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文档简介

辉光离子氮化炉操作维护规程设备保养1. 仪器仪表的维护仪表应定期清除表面的灰尘和污垢，定期作计量检定，确保在计量检定有效期内运行。2. 电气设备维护定期清扫电器设备上的灰尘和油污，保持电器元件的清洁，特别是继电器触头，接插件和可控硅元件上不允许污物堆积，乙方造成接触不良或短路。3. 炉体的维护与保养3.1真空室必须保持清洁、干燥，不使用时应保持真空状态，冬季停炉或长时间不使用时，应将冷却水放掉。3.2 定期检查冷却水的供、排水管道是否畅通。3.3 经常检查阴极输电装置的气息保护部分，如发现“搭桥”，应及时清理，调整。3.4及时清理隔热屏上的突出溅射物或毛刺，以防造成强烈的阳极辉光灼伤隔热屏。3.5 定期用稀盐酸擦洗观查孔玻璃镜片上的溅射物，以便清晰地观察炉体内的运行状况，确保目测温度的准确性。3.6 经常检查进气管道有否漏气；检查观察孔，阴极输电装置，热电偶，管道接头及蝶阀的密封圈是否松动或老化。发现漏气应及时排除，否则炉子真空抽不上去，且压升率会较大。3.7 炉体长期不使用，需将炉体抽真空后放置，以免炉体锈蚀。4. 真空泵的保养及维修4.1. 定期检查油位。4.2. 经常检查皮带的松紧度，及时调整或更换。4.3. 3个月更换泵油。1. 清洗清洗前除锈迹，毛刺。用汽油或金属洗涤剂清洗工件表面及阴极表面2. 装炉3. 工艺操作3.1 进入操作系统；3.2 预置温度；3.3 抽真空
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