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1. 1.1. 1.2. ,CNCI/O1.3. 1.4. 1.5. 1.6. (Micro Electronic Mechanical SystemsMEMS)19861988BerkeleyMEMSMEMS1.7. 1.8. 1.9. 2. 2.1. (IC)-2.2. (DCS)DCSDCS2.3. (OCS)(Open Control System)2.4. (CIMS)CIMS2080CIMS2.5. (FBT)(Fied Bus Technology)(420mADC)66%DCSPLC(Programmable Logic Controller)2.6. 1. J199452. .CIMSJ199643. J199644. M 19965. J199816. M20037. M 2004PMM (1) PMM 221. PM MMfz (3)1PM12PM2 MPM (4MPM2t01MPM21t=0M1PM1112112et/T2 5MPM212et/T2MPM22Mfz2 11 2. 2MCMmIS (6) MCMmI2COS2 (7)mmMMfz22.u2i2PsPsPs PsPs 1. 3.PemP1P1 8PMPemP2 (9) PMP1P1P2 (10)P1P1P1 P1m1U1I1COS1 (11)U1P1 mE4.44W1kr1f1KE1f1KU1f1 (12)mU1P1MMfzconst MCMmI1COS1CMmI2COS2 (13)I1I2mP1P1m1I 12 r1P2m2I 222 r110VF2. PsPs P2 PesPrs4.PsPesPMPemPesP2 14PemPsPsPesPMPsPrs PMPemP2Prs (15)Prs0PemM 160PMPemp2 17PMMPemMp2M 180 (19)0PemMp2M PMP1piPMPemP2)PM18
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