BLL-900G宝来利按钮开关说明.doc

BLL-900G真 空 镀 膜 机 使 用 说 明丹阳市宝来利真空机电有限公 目 录1.主要用途及使用范围2.主要规格及技术参数3.结构概述4.安装与测试5.使用与操作规程6.安全与维护1.主要用途及使用范围BLL-900G型真空镀膜机由主机、控电柜,枪电源等部分组成。真空室采用不锈钢制造，外壁有不锈钢冷却水管。主机抽气系统后置便于拆装和维修。具有抽气时间短， 工作真空度高，重复生产周期短，工作稳定等优点。本设备适用于镀制各种光学簿膜和电学膜的多用途设备。如宽窄带滤光片、析光膜、高反膜，增透膜等。是有关工厂、大专院校和研究所进行批量生产和科研的理想设备。2.主要规格及技术参数 2.1真空室尺寸： 90010002.2极限压力： 310-4pa23恢复真空抽气时间： 从1105 pa至310-3 pa15min2.4工件旋转： 上旋转公自转，公转速度030 转可调。2.5工件烘烤1; 3组 4X1 KW碘钨灯下加温。 工件烘烤2; 3组3PX3KW碘钨灯下加温。 2.6120霍尔离子源2.7电子束蒸发源：双枪头单电源10 KW电子枪 2.8抽气系统 2.10.1 2X-15机械泵 抽速15升/秒2.10.2 2X-70机械泵 抽速70升/秒2.10.3 ZJP-300罗茨泵 抽速300升/秒2.10.4 KT-600扩散泵 抽速14000升/秒2.9冷却水压：0.150.25Mpa2.10气压 : 0.50.6 Mpa2.11总功率: 40 KW3.结构概述1.真空室采用前开门，门上有三个观察窗，观察窗是12厚钢化玻璃，外配防辐射玻璃。真空室底板上左右安装电子枪2只及引入电子枪高低压导线接柱共4只、2套挡板机构、碘钨灯导线接柱共6只、工件旋转从顶部引入，内壁配保护板2套。2.真空系统由扩散泵（D/P）、水冷阱、粗抽阀（R/V）、高抽阀（H/V）、主抽阀（M/V）、进气阀（V/V）、2x-15维持泵（V/P）、2x-70机械泵（R/P）、ZJ-300罗茨泵（M/P）以及真空管道组成，可手动或自动操作。3.进气阀与主抽阀、粗抽阀互锁，粗抽阀与高抽阀互锁。以防止误操作。4.电控柜操作有自动（AUTO）和手动（MANU）两种方式。具有水压（W/P）、气压（A/P）声光报警及保护功能。4.安装与测试4.1将设备安装在工作位置上，机械泵（R/P）和罗茨泵（M/P）安装在主机的后方，控电柜安放在主机右侧。4.2连接好各管道，并保证连接处真空密封性。4.3按电气原理图，将主机与控电柜接好，并将所有电气开关处于关闭状态。4.4用无水乙醇清洗真空室，拆下真空室顶部规管封头，换上热电偶和开封的电离规管。4.5接通电源4.6接通冷却水源4.7接通气源4.8合上控电柜总开关，按下ON开机键。4.9按以下步骤进行调试（手动操作方式） 4.9.1按下V/P键（维持泵），前级真空度稳定后，按下D/P键开扩散泵加热电源，待60min 后扩散泵进入工作状态；按下R/P键（机械泵），按下R/V键（粗抽阀）抽真空室待压力达到5000帕后，按下M/P键（罗茨泵）使真空室压力达到5帕以后，关R/V键（粗抽阀），按下H/V键（高抽阀）、按下M/V键（主抽阀）对真空室抽真空使压力达到5*10-4帕，极限真空试验完成（在24小时内完成） 4.9.2恢复真空试验（接上步骤），关M/V（主抽阀） ，关M/P（罗茨泵），关R/P（机械泵）；开V/V（进气阀），让真空室充气完毕后关V/V（进气阀）；真空室暴露大气后可关门进行恢复真空试验。开R/P（机械泵）开始记时，开R/V（粗抽阀）抽真空室待压力达到5000帕后，开M/P（罗茨泵）使真空室压力达到5帕以后，关R/V（粗抽阀），开H/V（高抽阀）、开M/V（主抽阀）对真空室抽真空使压力至3*10-3帕，抽气时间20min 即恢复真空试验成功完成。5.使用与操作规程 5.1接通水源气源电源 5.2按下开机键（ON），开维持泵（V/P），前级真空度稳定后，开（D/P）扩散泵加热电源，待60min后（D/P）扩散泵进入工作状态。 5.3开（V/V）进气阀，让真空室充气完毕后关（V/V）进气阀。 5.4打开真空室门，放入已清洁的被镀工件，在电子枪坩埚上加入镀膜材料，关上真空室门。 5.5开（R/P）机械泵，开(R/V)粗抽阀抽真空室待压力达到5000帕后，开(M/P)罗茨泵，同时开工件转动并调整转速，并打开碘钨灯加温，真空室压力达到5帕以后，关(R/V)粗抽阀，开(H/V)高抽阀、开(M/V)主抽阀对真空室抽真空；。 56当真空室压力达到510-3 pa真空度时，开压强仪的控制开关给真空室充氩气，打开离子源清洗被镀工件，一般当真空退至110-2 pa左右时可打开电子枪蒸镀：开扫描电源、开灯丝电源、开高压，操作手控合挡板使挡板置于蒸发源上方，选择好电子枪坩埚缓慢旋转手控合电位器，调节束流予熔膜料，予熔后打开挡板蒸发镀膜，观看膜厚控制仪走表，蒸发完毕后关束流调节电位器，关上挡板。操作手控合调换坩埚蒸镀下一种膜料按此步骤继续。蒸镀结束关电子枪高压、灯丝、扫描电源，关碘钨灯，延迟3分钟关离子源，关压强仪。 5.7保温5分钟左右后，关（M/V）主抽阀，关（H/V）高抽阀，关（M/p）罗茨泵。关工件转动。开（V/V）进气阀让真空室充气完毕后及时关进气阀，打开真空室门取出被镀工件。 5.8需要进行下次镀膜时，重复5.45.7步骤。 5.9需要停止镀膜机工作时，关（M/V）主抽阀，关（D/P）扩散泵加热，关（H/V）高抽阀，关（M/P）罗茨泵，关（R/P）机械泵，待（D/P）扩散泵冷却下来，关（V/P）维持泵，关水源气源电源。也可按OFF键，镀膜机将会在1小时后自动关机。6.安全与维护6.1保持设备所需正常工作环境，温度不应高于40 ，相对湿度不得大于80%，冷却水进水温度不得高于25 ，水压不得低于0.25MPa ，进出水不得低于0.1MPa给气压力0.50.6 MPa。水气压力不够镀膜机会自动停止工作。6.2电控柜、主机,枪电源柜都应25MM铜线良好接地，以保护操作者人身安全。6.3要每班经常清洁真空室，避免镀膜材料沉积污染影响正常生产和责量。6.3.1保护套板勤更换清洗，保持真空室内清洁。6.3.2高低压接线柱，碘钨灯接线部位，电子枪枪头应避免镀膜材料沉积.6.3.3经常检查转动夹具自转是否正常，及时拆下不自转的夹具更换轴承，避免不自转的夹具损坏轨道盘。6.4镀膜机在正常工作时，决不允许断水、停气、停电。如突然停电，要关闭各电气开关，强制通水冷却各个泵，避免泵过热。 6.5D/P泵经较长时间（46个月）使用或其他原因造成泵油氧化会失效，致使高真空抽速明显下降时，则需换油。 6.6机械泵定期检查和换油，第1次使用1个月