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尚能电池制造部刻蚀间培训材料SOP标准作业（1） 拿硅片承载盒打开传递窗，两只手同时拿住承载盒，轻轻的放在硅片台上。（2） 打开硅片盒打开硅片盒时，顺着承载盒的边缘往后推。（3） 拿到上料台在拿的过程要双手捧住（一只手拿住边框，一只手托紧盒子）。（4） 上片在上片时一定要注意扩散面与未扩散面，放时要扩散面向上并且放时要与滚轴相平正，片与片之间的距离要大小一致（保持在5cm左右）放片时要轻，尽量地减低硅片与滚轴的高度距离，硅片不要放在上料台滚轴的边缘，要往里放。（5） 装片装片时的动作要轻，装片时要注意承载盒的开口方向，不要将扩散面装反，并确认好数量。（6） 放入推车放入推车时只准一只手拿一个承载盒，放时要放稳一只推车只准放十二盒。（7）往PECVD送片。往PECVD送片时，推车要沿着指定的通道走，走时避免与人与物体相撞，双手扶住推车把，推入PECVD时要放入指定地点。（8）所有的作业，必须在戴汗布手套外再戴一层乳胶手套。尚能电池制造部刻蚀间培训材料设备的结构大致可分为：上料、刻蚀、漂洗碱区、漂洗区、HF区、漂洗区、吹干、下料台、传动系统、冷却系统、感应系统、各种进水、进酸、碱及排放阀、液面控制系统、低液位保护、循环系统、流量控制、电柜、电脑操作台、压力检测、过滤设备的结构：上料台：滚轴、传动电机刻蚀区：滚轴、液体循环泵、温度测试、液面控制、补液系统、添加桶、储液箱漂洗区：滚轴、循环泵、风刀、喷淋管、过滤器碱区：碱添加桶、碱喷淋管、碱循环泵、碱风刀、进碱阀、排碱阀、过滤器碱漂洗区：循环泵、喷淋管、液位浮子流量计、过滤器、风刀HF区：HF添加桶、进HF阀、排HF阀、循环泵、过滤器、风刀漂洗区：循环泵、喷淋管、浮子流量计吹干：风刀下料台：传动电机传动系统：传动电机、吹干（风刀电机）冷却系统：冷却水、冷却机感应系统：液位感应、漏碱漏酸感应、上料感应、下料感应、自动添加感应、 温度测试、抽风测酸、碱浓度气动阀：进水阀、排水阀、进液阀、排液阀、排废水、排酸阀浮子流量计：控制进水流量电柜：电源控制、信号输出（PCA西门子）电脑操作台：手动、自动模式、服务系统、工艺文件、报警、操作界面、各种感应、阀门、气动阀、液位的显示图压力检测：压缩空气、氮气尚能电池制造部刻蚀间培训材料自动加液处化学品更换SOP标准作业（1） 更换化学品时，必须佩戴防毒面具，防酸耐碱服、防酸手套、戴防酸手套时，手上必须再戴两层乳胶手套，脚上要穿防酸防碱的鞋。（2） 在将化学桶放置在加液处时，必须先检查化学桶是否有渗漏的现象。（3） 用叉车叉时车子一定要叉到位，至化学桶的边缘部位。（4） 将化学桶放置加液处时，一定要放稳放正。（5） 拧接化学桶与加液的管道时，一定要确认是否已经拧紧，在确认拧紧以后再打开添加系统（6） 更换化学桶以后，需关闭加液处的工艺门窗，防止里面的化学品对外挥发。（7） 在工作过程必须每半小时至一小时对加液处进行巡检一次。（8） 换化学桶时，必须是两人操作（9） 定人换液化学品防护：更换化学品，必须佩戴好防护用品防酸服、防酸手套、防酸耐碱鞋和防毒面具。在生产中如需打开工艺盖板，擦拭机器也必须做好防护措施。尚能电池制造部刻蚀间培训材料操作界面:在操作界面中存在一个操作界面与化学品的界面；操作界面中，显示七个槽位的状况，每块模块都有；现在运行的模式，化学品界面也有七个模块，每块模块中也有现在的工艺运行；需进行自动模式时，必须要满足每块模块中给出的信息条件；第一次配槽需使用手动模式添加化学品，进入工艺文件确认后才可以根据工艺条件添加，在配槽完成后，操作界面会检出可以自动模式的信息条件。Mode Sew 为设备维护服务模式，操作员工不允许使用Mode Auto 是日常生产的自动模式Mode Manual 是在添加化学品（第一次配液）或需对设备存在的一些情况进行处理Service 是信息信号传感器感应器阀门的使用Manual 手动添加或排放补液等Diagnostics 是日常的报警信息，包括哪个槽哪个零部件什么原因Trend 是刻蚀槽与碱槽的温度趋势图Replehish 添加补液Recipe 刻蚀槽及碱、HF、以及各槽及风刀的工艺参数尚能电池制造部刻蚀间培训材料设备的工艺流程：（上料台）上片 （HF、H2SO4、HNO2）刻蚀 风刀吹 漂洗 风刀吹 碱区 风刀吹 碱漂洗 HF去PSG 风刀吹 HF漂洗 风刀吹 下料电脑操作界面：Corrveyor 马达传送 Offset adjustments补偿、调整校正Conveyor speed 传送速度 Speed setpoind 速度设值Temperature Etch bath 刻蚀槽温度 Peset input 输入 Peset output 输出Wafer change input 硅片的进口 Wafer change output 硅片的出口Front pane1etch 刻蚀区第一块玻璃 Front pane rinse 漂洗槽第一块玻璃Mode off 关闭模式 Mode Manual 手动模式 Mode Serv 服务模式 Mode Auto 自动模式 Service 服务 Manual 手动 Recipe（参数）菜单 Replenish 添加（补液） Trend 温度趋势图 Procvalues 工艺参数 Diagnostics 报警信息、诊断 inprocess 工艺进行中Ready 准备好 Full DI 纯水满 Not ready 没有准备好 Full chem. 化学品满 Enter a note 记事本 Test Lamos 风鸣器 Start 开始 Stop停止 Flow 流量 Critical 急停 Machine 机器 Warning报警 Error 错误尚能电池制造部刻蚀间培训材料应急处理：1、 化学品泄露：在集中添加桶处发现管道破裂或添加桶破损要立即停止向设备供液，在确保安全的情况下对泄露化学品进行堵围，防止泄露到地面上的范围扩大，如不能确保安全，应在第一时间内通知设施及相关人员对其处理。在向设备添加化学品的过程中，发现添加化学品的管道大面积的漏液，立即停止操作，并通知其他操作人员立即退出操作场所，然后通知相关人员进行处理。任何处理都是在确保人身安全的情况下进行！2、 化学品溅到身上在化学品溅到身上的时候，应立即脱去被化学品污染的衣物，用大量的流动的清水冲洗，在无其他不良反应时，还需到医院进行检查，被化学品溅到身上的时候，一定要保持冷静，切不可慌张，胡乱采取措施。3、 生产区域突然停电生产时如果生产区域突然停电，首先按下设备的急停开关，然后冷静地撤出生产区域通知相关人员。4、 设备的突然异常首先立即停止正在运行的设备，在不明原因的情况下，不要擅自操作，第一时间通知设备人员到场维修。信息沟通：在日常生产过程中，信息沟通大致可分为两种：A、 正常的信息沟通1、 不可越级工作时如果有问题需要处理，首先问本岗位的工序长说明原因在工序长的职责权限无法处理的会上报领班处理，逐级上报，不可以越级2、 不隐瞒工作中发生的事作为一名员工要向你的上级汇报当天发生的事，让你的上司及时的了解发生的原因，拟定预防的措施，这样更有利于生产3、 有效的信息反馈在信息反馈过程中要注意“及时的”、“有效的”“准确的”“重点的”细节B、 生产异常信息沟通1、 根据不同的异常、 将信息反馈给相关责任人例如：原材料异常首先发现异常要及时的通知自己的上级，由上级对原物确认后，通知巡检和领班到现场确认，并拍照取证，根据原因。填写相应的制程异常单、请示是否可以继续生产例如：设备异常当设备运行的过程中突然发生异常、事故，按下急停，保留第一现场，