6.化学管路二次配管施工规范.doc

六、化学管路二次配管施工规范1. 工程范围2. 材料及施工标准3. 施工时间4. 施工规范5. PVC配管6. PFA管施工要领7. SUS配管施工要领8. 信号测试一 工程范围：化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。二 材料及施工标准：1. 管材：A.Model I 化学品种类：溶剂类(IPA、EBR) 管路材质 ：SUS316L BA管。 配管方式 ：单层管。 弯管方式 ：Elbow 管 径 ：3/4” 接管方式 ：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。B.Model II 化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH 管路材质 ：PFA管 / 40A C-PVC管。 配管方式 ：双层管。 弯管方式 ：直接弯管(不用Elbow)。 管 径 ：内管为1” AND 3/4”PFA管。外管为40A C-PVC管。 接管方式 ：内管：阀箱出口端：扩管式。机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。外管：阀箱出口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。机台入口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。C.Model III 化学品种类：Corrosive solvent (Stripper-1,Stripper-2) 管路材质： SUS316L EP管。 配管方式：單层管。 弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。 管径： SUS316L EP管。 接管方式：外管：阀箱出口端：使用Clamp固定。机台入口端：使用40A JIS 10K Flange固定。2. 讯号：l 使用机台提供之讯号：需求讯号。l 供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号。l 讯号线材质：PVC 绝缘线。l 外加导线管做保护。3. 施工之标准程序： l GSMC厂务在三天前发Inform sheet 给UIS。l UIS在接到Inform sheet后一天内通知下包，二天内安排下包至现场确认施工范围及施工现场，并列出所需之PARTS。l 在Location Check的同时，Inform sheet 检查出POU Valve Box及讯号是否已拔除。l 进场施工当天早上09:00先与下包确认工作内容。l 管材及工具在现场前，应先以IPA擦拭干净。l AM 09:30至现场施，先通知GSMC厂务人员，请其陪同施工，同时确认施工所需之电力、CDA、N2、吸尘器等之接头位置，并经GSMC人员认可。l 再次确认POU Valve Box 之位置及讯号线是否拆除。l 请陪同之厂务人员通知设备人员及化学房值班人员要开始接管工作，请其配合注意施工期间是否有任何异状。l 开始配管工作：l PFA配管：l 先配40A C-PVC外管，配管时三人一组(一人在C/R，一人在管架上，一人在地面上整理管子及支持)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等。l 配管先出Valve Box(以Bore through固定)后，垂直向上后沿地板下之 Support至机台沿线以绑线带固定，但需注意勿挡住”人孔”，入机台时一样以Bore through固定。l 入机台前需在外管上标示Chemical之种类。l 穿入3/4”PFA 内管，一边插入并一边擦拭内管，在机台内留1M长之Tube ，而Valve端则扩管后接上。l 将讯号线沿PFA管拉至机台后方，并确认其编号。l SST配管：l 配管时三人一组(一人在C/R，二人在Plenum做焊接及组装)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等以VCR做标准连接。l 先试烧SAMPLE，经在场UIS监工人员及GSMC Hoook up team确认后，记录其数值，再开始焊接。l 配管时，先垂直向上，至地板下再沿SUPPORT固定，(以固定夹固定)注意需避开”人孔”。l 在焊接处及入机台处需标明Chemical种类。l 接至机台之point size需与厂务确认。l 将讯号线拉至机台后方，(沿管线拉线，并以绑线带固定)，并确认其编号。l 做保压测试(7Kg/cm2, 24hrs)l 将卷标挂上。l 整理环境，并收集废弃物。l 完成自主检查表之各项检查，并签名。l CM会议中，确认讯号测试及供酸日期。l 讯号测试：l GSMC厂务在二三天前通知UIS人员讯号测试。l 测试人员至现场LOCAL PANEL准备并CHECK SIGNAL NO. LIST，同时通知GSMC Hook up team 及UIS SE到场一同测试，(由GSMC FAC与GSMC 之E.E人员联络，UIS人员负责讯号之检测)同时并通知值班人员。l UIS负责将测完之讯号线作连接。l 开POU阀：l 先确认已做完讯号测试。l 确认各接点已锁紧。l 确认SST管已做完保压测试并锁紧。l 穿戴防护用具。l 经厂务工程师确认设备工程师已准备好之后，始可开阀。l 由设备工程师CHECK REQUEST SIGNAL及CHEMICAL是否有供应。l 开完阀后，再CHECK是否有LEAKAGE现象。l 完成CHECK LIST后，交由厂务工程师及设备工程师确认签名。l Update P.O.U. flow sheet。三、施工时间：l 甲方需在二天前通知乙方准备施工。l 正常工作时间为星期一至星期五AM09:00PM06:00。l 若甲方有紧急接管工程，应在一天前通知乙方准备施工。l 若乙方之配管有紧急泄漏发生时，在甲方通知后一小时内，乙方应到场处理。(不可抗力除外)四、施工规范：l 乙方需遵守甲方之施工安全规范。l 乙方施工人员需接受甲方之”工业安全卫生环保训练”。PVC & PFA 管施工要项五、 PVC配管PVC配管之主要功用在于可清楚目测出PFA TUBE之支架是否有所不当或是否药品渗漏等情形，因此须特别注意随时保持管材之洁净度及接缝处之粘接是否有所遗漏。1. 保管搬运时应注意保持管外之包装袋的完整，将管材平放于铺设有塑料垫之置物间的地板上(绝不可直放)，并须注意避免靠近日晒(变色)、高温(变形)及发尘(损伤或受污)等场所。2. 搬运作业管材搬运时以保持管外之包装袋的完整为基准，并以不伤害管材为前题，以两人一组的方式进行搬运作业。3. 切除作业切除管材之时应使用专用之切除器具，切除之前应先将吸尘器之吸尘口接近切除处后再行切除，作业完毕后并须尽速将切除时所遗留之残屑清除干净。4. 断面加工管材切除作业完毕后应针对切断面之管壁内外侧进行修边作业(如疏忽此一作业将有可能导致两管衔接度的不稳定)。此外，修边作业进行时须特别注意修边部应朝下，以避免粉屑掉入管内污染管材之洁净度。施工完成后，同样尽速将管材两侧之开口处以塑料贴布封口。5. 弯曲加工弯曲之最小半径为1/2”250R、3/4”300R、1”400R为作业基准，弯曲时应避免管材产生变形情况，并须注意加热及冷却次数应维持于三次以内，以免管壁产生细纹。于支架上欲固定PVC管时，必须先以塑料膜或透明贴布缠绕固定处约0.5mm左右之后再行固定，以避免因夹具的施力不当造成管材受损之可能。此外，为使PFA管能够顺利施工，应以PVC管每两处弯曲点为一单位，在第二处弯曲点之弯头处以衔接方式施工，待拉管作业完成后再于先前未上粘胶处以注入方式予以粘接即可。6. TEE & VALVE BOX组装箱之种类大致以TEE BOX(PFA TUBE & UNION TEE)及VLAVE BOX(自动阀及手动阀)两种为主，其主要目的皆在于防止药品泄漏或气体外泄之可能性。7. 保管将配管所用之BOX以塑料膜包装后搬运至现场之无尘室中置放，在确认各部开口无误及有无均裂后，再重复以塑料膜包装后交付管理单位保管。8. VALVE之组装一般作业应已于事前皆告完成，但偶尔仍难免有所更改部份之修正作业须要进行时，首先于无尘室之地板处铺设透明之塑料软垫后再行施工，施工时并须注意日后与HOOK UP工程衔接处之管材应避免过短，以及粘接固定之VALVE底座之基座等时，也应注意不要使用过多接着剂造成流动之情况。六、 PFA 施工要项1. 保管所订购之PFA管材乃是经由该社经过严格之洗净机，进行管材内外部洗净之后，再行包装之管材。之后运送至本公司之厂房后以同尺寸分别囤堆之方式置于管架上进行保管。2. 拆除包装拆除管外包装袋时应选择尘埃不易附着处(无尘室)进行，并事先应于地板处铺设透明塑料软垫后作业，此外，须特别注意拆除包装时管材两端是否套有防止尘埃进入管内之物体，如无应于拆除后尽速以塑料贴布封上。3. 配管作业PFA管材之长一般皆为100M，因此施工时应先以距离长者先行施工以减少材料之浪费，至于切除后所剩之短管则可视情况酌量使用于各机台。在于以50M配管方式做一简单之说明，其余短距离配管则以施以断面加工后之管端送管之方式进行即可。 作业员配置方式：作业员人数最少须要管线整理员、送管员、中间部送管员及后方拉管员四位，如遇墙面穿孔处则再须一名中间部送管员进行送管作业。 断面加工作业欲使PFA管能于PVC管内顺利通过，须先于管端以切管器将其前端切出150200mm之斜面，之后于管内塞入可有效防止尘埃进入管内之物体及拉管时之主绳，最后再于管材外部缠附塑料贴布后进行拉管作业。 拉管作业：前述之作业员以无线电互相取得连系，并待拉管用之主绳完全通过后再行拉管作业。 管线整理员应仔细的确认管线有无折损后再行送管。 送管员施以送管手势后进行送管作业。 中间部送管员随管线的前进而移动，并须仔细检查管线是否受PVC管之衔接处之影响无法前进，如有此一情形时则可以轻拍管材或由之前尚未粘接处将管拉出后继续进行。 拉管员配合送管员之手势进行拉管作业。上述作业员在完成拉管作业后，再行于管端之斜面开始约400mm处进行切除，并于切除后尽速于管端贴附塑料贴布防止管内遭受污染。 PFA管于施工时应配戴清洁手套施工。 检查切管器是否有生锈或受污之情形，并于施工后以清洁之塑料袋予以包装。 进行拉管作业时应尽可能以送管方式进行而非拉扯管。 冬季或其它气温较低处有可能导致PFA管之柔软性低下，因此应先于厂房内(室温25)置放两三天后再行施工。4. PFA管之连接方式PFA管之接续方式共有加热及针对NEEDLE VALVE或逆止阀专用之两种施工方式，但基本上PFA管于切除后之断面都应保持直角时才可予以配置。 加热拓管方式：将PFA管于专用之加热器上进行加热作业后，再以拓管器进行拓管作业，此作业于进行时所有作业员皆应配戴清洁手套以保持管材之整洁。PFA管于加热拓管后进行冷却作业时会有3mm短缩现象，因此事前管线长度之丈量时必须加以计算，以防管线长度不够造成废材量之大增。加热作业时PFA管应将前端约1520mm处均匀加热至管壁似乎有些许潮湿状时，再进行拓管作业，并须注意作业时尽量防止尘埃进入管内之机会。拓管作业施行前应先将拓管器充分清洗干净之后再行拓管，将拓管器插入加热后之PFA管时，应注意管端是否与拓管器平行以及管端是否有细纹的产生，之后再以纯水擦拭加热部位进行冷却作业。 冷却作业如无彻底进行将可能造成日后发生管端短缩情况，无法顺利配置。 冷却后之管端直到配置时方将拓管器取下后配置。 配置作业：将PTFE FITTING TUBE以纯水擦拭洗净后，确认端口有无伤痕后，将加工后之PFA管用力插入，直到管端变白后再以NUT紧锁。 NUT组装作业：PFA之NUT是以硬质材料制成，因此应注意不可过于用力以免FITTING之螺纹发生损坏情形，首先将NUT轻压于FITTING之上，再以逆时针方向缓慢的旋绕，直到产生声响后即表示两者之螺纹已互相咬合，此时以顺时针方向旋紧至FITTING留有1.52条螺纹左右即可。七、 SUS 配管作业要项1. 材料合管及运搬sus pipe 材通常皆以外包塑料膜之方式运送，而其它之FITTING 则亦以塑料膜包装后装箱运送。囤堆管材时应注意不可先行拆除外包装袋，并先于地板处铺设透明塑料软垫后以三段堆方式为基准进行堆栈作业。搬运管材时以两人为一组进行，如欲进行两管衔接作业时，作业人数则应增加至四名，此外，管端不可仅以塑料盖予以套封，必须再以塑料贴布绕以防管材内部受污。2. 管材之使用即使于加工阶段亦不可先行拆除管材之外包装袋，情非得以情况下绝对须配戴清洁手套后再行施工，其余部品之操作方式亦与此相同。3. 加工及熔接l 切除及断面加工 切除时务必使用管材切除器进行切除作业 切除时并须注意切断面是否呈直角以及两管端相接处是否为0mm。 切除后管端内部之不平整处应确实去除，以防止PFA TUBE 通过时痕的产生。l 样品制成 管内无氧化现象以及管外壁之焊道宽度如均一并无其它异样时即可。 管内有无氧化情形，请交由现场监控者辨视。 不须每日制作。4.焊接作业 两管端相接处之高低差应控制于管壁厚度之5%以内。 焊接后务必尽速以钢刷清除管壁之氧化痕迹。5.TEE & VALVE BOX 严禁架设于SUPPORT 之上，因SUS制成之BOX的重量可能造成SUPPORT 的变形。 VALVE BOX 须使用专用之SUPPORT 予以支撑。 SUS 管材与FERRULE(接头)或多或少会发生尺寸有所差异之情况，此时只要尽可能维持管内壁之平顺度即可。TEE & VALVE BOX之测漏及静电容量式侦测器，皆应配置于BOX 之下方，