数量 m 和 g g为1 因为只有单极差计算 K3为5 15 d2 式中d2 取决于零件数 m 和 g g为1 因为只有单极差计算 制定 审核 倱 楋R噅 牮 臶噅 K 噁 2 2 2 2 22 噁 池噅 偬汒汒倫倽 3 KR噐 P 22 噐 RR噔 0 噔噅噅 琩琯琨 氰 氥噔 瑬噁 硴噁 汸璴琽 0 噔RRRR 0 噔噐噐 R P 摒噐 砎椦 牴献椱 湵 A X A R B X B R C X 佃 R 礽 P P X BA RRR X楍n X慍x X R L X 2 RAX L X 2 RD L 屒 4 吳 定期修复后量具更换新控制计划PPAP 量量具具重重复复性性和和再再现现性性数数据据表表 NO 版号 修订号 表格编号 基准件名称 标准件测量日期 2007 11 15 量具名称 投影仪测量参数 标准件MSA担当 量具编号 SSG 127参数规格 1 0 25 0 评价人数3零件编号个数 10 平均值 试验次数312345678910 1 A1 0 9961 2521 5002 0002 9995 00110 00314 99919 99925 003 8 3752 2 2 0 9941 2541 5052 0013 0074 99910 00415 00720 00325 003 8 3777 3 3 0 9911 2551 4991 9962 9975 00510 00315 00020 00225 004 8 3752 4 均值0 9941 2541 5011 9993 0015 00210 00315 00220 00125 0038 3760 5 极差0 0050 0030 0060 0050 0100 0060 0010 0080 0040 0010 0049 6 B1 0 9991 2561 5022 0052 9934 99810 00315 00119 99324 997 8 3747 7 2 1 0071 2601 5002 0033 0005 00210 00514 99319 98825 005 8 3763 8 3 1 0011 2461 5022 0023 0005 00710 00214 99620 00225 002 8 3760 9 均值1 0021 2541 5012 0032 9985 00210 00314 99719 99425 0018 3757 10 极差0 0080 0140 0020 0030 0070 0090 0030 0080 0140 0080 0076 11 C1 1 0041 2511 5021 9993 0025 00110 00015 00220 00625 000 8 3767 12 2 1 0061 2501 5032 0023 0035 00010 00415 00420 00725 004 8 3783 13 3 1 0011 2531 5002 0033 0015 00010 00115 00220 00725 004 8 3772 14 均值1 0041 2511 5022 0013 0025 00010 00215 00320 00725 0038 3774 15 极差0 0050 0030 0030 0040 0020 0010 0040 0020 0010 0040 0029 零件均值 0 9981 2541 5012 0012 9995 00210 00314 99919 99825 002 8 3759 24 0043 极差均值0 00513333试验次数23 最大均值差0 0017D43 272 58 均值上限8 3811极差上限0 0132D300 均值下限8 3706极差下限0A21 881 02 注 圈出那些超出控制限的值 查明原因並纠正 同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均 并计算R和极限值 量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表 NO 版号 修订号 表格编号 量具名称 投影仪零件名称 标准件 分析日期 2007 11 15 量具编号 SSG 127测量参数 标准件 MSA担当 量具量程 None 参数规格 1 0 25 0 评价人数量 3 来自数据表 0 0050 001724 004试验次数 r 3零件数量 n 10 测 量 系 统 分 析 总 变 差 TV 重复性 设备变差 EV 100 0 0037 552 0 0050 59试验次数K1 0 04 0 00320 8862 30 5908 再现性 評价人变差 AV 100 0 0057 552 0 0022 700