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文档简介

1. 什么叫真空？真空特点是什么？2. 真空区域的划分是怎样的？其物理基础是什么？3. 简述气体和蒸汽的区别。4. 何为物理吸附？何为化学吸附？5. 说明机械泵的抽气原理。影响机械泵极限真空的因素有哪些？6. 说明扩散泵的结构和原理。影响扩散泵极限真空的因素有哪些？7. 说明分子泵的工作原理。8. 说明离子泵的结构、气体放电的过程、排气的原理。9. 热导真空计测量真空的基础是什么？10. 说明电离真空计的结构和原理。影响该真空计的测量下限是什么？如何改善测量下限？11. 与电离真空计比较，BA规的结构有哪些改进？为什么能测量更低的真空压强？12. 简述真空系统漏气的静态判断的方法。13. 什么叫压力检漏？试述了卤素检漏法的原理。14. 叙述氦质谱检漏仪的原理、仪器结构、方法。15. 画出电磁阀的结构，说明其工作原理及其用法。16. 说明图1的真空系统的使用规程。17. 写出真空系统的抽气方程，其中各量的意义。18. 多根管道串联而成的静态真空系统，写出其流导、抽速以及压强的方程。说明其意义。19. 说明真空蒸发镀膜的原理。20. 对电阻蒸发源的材料有何要求?21. 高频感应加热镀膜是什么样的结构？它有何应用价值？22. 为什么e型枪比直枪优越？23. 分子束外延的机理是什么？有何特点？24. 说明直流辉光放电的电流电压特性。25. 射频辉光放电的特点以及原因。26. 说明射频溅射为什么能溅射绝缘材料？27. 说明溅射离子的能量对成膜速率的影响。28. 离子入射到材料表面会产生哪些效应？成膜主要靠哪些部分？29. 说明磁控溅射的原理和特点。30. 为什么反应溅射镀膜比反应蒸发镀膜效果好？31. 说明离子镀的原理与特点。32. 离子镀膜的成膜条件是什么？33. 说明电弧离子镀的结构原理和特点。34. 说明化学气相沉积的主要过程。35. 说明化学气相沉积的特点。36. 任何CVD所用的反应体系都必须满足三个条件是什么？37. 说明低压化学气相沉积设备、优点。38. 说明PECV
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