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TRACK换液（丙酮、光刻胶、显液）规范兼职广告任务网分发部门总经办管代行政部人力资源部生产一部生产二部生产三部品检部研发部市场营销部采购部财务部项目部动力保障部文控中心档案室分发范围分发份数本档为中镓半导体科技有限公司专有财产，非由书面许可不得外借，严禁复制或转成其它任何形式使用文件代码SNS-WI-S2-001 TRACK换液（丙酮、PR、显液）规范页次2/2版本版次A0制定日期2010-12-01制定部门生产二部生效日期2011-02-01一、目的：熟悉TRACK换液程序，保证安全作业生产二、更换光刻胶胶 图1 光刻胶胶管路图1、更换同种光刻胶胶1）把空瓶拿走,装上新光阻瓶,盖好盖子2）打开前面管路2#缓冲排气阀(由于缓冲杯中有较大的气,经由2#排走)3）慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲杯,液位sensor亮,此时除去N2管,同时关掉2#阀4） 由光刻胶泵排掉适量管路中的光阻2、更换不同种（或新与旧）光刻胶胶1）把光阻瓶拿走,打开光刻胶泵直到喷嘴没有光阻滴出2）把原来放光阻瓶的位置换上丙酮瓶,作清洗3）打开2#缓冲排气阀4）慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入缓冲瓶,液位sensor亮,除去N2管,同时关掉2#阀5） 打开3#排液阀6） 慢慢打开1#针阀,连接N2到光阻瓶盖上,把光阻压入接过滤器的排液管路,除去N2管,关闭3#阀7） 启动光刻胶泵直接纯净的丙酮排出后,再停止光刻胶泵8） 再启动光刻胶泵,直接没有液体从喷嘴中排出9） 换上新的光刻胶瓶,10） 打开2#缓冲排气阀11） 慢慢打开1#针阀,连接N2到光刻胶瓶盖上,把光阻压入缓冲杯中直至液位 sensor亮,关掉2#缓冲阀12） 更换完成三、更换丙酮1、打开丙酮柜门，将氮气阀门关闭，拉出丙酮柜子，开启罐盖2、倒入新丙酮，盖好罐盖，将丙酮柜子推回原位。3、打开氮气阀门，观察压力表，指针指向绿色区域即为正常四、显影液更换方法与丙酮溶液更换方法类似相关图片：注意事项：1，
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