化学镍金工艺规范.doc

深圳爱升精密电路科技有限公司SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIEN-TECH CO.,LTD.作业指导书文件编号：AS-WI-ME017制订日期：2008年5月10日版 本：A页 码：第 7 页 共 7 页文件名称化学镍金工艺规范深圳爱升精密电路科技有限公司SHEN ZHEN AISHENG PRECISION CIRCUIT SCIEN-TECH CO.,LTD.作业指导书文件编号：AS-WI-ME017制订日期：2008年5月10日版 本：C页 码：第 1 页 ，共 6 页文 件名 称化学沉镍浸金工艺规范修改记录页 次版本修改内容修改日期共6页A新制订20071122受控文件分发记录序号分发部门及职位会签分发份数接收签名受控文件回收记录回收份数回收签名回收日期1副总经理12工程部经理13生产部经理14工艺部经理15品质部经理16电镀主管1签署栏批 准： 签 名： 日 期： 审 核： 签 名： 日 期： 编 制： 签 名： 日 期： OKNG抽查蚀刻线两级水洗两级水洗镀锡两级水洗镀铜微蚀两级水洗除油上板1.0目的规范化学镍金工艺，使员工操作规范化，满足生产、品质要求。2.0 适用范围适合爱升公司化学沉镍金线作业，供生产、工艺、质检等有关人员参阅。3.0 职责3.1生产部：负责按工艺要求进行操作并作好生产记录，日常机器保养。3.2 工艺部：负责生产工艺与操作指引之制定并完善，新物料、新设备试用评估并对制程问题提供技术支持。3.3 维修部：负责设备之二级保养与三级保养及设备保障维修。3.4 品质部：负责工艺参数及生产品质之监控，工艺改善效果确认并提供数据支持。4.0具体操作内容：4.1工艺流程：上架除油水洗水洗微蚀水洗水洗预浸活化水洗水洗沉镍DI水洗DI水洗沉金DI水洗下板烘干金手指检查 4.2各工艺说明4.2.1除油：采用酸性或碱性除油剂去除铜表面之轻度油脂及氧化层，以达到表面活化及清洁目的；4.2.2微蚀：采用过硫酸钠-硫酸系列微蚀剂，对铜面轻微蚀刻，确保完全清除铜表面的氧化物，微观粗化铜表面，以提高镍层与铜表面结合力；4.2.3预浸：防止前工序清洗不良，对活化缸污染； 4.2.4活化：采用离子钯作活化剂，通过铜对钯的置换，形成以钯为活化表面的催化层，以利镍在铜层上沉积；4.2.5沉镍：以次磷酸钠作还原剂、硫酸镍作氧化剂，通过氧化还原反应沉积的磷镍合金；4.2.6沉金：通过置换反应沉积金； 4.3操作前检查4.3.1检查各药水缸液位是否正常;4.3.2检查各水洗缸水位是否正常,水质是否清澈干净;4.3.4将各药水缸取样送化验室分析确认,并根据化验结果进行药水添加调整;4.3.5开启总电源及各药水缸控制电源并开启各缸加热开关,将温度升到设定范围;4.3.6开启抽气扇及鼓风机电源,并检查各缸打气是否正常;4.3.7开启活化、沉镍、沉金缸的过滤循环泵,进行过滤.4.3.7使用温度计测量槽内温度与显示温度是否一致,异常时通知维修调整. 4.4生产作业 4.4.1检查来料铜面是否磨刷,铜面是否干净(无异物,无胶迹,无色差，无氧化)平整等相关问题,若有异常时则知会上工序进行处理; 4.4.2开拉生产前使用两挂总面积为0.7dm2/L（100L的缸总面积0.7m2）的光铜板进行拖缸,拖缸流程为按正常流程生产至沉镍后水洗缸取出(不经过沉金缸); 4.4.3检查拖缸板镀层质量、外观,合格后可进行首板制作.如有异常立即通知工艺部处理; 4.4.3拖缸板无异常后进行首板生产，首板交QA确认,OK后方可进行批量生产 4.5收拉作业 4.5.1当生产板生产完毕后关闭所有的加热开关及过滤、记时开关; 4.5.2关闭设备水、电、气开关及总开关; 4.5.3知会生产主管及保安,并在保安及主管的共同监督下锁好金缸,防止偷盗事件发生. 4.6返工作业当接到“返工控制卡”时严格按照指示进行操作：退金800#磨刷磨板盐酸活化(1-3分钟)两级水洗预浸(1分钟)两级水洗沉金缸(6-8分钟) 4.7各缸药水开缸方法4.7.1除油缸开缸4.7.1.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分;4.7.1.2在缸内加入2/3体积的DI水;4.7.1.3按100ml/L的比例添加YC-10药水; 4.7.1.4补充DI水至标准液位; 4.7.1.5开启循环过滤、加热，待温度升至45后取样分析,在要求范围内则可正常生产4.7.2微蚀缸开缸4.7.2.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分; 4.7.2.2在缸内加入2/3体积的DI水; 4.7.2.3按100g/L的比例添加过硫酸钠并搅拌使其充分溶解; 4.7.2.4按20ml/L的比例添加AR级硫酸,添加时必须缓慢加入,防止药水飞溅造成烧伤; 4.7.2.5补充DI水至标准液位; 4.7.2.6开启空气搅拌，待过硫酸钠完全溶解后取样分析,在要求范围内则可正常生产4.7.3预浸缸开缸4.7.3.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分; 4.7.3.2在缸内加入2/3体积的DI水; 4.7.3.3按30g/L的比例添加ZTW-302调整盐并搅拌使其充分溶解; 4.7.3.4按0.25g/L的比例添加PH调整盐; 4.7.3.5补充DI水至标准液位; 4.7.3.6用包胶完好的挂具搅拌，待ZTW-302调整盐及PH调整盐完全溶解后取样分析,在要求范围内则可正常生产4.7.4活化缸开缸4.7.4.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分; 4.7.4.2在缸内加入2/3体积的DI水; 4.7.4.3按30g/L的比例添加ZTW-302并搅拌使其充分溶解; 4.7.4.4按0.25g/L的比例添加PH调整盐; 4.7.4.5按100ml/L的比例添加ZTW-303活化剂; 4.7.4.6补充DI水至标准液位; 4.7.4.7开启循环过滤15min后取样分析,在要求范围内则可正常生产4.7.5沉镍缸开缸4.7.5.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分; 4.7.5.2在缸内加入2/3体积的DI水并打开打气开关; 4.7.5.3按100ml/L的比例添加ZTW-305M; 4.7.5.4按50ml/L的比例添加ZTW-305A; 4.7.5.5补充DI水至标准液位下2cm处; 4.7.5.6待温度升至80后加入5ml/L ZTW-305D，补充DI水至标准液位。 4.7.5.7循环15min后取样分析,在要求范围内则可正常生产4.7.6沉金缸开缸4.7.6.1洗干净缸体并擦拭缸壁水分; 4.7.6.2在缸内加入2/3体积的DI水并打开打气开关; 4.7.6.3按200ml/L的比例添加ZTW-307; 4.7.6.4按1.5g/L的比例添加金盐; 4.7.6.5补充DI水至标准液位; 4.7.6.6开启循环过滤、加热，待温度升至88后取样分析,在要求范围内则可正常生产;5.0生产控制 5.1药水浓度控制工序药水名称开缸含量控制范围添加频率换槽标准除油YC-10100ml/L10020ml/L20ml/ m2、化验添加500m2 换缸二级水洗溢流5-10L/min每班更换一次微蚀SPS100g/L10020g/L60g/ m2、化验添加Cu2+25g/LH2SO420ml/L205ml/L5ml/ m2、化验添加二级水洗溢流5-10L/min每班更换一次预浸ZTW-30230g/L306 g/L6g/ m2、化验添加600 m2 换缸 PH调整盐0.25g/LPH:2.5-3.0化验添加活化ZTW-30230g/L306 g/L6g/ m2、化验添加600 m2 换缸ZTW-303100ml/L20-30ppm20 ml/ m2、化验添加PH调整盐0.25g/LPH:2.5-3.0化验添加二级水洗溢流5-10L/min每班更换一次沉镍ZTW-305M100ml/LPH:4.40-4.65Ni:4.80.2g/LNaH2PO2:24-30g/LZTW-305A 10ml/gNiZTW-305B 10ml/gNiZTW-305C 10ml/gNiZTW-305D 5ml/gNi200 m2 换缸NaHPO3120 g/LZTW-305A50ml/LZTW-305D5ml/L二级DI水洗溢流5-10L/min每班更换一次沉金ZTW-307200ml/LPH:5.0-5.4Au:0.8-1.2g/L25 ml/ m21500-2000 m2KAu(CN)21.5g/L分析添加DI水洗溢流10-15L/min每班更换一次 5.2其他参数控制工序操作温度处理时间其他辅助设施除油4554-6min加热水洗常温30-60sec摇摆、打气水洗常温30-60sec摇摆、打气微蚀常温1-2min摇摆、打气水洗常温30-60sec摇摆、打气水洗常温30-60sec摇摆、打气预浸常温30-60sec摇摆活化3022-5min加热、过滤、摇摆水洗常温30-60sec摇摆、打气水洗常温30-60sec摇摆、打气沉镍83315-25min (3um)摇摆、打气、加热、过滤DI水洗常温30-60sec摇摆、打气DI水洗常温30-60sec摇摆、打气沉金8734-10min(1-3u)加热、过滤、摇摆DI水洗常温30-60sec摇摆、打气 5.3厚度要求及计算方法5.3.1 镍缸的沉积速率为5-7u/min(在沉镍有效面积在0.39-1.3m2下的沉积速率,当低于此面积时必须使用拖缸板与生产板一起沉镍,增加负载量,保证厚度)5.3.2 金缸的沉积速率为0.4u/min6.0生产注意事项6.1金缸药水为剧毒及贵重物品,请谨慎使用并防止泄漏,加药和生产过程中必须戴手套作业,防止皮肤粘到,如不幸粘到立即用大量清水冲洗;6.2沉镍后的水洗全部使用去离子水处理；6.3上架时，应确保板间间距，不能重叠，以免漏沉；6.4如板小无法插架时可使用铁氟龙丝穿板面的NPTH孔,并用钻孔胶粒将板与板之间隔开防止漏沉;6.5当首板产生阴阳色，漏沉时，用待加工板浸入5%的氯化铜溶液常温5秒检查板面色泽是否均匀一致，查找原因；6.6除油后操作者应检查板面情况，正常情况为粉红色；6.7微蚀时间根据微蚀速率决定，控制在1-2um，粗化后表面应为粉红色；6.8预浸缸CU2+100mg/L或当药液变绿时要更换，或同活化缸一起更换；6.9活化缸根据药液颜色及加工面积及时补加，活化加工后板面应呈均匀猪肝色；6.10活化后二级清洗应短时间、轻摇摆；6.11沉镍缸在生产4-5MTO时换缸,换缸排液后采用50%硝酸（V/V）处理一次，并及时对滤芯处理后洗干净方可重新配液使用；6.12沉镍是整条线核心，开缸时务必采用去离子水，去离子水PH值应在6.5-7.2，导电率10；6.13加工板据工作面积按A：B：C：D比例1：1：1：0.5补加，补加量为沉镍金板150u”镍厚，有效受镀面积15%时每生产1平方米的板子需补加A/B/C100ml,D 50ml,或化验室分析调整；6.14沉金缸每生产10m2 （双面有效面积30%-40%）加4-6g金盐，或根据分析添加；6.15加工板完成后，金缸待温度下降到45方可停止循环。6.16正常生产时,整条线药水