利用晶体生长计算软FEMAG进行晶体生长计算仿真的结果图ppt课件.ppt

晶体生长计算软件FEMAG之仿真结果图一览 1 FEMAG软件概况 FEMAG软件是世界上第一款商业的材料晶体生长数值模拟软件 由比利时新鲁汶大学教授Dr Fran oisDupret于20世纪80年代中期领导开发 Dr Fran oisDupret是第二届晶体生长模型国际研讨会主席 EUROTHERM相变热力学研讨会联合主席 机械工程学位委员会主席 曾担任国际晶体生长 JournalofCrystalGrowth 期刊主编 FEMAG软件拥有国际上最先进 最高效 最全面的晶体生长工艺模拟技术和多物理场耦合仿真功能 可模拟的晶体生长工艺包括提拉法 柴氏法 Cz法 泡生法 Ky法 区熔法 FZ法 坩埚下降法 垂直布里兹曼法 VB法 物理气相传输法 PVT法 等 广泛应用于集成电路 太阳能光伏 半导体 蓝宝石等领域 ONSemiconductor 安森美半导体 美国Kayex Siltronic 世创电子材料 AXT 美国晶体技术集团 韩国Nexolon LG 韩国汉阳大学 Norut 挪威北方研究所 日本SUMCO集团 Gritek 有研新材料 天津环欧半导体材料 中环股份 北京有色金属研究总院 清华大学等企业和科研机构 均是FEMAG软件的用户 2 FEMAG软件产品 目前 FEMAG软件包括以下六款产品 FEMAG CZ FEMAG提拉法晶体生长模拟软件FEMAGCZ OX FEMAG提拉 泡生法晶体生长模拟软件FEMAG FZ FEMAG区熔法晶体生长模拟软件FEMAG DS FEMAG三维定向凝固模拟软件FEMAG VB FEMAGVB VGF法晶体生长模拟软件FEMAG PVT FEMAG物理气相传输法晶体生长模拟软件 3 应用领域 FEMAG软件已在以下行业中得到了广泛的应用 半导体用单晶硅生产与研发太阳能光伏用单晶硅 多晶硅锭生产与研发集成电路级单晶硅生产与研发航空发动机涡轮叶片单晶高温合金生产与研发LED光电技术用氧化物晶体和蓝宝石晶体生产与研发晶体生长熔炉设计与生产 4 FEMAG CZ软件 FEMAG直拉法模拟软件 FEMAG CZ 用于模拟直拉法工艺 包括Cz MCz VCz 泡生法 FEMAG CZ直拉法模拟软件用于新的热场设计 并研发新的方法以满足新的商业需求点 比如 大直径晶锭生长无缺陷硅晶锭生长提高成品率氧含量控制降低碳含量晶锭半径和沿轴向的电阻率差异减小CCZ工艺仿真磁场设计蓝宝石生长工艺设计 5 FEMAG CZ直拉法模拟软件 6 FEMAG3D熔体流动模拟结果 7 FEMAG动态模拟 8 直拉法晶体生长中的填隙原子和空位的动态预测 9 直拉法晶体硅生长中的OSF 氧化诱生层错 预测 10 直拉法晶体生长的三维应力分布 11 硅晶体直拉法生长氧含量预测 12 直拉法硅晶体生长硼浓度分布预测 13 连续提拉法 CCZ 温度预测 14 连续提拉法 CCZ 熔体自由表面上部的氩气流场分布 15 在横向磁场作用下的三维熔体流动 16 在横向磁场作用下的三维等温线分布 17 FEMAG FZ软件 FEMAG区熔法软件 FEMAG FZ 用于模拟区熔法生长工艺 FZ PFZ FEMAG区熔法软件专注于设计新的热场 并研发新的方法以满足新的商业需求点 比如 无缺陷晶锭生长提高成品率节省R D成本 18 FEMAG FZ区熔法模拟软件 区熔法工艺的等温线预测 19 FEMAG预测区熔法生长晶体缺陷 20 模拟晶体转速对熔体流动的影响 21 FEMAG DS软件 FEMAG定向凝固模拟软件 FEMAG DS 适用于铸锭定向凝固过程工艺 DS HEM VB VGF FEMAG定向凝固模拟软件用于设计新的热场 并研发新的方法以满足新的商业需求点 比如 晶体微结构优化扩大生产规模 22 定向凝固工艺中的三维熔体流动 速度剖面和界面预测 23 定向凝固铸锭炉 24 定向凝固工艺等温线和界面形状的二维仿真图 25 为晶粒生长研究所进行的定向凝固速度分布预测 26 参考 所有仿真图片来自文字的翻译原文来自更多内容