wafer探针台的详细介绍.doc

wafer探针台的详细介绍已有 264 次阅读2007-12-25 16:24 |个人分类:探针台| 展芯科技是专业的探针台制造商,针对现半导体行业的电性测试专业设计各种探针台，各界人士如有此方面的需求欢迎来电咨询： 以下是分析晶圆和芯片的探针台详细规格的具体介绍,如有任何资料不全的地方欢迎来电给予建议和咨询.晶圆和芯片分析探针台主要分为两大类：（具体设备图片和参数请详看相册） P系列（功能多，操作方便，主要用于精度要求高的晶圆和芯片测试） 尺寸分为：6寸、8寸、12寸等 chuck的尺寸根据客户要测试的样品来确定 s系列（功能稍简单，主要用于精度要求较高的晶圆和芯片测试） 尺寸分为：4寸、6寸、8寸、12寸不等以上两种型号的探针台的主要配置可分为以下几种： 探针台本体、显微镜、探针座、屏蔽箱、防震桌、真空汞附件可分为以下几种： 探针、线缆+夹具以下详细介绍各种配置的具体功能和参数（具体图形可查看相册）显微镜：一般探针台使用的显微镜都需要是长工作距离的显微镜，便于样品的取放和探针的点测，以防碰坏物镜，一般配mitutoyo和 motic品牌的显微镜。物镜的倍率根据客户的需求去选择，分为：2X、5X、10X、20X、50X、100X，显微镜型号的不同，各种物镜的工作距离也不同。但是都可以满足使用！探针座总共分为三个规格，吸附方式也分为两种： 1、磁力翻转 3、真空吸附（移动相当灵敏，操作起来非常舒适）CM100 （此款精度为5微米，可靠性强，是广为应用的一款） 整体的尺寸：38mmW*62mmD*45mmH 重量：200克精度：5微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm 线性运动（有很多仿冒的探针座在操作时都会发生下针时不是直线运动而是曲线运动，给点测造成了很大的困扰） PL-M06（此款精度为0.6微米，一般规格都使用此款，可靠性非常好） 整体的尺寸：52mmW*96mmD*76mmH 重量：550克精度：5微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm线性运动 PT200（此款精度最高为0.35微米,一般对测试精度要求高的客户会采用此款,且配上管状的夹具,对在电信号方面有要求的客户也有很大的帮助,下面会介绍附件的相关信息) 整体的尺寸：90mmW*130mmD*90mmH 重量：1000克精度：0.35微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm线性运动屏蔽箱:与探针夹具配合可将测试电信号的精度提高，可抗高压1000V防震桌:在测试时防止外界的震动干扰,提高点测时的稳定性真空汞:因CHUCK上有真空吸附孔,来固定样品,或者是探针座选择真空吸附型的,都需要真空汞去提供真空动力.探针:材质上是针尖为钨的,针杆为镊的,此材质的设计非常符合测试时与晶圆和芯片的相容性 可分为以下几种规格:(所有的尺寸都是指的针尖的大小) 软针类(一般用于FIB的微细线路和MINI PAD) 0.2微米 0.4微米 0.7微米 1微米 硬针类(一般用于较粗的线路和大的PAD上) 5微米 10微米 15微米 20 微米 100微米 200微米线缆方面需要注意的是接口,分为两种:COAXIAL和TRIAXIAL探针夹具分为三种: 1、螺旋