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文档简介

TP材料测试标准检验方法系列 编写：王祥方块电阻标准检验方法1 检验项目：ITO方块电阻2 定义：利用四探针法在一定的压力之下测得的面电阻值。 3 适用范围：本标准检验方法适用于ITO材料方阻的测量。4 目的：测量ITO材料的方阻以判定ITO镀膜品质。5 测量原理及检验方法：5.1 方法一5.1.1 样品准备：ITO Film ITO Glass 5.1.2 使用装置：四探针测试头、导线、万用表、稳压电源5.1.3测量原理a)给四探针测试头两探针施加DC 1V电压，另外两探针接万用表直流电流挡，如图2b)依公式算出方块电阻 计算公式： RS=2*V/(ln2*I) RS：方块电阻 / V：施加的电压 I：测得的电流注意：探头的表面弧度为SR0.9mm 探头压力0.450.15N或5015gf 探头间距3mm，如图15.1.4 操作步骤：a) Film按TD*355mm切割材料，Glass按进料尺寸b) 将稳压电源调至ON，电压调至1Vc) 将稳压电源正极接至探针一端、负极接至探针另一端，如图d) 将万用表置直流电流档，一表笔接至探针一端，一表笔接至探针另一端，如图e) 将试片有效区域等距分成N点，开始测试并记录数值。f) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。5.2方法二5.2.1样品准备：ITO Film ITO Glass 5.2.2使用装置：方阻仪5.2.3 操作步骤：g) Film按TD*300mm切割，Glass按进料尺寸h) 将稳压电源调至ON，电压调至1Vi) 将方阻仪置ON挡j) 将试片有效区域等距分成N点，开始测试并记录数值。k) 将所测得数值输入表1，计算其方阻。6 评定准则方阻均匀度6.1 来料：MD方向均匀度8%；TD方向均匀度5%6.2 预缩后：MD方向均匀度10%；TD方向均匀度7%7 参考资料7.1Nitto ITO Film 规格书7.2南玻ITO玻璃规格书7.3 刘新福,孙以材,刘东升. 四探针技术测量薄层电阻的原理及应用J . 半导体技术,2004 ,29 (7) 7.4 刘新福, 孙以材. 微区薄层电阻测试方法的研究J .河北工业大学学报,2003,32(3)7.5 孙以材, 张林在.用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻J.物理学报,1994,43(4)8 数据处理8.1计算方法XAve. = （列1+列2+列3）/3X极差 = XMax.- XMin.XTD = 2ABS(列2-列1) +ABS(列3-列2) +ABS(列3-列1)/3*( XMax.+ XMin.)YAve. = （行1+行2+行3）/3Y极差 = YMax.- YMin.YTD = 2ABS(行2-行1) +ABS(行3-行2) +ABS(行3-行1)/3*( YMax.+ YMin.)8.2 附表1方阻检验记录及报告检验日期：年月日l 室温： 检验批号：l 湿度： 试样： 供应商料号： 表1：方块电阻检验记录表试片_列1列2
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